【課題】オーバーレイエラー及び／又は結像の問題が低減されたリソグラフィ装置を提供する。モータ定数の変動が低減されたローレンツアクチュエータを提供する。
【解決手段】
リソグラフィ装置は、該装置の第１及び第２の部分の間に第１の方向に力を発生させるように構成され、各々が該装置の第１の部分に逆向きに取り付けられた第１の磁石アセンブリと、第２の磁石アセンブリとを含むアクチュエータを含み、第１の磁石アセンブリが、第１の主磁石システムと第１の副磁石システムとを含み、第２の磁石アセンブリが、第２の主磁石システムと第２の副磁石システムとを含み、第１及び第２の主磁石システムが、それらの間に第１の方向に実質的に垂直な第２の方向に空間を画定する。アクチュエータは、第２の部分に取り付けられたコイルを含む。第１の副磁石システムの少なくとも一部と第２の副磁石システムの少なくとも一部との間の距離は、第１の主磁石システムと第２の主磁石システムとの間の最小距離より小さい。 （もっと読む）

【課題】従来の電磁アクチュエータは、加工上および構造上発生するガタにより接触面積が不均一となり、吸着力の安定性が保たれないという課題がある。
【解決手段】磁性材からなり相対向する一対の接極片を有する第１のヨークと、上記第１のヨークの上記一対の接極片間に配置されるボビンに巻装され励磁電流通電時には所望の電磁力を発生する励磁コイルと、上記ボビン内に貫挿され磁性材からなり上記励磁コイルの磁界により駆動されて往復動され上記接極片に接触して吸着される可動子と、上記第１のヨークと上記ボビンとの間に配置され上記第１のヨークに磁束を発生させるとともに上記可動子を吸引して保持する永久磁石と、上記永久磁石とともに磁気回路を構成する第２のヨークとを備え、上記接極片の上記可動子が接触される位置に形成され、上記永久磁石により吸引される方向と直交する方向に長い孔からなる当接孔を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】高温環境下でも推力の劣化を防止すること。
【解決手段】駆動装置のボイスコイルモータに使用されるマグネット（１８２）は、主マグネット部（１８２Ｍ）と、この主マグネット部をその両端から挟んで設けられた一対の副マグネット部（１８２Ｓ）とから構成される。主マグネット部（１８２Ｍ）は、第１の磁束密度と第１のキュリー点とを持つ。一対の副マグネット部（１８２Ｓ）の各々は、第１の磁束密度より小さい第２の磁束密度と、第１のキュリー点よりも高い第２のキュリー点とを持つ。 （もっと読む）

【課題】捩れ運動が繰返されるトーションバー部分に設けた引出し配線の金属疲労を低減する。
【解決手段】固定部に可動部を揺動可能に軸支するトーションバー３に、可動部側の駆動コイルと固定部側の電極端子を接続する引出し配線６を設ける構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、シリコン基板で形成しその上面に引出し配線６を設けたトーションバー下層部３Ａ上に、ガラス材で形成したトーションバー上層部３Ｂを陽極接合することにより、捩り応力の小さいトーションバー中心位置に引出し配線６を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】第１コイル巻回面および第２コイル巻回面の各々にコイルを巻回した場合でも、第１コイル巻回面あるいは第２コイル巻回面を縦断する渡り線が一切発生しない磁気装置、およびかかるこの磁気装置を駆動機構として用いたレンズ駆動装置を提供すること。
【解決手段】レンズ駆動装置の磁気駆動機構において、スリーブ１３にコイル線を巻回するにあたって、コイル線を巻き始め部１３６ａから第１コイル巻回面１３１に奇数層、時計周りＣＷに巻回した後、コイル線の巻回方向を反転させて第２コイル巻回面１３２に反時計周りＣＣＷに偶数層巻回する。次に、コイル線の巻回方向を反転させて、コイル線を第１コイル巻回面１３１に時計周りＣＷに奇数層巻回する。 （もっと読む）

【課題】狭額縁化されたアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ２０は、ホルダ７とコイル５およびマグネット３と柱状の支持体６と、支持体６が配置された四角形形状を有するベース９とを備え、支持体６は、ベース９の角を含む角部に備えられており、コイル５およびマグネット３のうち、一方がホルダ７に保持されており、他方が支持体６に保持されており、マグネット３は、支持体６に対向するように設置されている。 （もっと読む）

【課題】往復直進移動を可能とする構成要素の形状を変更するだけの簡単な構造で、往復直進移動に加えて回転移動を行うことを可能としたアクチュエータを提供する。
【解決手段】コイル部２１と固定磁極２２〜２５と永久磁石２６，２７とがケース４０の定位置に固定される。ケース４０に対して往復直進移動および回転移動が可能となるように支承された出力軸１１にプランジャ１２が固定される。プランジャ１２は可動磁極１２ａ，１２ｂを備える。可動磁極１２ａ，１２ｂと固定磁極２２〜２５とは、それぞれ溝部１６ａ，１６ｂ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，２５ａを備える。各可動磁極１２ａ，１２ｂの溝部１６ａ，１６ｂは、出力軸１１の周方向において異なる位置に形成される。コイル部２１への通電により、固定磁極２２〜２５と可動磁極１２ａ，１２ｂとの間に磁力を作用させると、プランジャ１２を直進移動させる推進力と回転力とが生じる。 （もっと読む）

【課題】低コスト化及び部品実装スペースの省スペース化を図る。
【解決手段】ｎ（ｎは２以上の整数）個のコイルが巻かれたアーマチュアと、前記ｎ個のコイルの各々に対応して設けられ、各コイルへの電力の供給／遮断を切り替えるためのｎ個のスイッチと、前記ｎ個のスイッチの各々に対応して設けられ、各スイッチを介して各コイルに同一の電力を供給するｎ個の電源と、必要なトルクに応じて各スイッチのオン／オフを制御する制御部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】磁気駆動機構の駆動性能および耐衝撃性能の双方を高めることができるレンズ駆動装置を提供すること。
【解決手段】レンズ駆動装置１では、駆動マグネット１７は、角筒部１８５の角部１８４および凹部１８２ｂ内の双方に配置されているため、駆動コイル３０に対して、効率よく駆動マグネット１７の磁気力を作用させることができる。従って、磁気駆動機構５ａは大きな推力を発揮するので、第１バネ部材１４ｘおよび第２バネ部材１４ｙのバネ力を高めることができる。それ故、第１バネ部材１４ｘおよび第２バネ部材１４ｙによって移動体３をより強く保持することができるので、第１バネ部材１４ｘおよび第２バネ部材１４ｙによって、レンズ駆動装置１の耐衝撃性能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】駆動効率の向上及びデバイスの小型化が可能な、電磁駆動型の光スキャナ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性連結部１３を捩り変形させながら可動板１１を回動させることにより、可動板１１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、デバイス基板２０に、可動板１１、弾性連結部１３、及びコイル１５を形成する第１の工程と、デバイス基板２０上の、支持枠１２の境界にミシン目Ｆを形成する第２の工程と、支持枠１２をデバイス基板２０を支持するための支持基板３０に固定することにより、デバイス基板２０と支持基板３０を接合する第３の工程と、デバイス基板２０の一部をミシン目Ｆに沿って切り離し、除去する第４の工程と、支持基板３０上の、第４の工程でデバイス基板２０の一部を除去した領域に、コイル１５に磁界を与えるための永久磁石１４ａ，１４ｂを配置する第５の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】回転防止用治具を用いることなくレンズバレルの組み付けができ且つ設計の自由度が高いレンズ駆動装置、そのレンズ駆動装置を搭載したカメラ及びカメラ付き携帯電話を提供する。
【解決手段】本発明のレンズ駆動装置において、レンズ支持体７はヨーク３の内周側に配置して内周にレンズバレル２０が回転により装着されるものであり、コイル１５はヨーク３の内側壁３ｂがある箇所では内側壁３ｂとマグネット１３との間に配置されており、スプリング９，１１はベース又はヨークと、レンズ支持体７との間に設けてベース５に対してレンズ支持体７を光軸方向の前後に移動自在に支持しており、レンズ支持体７は外周に複数のコイル固定部１９が設けてあり、各コイル固定部１９は半径方向外方に突設し且つ周方向端面１９ｅがヨーク内側壁３ｂの周方向端面３ｅに対面配置している。 （もっと読む）

【課題】 第二ヨークを用いなくても、光軸以外の方向に発生する推進力を抑制し、装置全体の小型化を図りつつ、レンズ保持枠を光軸方向に精度良く駆動させることができるレンズ駆動装置及びそれを有する撮像装置を得ること。
【解決手段】 レンズを保持し、光軸方向に移動可能で、鏡筒内部に案内支持された被駆動体と、光軸方向に対して少なくとも２つの辺が平行となるように巻き回され、前記被駆動体の一部に取着された可動コイルと、光軸方向に平行で前記可動コイルに対向して配置され、前記鏡筒内部の一部に設けたマグネットとを有したレンズ駆動装置において、前記可動コイルは、前記２つの辺のうち少なくとも１つの辺と、前記２つの辺以外の１つの辺が前記マグネットの面と対向するような形状より成っていること。 （もっと読む）

【課題】 その小型化を効果的に図ることが可能なボイスコイルモータとアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 センターヨークを案内部材として用いたボイスコイルモータであり、それによって、小型化を図ることが可能になる。又、滑りガイドを内蔵するようにしたボイスコイルモータであり、それによって、動作を円滑なものとすることができるとともに小型化を図ることができる。又、そのようなボイスコイルモータを使用したアクチュエータである。 （もっと読む）

【課題】 面移動する駆動部分を備え、正確な入力も行える機能も備えたアクチュエータを提供する。
【解決手段】 本発明は、所定位置を中心に平面上で異なる磁極が交互となるように複数の磁石を配置した磁界発生部１と、磁界発生部１に対向すると共に前記異なる磁極に各々跨るように配置した複数のコイル２を保持するコイル保持部２０と、を相対移動させ、入力デバイスに組み込んで使用されるアクチュエータＡ−７であって、コイル保持部２０が外方へ延在する腕部４０を有し、磁電変換素子３１及び位置検出用磁石３０のいずれか一方が腕部４０の端部４１に設けられ、他方が端部４１と対向する位置に設けられ、腕部４０は相対移動の方向に対して平行及び垂直のいずれかの方向へ延在しており、端部４１は磁界発生部１及びコイル保持部２０による周辺磁界の影響を受けない位置に設けられ、相対移動は面移動であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 接地構造で既に発生した反動力を低減、又は、完全に除去するために磁石とボイスコイル・アセンブリのための湾曲部を備えるアクチュエータと動作方法を提供する。
【解決手段】 無反動ボイスコイルアクチュエータと方法であって、磁石とボイスコイルの両方に接続した湾曲部を備えることで、動作方向に磁石とボイスコイルの両方が独立して動くことができる。動作方向の磁石とボイスコイルの固有周波数が実質的に等しくなるように、剛性、又は、湾曲部の動きに対する抵抗が選択される。
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【課題】装置の構成の複雑化を抑制するとともに、可動部の振動状態の検出期間を拡大することが可能な振動素子を提供する。
【解決手段】この電磁駆動式ミラー（振動素子）１００は、所定の共振周波数およびその近傍で振動する可動部１１と、パルス電流Ｉｐを周期的に供給することにより可動部１１を振動させるパルス電流供給部３２と、可動部１１の振動状態を検出する逆起電力検出部３３とを備え、パルス電流供給部３２は、少なくとも起動時には、可動部１１の共振周波数と略同じ第１周波数ｆ１でパルス電流Ｉｐを供給するとともに、可動部１１の振動状態の検出時には、第１周波数ｆ１よりも小さい第２周波数ｆ２でパルス電流Ｉｐを周期的に供給するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】レンズ駆動の加速性能に優れ、位置センサを使用することなくレンズ位置の検出を可能としたレンズ駆動ユニットを提供する。
【解決手段】レンズ駆動ユニット１は、内側にレンズを保持する円筒状のレンズホルダ２と、レンズホルダ２に対して同軸状に取り付けられる断面８角形状の可動コイル４と、可動コイル４の８つの外周側面部に対向して配置される８つのマグネット片５ａからなるマグネット５と、可動コイル４とマグネット５を内部に収容する断面コ字状のヨーク体６と、レンズホルダ２を弾性支持する一対のスプリング８，９と、可動コイル４の位置を検出する位置検出回路部２０とを備えている。位置検出回路部２０は、ヨーク体６に対する可動コイル４の相対位置が変わることにより可動コイル４に発生するインダクタンス変化を検出する。このインダクタンス変化から可動コイル４、ひいてはレンズホルダの位置が算出される。 （もっと読む）

【課題】より簡易な工程で製造されるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを
目的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、平板状の可動板(21)と可動板(21)を基板に対し
て揺動可能に支持する一対のトーションバー(24），(24)とを一体形成し、可動板(21)の
中央部に反射鏡(22)を設け、可動板(21)の周縁部に通電により磁界を発生するコイル部(2
3)と、このコイル部(23)に静磁界を与える磁界発生手段とを備え、可動板(21)とトーショ
ンバー(24)上に反射ミラー(22)と引き出し配線(26)とが導電性膜によって一体的に形成さ
れる構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で製造されうるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、基板に形成された平板状の可動板(21)と、可動
板(21)の両端を基板に回動可能に支持する一対のトーションバー(24)と、可動板(21)の表
面に形成される反射膜(22)と、可動板の裏面に形成されるコイル(23)と、可動板(21)の一
部に形成されて該可動板(21)の表裏面を貫通する貫通孔部(31)とを備え、可動板(21)とト
ーションバー(24)の表面に形成される導電性膜によって反射膜(22)が形成され、該導電性
反射膜(22)とコイル(23)の一端とが貫通孔部(31)で接続され、該コイル(23)の他端がトー
ションバー(34)の裏面に延在する(28)。 （もっと読む）

【課題】レンズを備えた移動体と支持体との間において、移動体の外周側に永久磁石を配置できるスペースが狭い場合でも、移動体に搭載した磁性片との間に十分な吸引力を発揮可能なレンズ駆動装置を提供すること。
【解決手段】レンズ駆動装置１において、レンズ１２１は円形であるが、かかるレンズ形状に関係なく、コイル３０ｘ、３０ｙは四角形であり、永久磁石１７は、支持体３において内周面が四角形に形成されたヨーク１８の角筒状胴部１８４の辺に相当する複数の内面の各々に固着された平板状永久磁石である。このため、移動体３に搭載したリング状の磁性片６１との間に作用する磁気的な吸引力が大きい。 （もっと読む）