【課題】小型かつ簡単な構成で、ステージを水平方向に移動または垂直軸回りに回転させることが可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】ベース２と、ベース２にエアベアリング６１を介して設けられたステージ３とを具備するステージ装置１であって、ベース２およびステージ３の対向面のいずれか一方に、対向面と平行な第１の移動方向に沿って複数の第１の一次側磁束発生部４ａが互いに平行に設けられ、第１の移動方向と直交し、かつ、対向面と平行な第２の移動方向に沿って第２の一次側磁束発生部４ｂが設けられ、対向面の他方に、第１および第２の一次側磁束発生部４ａ、４ｂに各々対向するようにして第１および第２の二次側磁束発生部５ａ、５ｂが設けられ、第１および第２の一次側磁束発生部４ａ、４ａ、並びに、第１および第２の二次側磁束発生部５ａ、５ｂの各磁極面を前記対向面と略平行に形成した。 （もっと読む）

【課題】ベアリングボールを適切な状態で予圧することで、外側部材と内側部材との接触が効果的に防止されるとともに、両者の間隔が一定に保たれる球面モータを提供する。
【解決手段】軸受３２の設置側部材（外側部材：ステータ１０）に設置された保持部材３２０が磁性部材（第２の永久磁石３８０）の磁気力によって相手側部材（内側部材：ロータ２０）の方向に予圧されることにより、保持部材３２０に保持されたベアリングボール３１０がロータ２０の表面に当接し、これによってステータ１０とロータ２０とが相対回転可能に支持される。磁性部材の磁気力がステータ１０とロータ２０との間のギャップの大きさが小さくなるほど非線形に大きくなる特性を有していることにより、ベアリングボール３１０が適切な状態で予圧される。 （もっと読む）

【課題】外側部材を従来より容易に製造することを可能として生産性の向上が図られる球面モータを提供する。
【解決手段】内部が中空の殻構造を有する略球体状のステータ（外側部材）１０の内部に略球体状のロータ（内側部材）２０が３自由度以上に相対回転可能に保持され、これらステータ１０とロータ２０とにそれぞれ磁極３１，２２が設けられた球面モータにおいて、ステータ１０をプレス加工等で製造が容易な複数の平坦な面の組み合わせからなる多面体で構成し、各面に磁極３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】 負荷を水平Ｘ方向と垂直Ｚ方向に位置決めする小形の位置決め装置を提供する。
【解決手段】 水平Ｘ方向に駆動するリニアモータと、垂直Ｚ方向に駆動するアクチュエータを備え、アクチュエータをリニアモータの可動側に搭載して負荷をＸ、Ｚ方向に位置決めする位置決め装置において、リニアモータのＸ方向寸法をＬ、Ｚ方向寸法をＷとした場合、Ｗ／Ｌ≧２として構成した。 （もっと読む）

【課題】ロータとステータの両方に対してベアリングボールの転がりが可能な球面軸受機構を有した球面モータを提供する。
【解決手段】ベアリングボールを回転自在な状態で保持した保持器１０６をステータ内側カバー１０１とロータカバー１１３との間に介在させる。保持器１０６が、ステータ内側カバー１０１およびロータカバー１１３に対して相対的に動ける構造とすることで、ステータ１１０の回転時にベアリングボールがステータ内側カバー１０１に対して転がり、またロータカバー１１３に対して転がる。これにより、ベアリングボールのステータ側部材およびロータ側部材への転がりが無理なく行われる球面軸受機構が実現される。 （もっと読む）

【課題】真空環境用の改良されたリニアモータを提供する。
【解決手段】真空環境用のリニアモータは、コアおよびハウジングを備える。コアは、複数の冷却板５０１Ａ，５０１Ｂ，５０１Ｃと、複数の冷却板５０１Ａ，５０１Ｂ，５０１Ｃの間に挟まれた複数の電気コイル５１７，５１９，５２３，５２５とを含む。コアは、複数の電気コイル５１７，５１９，５２３，５２５と複数の冷却板５０１Ａ，５０１Ｂ，５０１Ｃとの間に位置する複数の熱伝導性エポキシ層５１３Ａ，５１３Ｂ，５１３Ｃ，５１３Ｄと、複数の電気コイル５１７，５１９，５２３，５２５と複数の冷却板５０１Ａ，５０１Ｂ，５０１Ｃとの間に設置され、両者間の距離を定める複数のシム５１５と、をさらに含む。コアは、ハウジング内に組み付けられる前に試験されるように構成されている。ハウジングはコアを包囲し、本体と複数の供給口と蓋とを備える。 （もっと読む）

【課題】３以上の磁極が着磁されている磁石を有するアクチュエータの駆動性能を向上させること、ならびにそのようなアクチュエータを備える駆動装置および撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】アクチュエータは、コイルと、コイルに通電することにより発生する磁力を受けてコイルに対して移動可能な磁石１２０と、磁石１２０の位置を検出する磁気検出素子を備える。磁石１２０は、コイルに対する移動方向に対して垂直な第１分極線１２８、および第１分極線１２８と平行な第２分極線１２９を有している。コイルは、第１分極線１２８に対向する位置に配置されている。磁気検出素子は、第２分極線１２９に対向する位置に配置されている。第２分極線１２９から磁石１２０の磁気検出素子側の端部１２０ｂまでの長さｃは、磁石１２０の移動量の１．２５倍以上である。 （もっと読む）

【課題】外力や衝撃を受けた際に、ロータとステータが接触せず、且つ、ロータとステータとの間隔を一定に保つ球面モータを提供する。
【解決手段】略球状の殻構造を有するステータ１０１と略球状の外面構造を有するロータ１１０を備えた球面モータにおいて、ステータ１０１は、コイル１２２が巻かれた磁極部材１０２を備える。磁極部材１０２の突極面１０４は、ロータ１１０を回転自在な状態で支持するベアリングボール１１５をロータ１１０側に突出させる開口と、このベアリングボール１１５の突出量を調整するコイルバネ１１７およびスペーサ１１８を備えている。ベアリングボール１１５がロータ１１０に押されても、スペーサ１１８とベアリングボール１１５を保持する押圧部材１１６とが接触することで、ロータ１１０とステータ１０１との接触が回避される。またコイルバネ１１７の付勢力によって、ロータ１１０とステータ１０１との間隔が一定に保たれる。 （もっと読む）

【課題】リニアモータを小型化及び軽量化できるようにする。
【解決手段】リニアモータ１は、Ｘ軸方向に沿って極性が交互となるように等間隔に配置された複数の磁極１１を有する界磁１０と、界磁１０の一方側に対向して配置され、Ｘ軸方向に沿った推進力を発生するための複数のＸ軸用巻線２２を有するＸ軸用電機子２０と、界磁１０の他方側に対向して配置され、Ｙ軸方向に沿った推進力を発生するための複数のＹ軸用巻線３２を有するＹ軸用電機子３０とを備えることにより、Ｘ軸方向への駆動に用いられる界磁とＹ軸方向への駆動に用いられる界磁とを共通化する。 （もっと読む）

【課題】トルクや推力を増大させることができる直動回転アクチュエータを提供する。
【解決手段】界磁とする永久磁石や鉄心歯を備えた可動子と、回転θ方向に極ピッチλの回転磁界を発生するθ電機子巻線と直動Ｘ方向に極ピッチγの進行磁界を発生するＸ電機子巻線を備えた固定子とで構成されるとともに、θ電機子巻線とＸ電機子巻線に電流を通電し、θ方向にトルク、Ｘ方向に推力を発生させて可動子の回転動作と直動動作を行う直動回転アクチュエータにおいて、可動子の界磁に、複数のＮ極を磁極表面に有する複Ｎ極円筒部２１１ａと、複数のＳ極を磁極表面に有する複Ｓ極円筒部２１１ｂを備え、複Ｎ極円筒部のＮ極と複Ｓ極円筒部のＳ極の磁極間隔がＸ方向にγ、θ方向にλとなるように複Ｎ極円筒部と複Ｓ極円筒部を配置するとともに、複Ｎ極円筒部と複Ｓ極円筒部の間にＸ方向を磁化方向とする永久磁石を配置したものである。 （もっと読む）

【課題】 界磁の平面エリアを小さくすることで重量を低減して装置全体を小形化すると共に、ＸＹ両方向の推力を増大させ、複数台の可動子の個別駆動により装置の作業効率も上げることができる２自由度アクチュエータを提供する。
【解決手段】 Ｘ方向に推力を発生させるＸ電機子巻線とＸ方向とは異なるＹ方向に推力を発生させるＹ電機子巻線とで構成された電機子と、Ｘ方向とＹ方向に磁極を形成する界磁を備え、界磁に対し電機子が相対的にＸ方向とＹ方向に移動する２自由度アクチュエータにおいて、Ｘ電機子巻線のＸ方向長をＷａｘ、Ｙ電機子巻線のＹ方向長をＷａｙ、界磁のＸ方向長をＷｍｘ、界磁のＹ方向長をＷｍｙとした場合、Ｗａｘ ≦ Ｗｍｘ、かつ、Ｗａｙ ≧ Ｗｍｙとして構成した。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの固定子ユニットと可動子ユニットとの間の距離の変化を検知可能な移動体装置、この移動体装置を備える露光装置、及びこの露光装置を利用してデバイスを製造するデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】移動体装置は、第１の方向に沿って設けられた固定体部と、第１の方向に沿って固体体部に対し相対移動可能に固定体部に対向配置された移動体部と、第１の方向に沿って固定体部に配列された複数の第１ユニット、および複数の第１ユニットに対向するように移動体部に設けられた第２ユニットを有し、第１ユニットと第２ユニットとの間に相互に作用させる電磁力によって移動体部を相対移動させるリニアモータと、第２ユニットに対し第１ユニット側へ突出するように移動体部に設けられた接触子を有し、接触子の端部と第１ユニットとの接触状態に基づいて第１ユニットと第２ユニットとの間の距離の変化を検知する検知部とを備える。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの固定子ユニットと可動子ユニットとの間の距離の変化を検知可能な移動体装置、この移動体装置を備える露光装置、及びこの露光装置を利用してデバイスを製造するデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】移動体装置は、第１の方向に沿って設けられた固定体部と、第１の方向に沿って固体体部に対して相対移動可能に固定体部に対向して配置された移動体部と、第１の方向に沿って固定体部に配列された複数の第１ユニット、および複数の第１ユニットに対向するように移動体部に設けられた第２ユニットを有し、第１ユニットと第２ユニットとの間に相互に作用させる電磁力によって移動体部を相対移動させるリニアモータと、第１ユニットと第２ユニットとの間に張設された線状部材と、線状部材の動きを検出し、線状部材の動きの検出結果に基づいて第１ユニットと第２ユニットとの間の距離の変化を検知する検知部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】球面ステッピングモータおよび球面ＡＣサーボモータにおけるロータに内接する仮想多面体とステータに内接する仮想多面体との間の厳しい制約を緩和し設計自由度を飛躍的に増やす手段を提供する。
【解決手段】ロータに内接する仮想多面体の辺の分割点に永久磁石、ステータに内接する仮想多面体の辺の分割点に電磁石を配置することで上記課題を解決したものであって、球体に内接する仮想多面体の頂点および頂点を結ぶ辺に対応する円弧の分割点に永久磁石を配置したロータと、該ロータの球体を包含する球体に内接する仮想多面体の頂点、頂点を結ぶ辺に対応する円弧の分割点に電磁石を配置したステータとからなる多極球面ステッピングモータおよび多極球面ＡＣサーボモータ。 （もっと読む）

【課題】高精度化や高出力化されたアクチュエータを提供する。
【解決手段】直動回転を行うアクチュエータは、出力軸２０１の負荷側に直動検出器部３００と回転検出器部４００からなる検出器部１００ｂを配置し、反負荷側にモータ部１００ａを配置してある。検出器部１００ｂの両側と、モータ部１００ａの反負荷側には、各１個のボールスプライン１０６ａと各２個のベアリング１０６ｂにて構成されるθＸ軸受部１０６をそれぞれ配置してある。また、出力軸２０１の負荷側におけるθＸ軸受部１０６のボールスプラインの部位にθエンコーダ４０１を設け、モータ部１００ａのθ電機子巻線１０３とＸ電機子巻線１０４を同心円状に重畳して配置する構成にしてある。これにより、単位体積あたりの出力を大きくすることができ、高精度、高出力のアクチュエータを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高精度化や高出力化されたアクチュエータを提供する。
【解決手段】フレーム１０１に同心円状で出力軸２０１の両端に配置され、直動方向および回転方向に自在に支持する支持機構１０６と、前記出力軸２０１に関して長手方向の前記支持機構１０６の間に同心円状に配置され、前記出力軸２０１を直動方向および回転方向に駆動するモータ部１００ａと、直動方向を支持する前記支持機構１０６に配置され、回転方向の角度を検出する第１の検出部４０４と、前記出力軸を回転自在に支持する保持器１０６ｃを介して配置され、直動方向の変位を検出する第２の検出部４０２と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】この立型ＸＺスライド装置は，ベッドにＸテーブルとＺテーブルとを独立的に移動させ，構造を簡潔にして可動テーブルのタクトタイムを短縮させる。
【解決手段】ベッド１は，Ｘテーブル２を取り付けた水平方向に延びる第１平面部分３８，Ｚテーブル３を取り付けた鉛直方向に延びる第２平面部分３９，及び両平面部分が交差する第３平面部分４０から構成する。可動テーブル３２は，第３平面部分４０に対応して位置し，Ｘテーブル２とＺテーブル３とに直動案内ユニット４，５を介してＸテーブル２とＺテーブル３とに重なって配設されている。可動テーブル３２は，Ｘリニアモータ４２でＸ方向に移動され，Ｚリニアモータ４１でＺ方向に移動してベッド１に対してＸ方向とＺ方向との所定位置に位置決め可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】コイルと磁石とを利用して２次元方向の推力を得る２次元アクチュエータの推力を向上することを課題とする。
【解決手段】アクチュエータ２０は、異なる極性の磁石１１、１２を隣り合わせて並べた磁石対１４にコイル１３を重ね、コイル１３の巻線が区画する領域１５と、磁石１１、１２の対向面１６と、が交差するように、磁石１１、１２とコイル１３とを組み合わせて配置した推力発生部１０を複数備え、推力発生部１０ａ、１０ｂの磁石１１、１２同士の対向面１４ａと１４ｂとが互いに直交するように配置される。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの固定子と可動子との衝突を防止する。
【解決手段】Ｘボイスコイルモータ１８ｘの固定子７３に、ストッパブロック７０を固定する。ストッパブロック７０と可動子７１のヨーク７５との間のＹ軸方向に関するクリアランスは、コイルユニット７８と磁石ユニット７７とのＹ軸方向に関するクリアランスよりも狭く設定されている。従って、コイルユニット７８と磁石ユニット７７が接触するよりも前にストッパブロック７０とヨーク７５とが接触し、これによりコイルユニット７８及び磁石ユニット７７が保護される。 （もっと読む）

【課題】直動方向の位置および回転方向の角度を精度良く検出すること。
【解決手段】モータ部の界磁部へ取り付けられた出力軸と、出力軸について直動方向の位置および回転方向の角度をそれぞれ検出する検出器部と、出力軸を直動方向および回転方向にそれぞれ支持する軸受部とを備えるように直動回転アクチュエータを構成する。そして、モータ部は、出力軸の反負荷側に、検出器部は、出力軸の負荷側に、それぞれ配置されるように直動回転アクチュエータを構成する。 （もっと読む）