【課題】共振子であればＱ値の低下、フィルタであれば挿入損失の増加を生じさせないＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷの伝搬方向に対する逆速度面が進行方向に対して凹となる圧電基板１０を用いて形成されるＳＡＷデバイスにおいて、ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｂを有する交差電極部２と、交差電極２より交差長方向外側に配置され、グレーティング電極１２ａ、１２ｂを有するグレーティング部３ａ、３ｂとを備え、グレーティング電極３ａ、３ｂの膜厚をＩＤＴ電極１１ａ、１１ｂの膜厚より厚くした。 （もっと読む）

【課題】 電極に含まれる各層の接合強度及び環状電極と圧電基板との接合強度を向上し、かつ、電極の腐食を抑制すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、回路基板と、回路基板上にワイヤレスボンディング方式で実装した弾性表面波素子とを有している。弾性表面波素子は、圧電基板１の主面１ａに形成された励振電極と、圧電基板１の主面１ａに形成され、励振電極の外周を取り囲む位置に形成されている環状電極１１とを有している。環状電極１１は、圧電基板１の主面１ａに、Ａｌを主成分とする金属材料で形成されている下地層１２と、下地層１２を覆う位置に形成されている密着電極層１３と、密着電極層１３上に形成されているバリアメタル電極層１４とを含んでいる。また、環状電極１１の周縁の主面１ａ上には、保護膜１０が形成されており、保護膜１０は、密着電極層１３より厚く形成されている。 （もっと読む）

音響波により動作するフィルタが２つの部分フィルタに分割され、これら２つの部分フィルタが異なるフィルタ形式に配属され、別個のサブストレートに配置されていることが提案される。これにより部分フィルタを独立して最適化することができる。さらにチップに別のフィルタまたは部分フィルタを集積し、例えばデュプレクサを形成することも提案される。
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【課題】 挿入損失劣化を低減し、通過帯域の肩特性を向上できる優れた特性の弾性表面波素子及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 圧電基板１上に一対の平行な共通電極と各共通電極から互いに噛み合うように延びた複数の電極指４とからなるＩＤＴ電極３が形成され、ＩＤＴ電極３の一方の共通電極に形成された電極指４先端と相対するように他方の共通電極にダミー電極指５が形成されており、ダミー電極指５の幅がＩＤＴ電極３の電極指の幅より狭く形成されているとともに、ＩＤＴ電極３の電極指における共通電極との接続部８の幅がその残部９の幅より狭く形成されている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波共振子あるいはフィルタなどの弾性表面波デバイスにおいて、損失を最小化し、急峻性を向上させることを目的とするものである。
【解決手段】漏洩表面弾性波を励起することが可能なカット角で切り出された圧電基板１上に櫛型電極や反射器を設け、従来ＬＳＡＷとして利用されていたＳＡＷの音速を低減させ、前記圧電基板を伝播する遅い横波の速度よりも遅くしたＳＡＷを利用することにより、従来ＬＳＡＷとして利用されていたＳＡＷを伝播損失の発生しないＲＳＡＷとして利用し、従来のＬＳＡＷを利用したＳＡＷフィルタやＳＡＷ共振子と比較し、挿入損失が少なく、かつ急峻特性が向上したＳＡＷフィルタやＳＡＷ共振子を得る。 （もっと読む）

【課題】 絶縁性に優れた複合酸化物積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板２０と、前記基板２０の上方に形成され、一般式ＡＢＯ_３で表される第１複合酸化物層２４と、前記第１複合酸化物層２４の上方に形成され、一般式ＡＢ_１−ｘＣ_ｘＯ_３で表される第２複合酸化物層２６と、を含み、Ａ元素は、少なくともＰｂからなり、Ｂ元素は、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、ＷおよびＨｆの少なくとも一つからなり、Ｃ元素は、ＮｂおよびＴａの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタの耐熱性を向上させて耐電力性を向上させる。
【解決手段】基板３５上に第１の金属膜４１を形成することにより、ＳＡＷ共振子と、このＳＡＷ共振子と接続された接続パターンと、この接続パターンと接続されたボンディングパッドとを形成する。更に、接続パターン上に第２の金属膜４３を形成する。この第２の金属膜４３を形成する工程では、第１の金属膜４１が形成された基板３５上に、接続パターン形成領域の内側の領域上に位置する第１の金属膜４１を露出するレジストパターン４２を形成する工程と、そのレジストパターン４２が形成された基板３５上に第２の金属膜４３を形成する工程と、レジストパターン４２及びこのレジストパターン４２上に形成された第２の金属膜４３を除去する工程とを有している。ＳＡＷ共振子の振動で発生した熱は、第２の金属膜４３を伝わって放熱される。 （もっと読む）

【課題】歩留まりの向上を図りつつ、所望の周波数特性を有する弾性表面波素子を得ることができる弾性表面波素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電材料を主材料として構成された圧電体層４上に、電気信号の入力用および出力用の１対のＩＤＴ５、６と、１対のＩＤＴ５、６を保護する保護膜７とを順次積層する弾性表面波素子１の製造方法であって、圧電体層４上に１対のＩＤＴ５、６を形成して、基体１ａを得る工程と、基体１ａに弾性表面波を励振させ、その伝播速度を測定する工程と、測定された伝播速度に基づいて、得られる弾性表面波素子１の弾性表面波の伝播速度が目的とする設定伝播速度となるように、保護膜７の設定膜厚を決定する工程と、決定された設定膜厚となるように保護膜７を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 安価な水晶基板を用い、しかもＳＨ型弾性境界波を利用することが可能であり、電気機械結合係数Ｋ²等の物性や特性を高めること等が可能な弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】 水晶基板２上に、少なくともＩＤＴ４が形成されており、ＩＤＴ４を覆うように、誘電体３が形成されており、水晶基板２と誘電体３との界面を弾性境界波が伝搬する弾性境界波装置であって、ＩＤＴ４の厚みは、ＳＨ型境界波の音速は、水晶基板２を伝搬する遅い横波及び誘電体３を伝搬する遅い横波の各音速よりも低音速となるように設定されており、かつ水晶基板２のオイラー角が、図１３に示されている斜線を付した領域内とされている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】 耐電力性が大きく、挿入損失が小さい弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】 この弾性表面波素子では、タンタル酸リチウムからなる圧電基板１上に、一対の簾状の電極２および３が、それぞれの電極指２ａおよび３ａが等間隔で交互に配列するように配置されている。また、電極２および３の両側には、格子状の電極４ａおよび５ａを有する反射器４および５が形成されている。電極指２ａは、圧電基板１上に形成されている約２０ｎｍの膜厚を有するチタンからなる第１層１２と、第１層１２上に形成されている約３７４ｎｍの膜厚を有するアルミニウムおよび銅を含む第２層２２とから構成されている。第２層２２では、アルミニウムからなる結晶粒２２ｂは、圧電基板１表面に概ね垂直な方向に伸びた柱状構造を有し、その結晶粒界には、第１層１２の表面から電極２の表面に至るアルミニウム銅合金からなる柱状の結晶粒２２ｃが形成されている。 （もっと読む）

本発明は音響波によって作動する共振器に関する。本発明によれば、この共振器の底面積は、この共振器の伝達特性においてクリティカルな入力信号パワーがインターセプトポイントを決定するために使用されるスペクトル成分の次数に依存して予め設定された目標レベルを下回らないように選択される。さらに本発明はインターセプトポイントに基づいて共振器の最小底面積を決定するための方法に関する。
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【課題】耐電力特性、温度特性の優れた弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】くし歯状電極部１３、１４と圧電性基板１２の間に、ＴｉＮ、またはＴｉＯｘＮｙ（ただし０＜ｘ＜０．２，ｘ＋ｙ＝１）からなる第１下地層２０、２４と、Ｃｒからなる第２下地層２１、２５を設けることにより、くし歯状電極部１３、１４に空隙部が発生することを防止でき、耐電力特性を向上させることができる。くし歯状電極部１３、１４に空隙部が発生することを防止できるとくし歯状電極部１３、１４の抵抗値の増加を抑えて電力損失を低減できる。また、直列共振周波数及び並列共振周波数の変動を小さくすることができる。 （もっと読む）

ＩＤＴ電極を覆うように絶縁物層が形成されている構造を備えた弾性表面波装置であって、ＩＤＴの反射係数が十分に大きく、所望でないリップルによる特性の劣化を抑制し得る弾性表面波装置を提供する。
電気機械結合係数ｋの２乗が０．０２５以上のＬｉＮｂＯ_３からなる圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成されており、Ａｌよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金、またはＡｌよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金と他の金属とからなる積層膜からなる少なくとも１つの電極と、前記少なくとも１つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚に形成された第１絶縁物層と、前記電極及び第１絶縁物層を被覆するように形成された第２絶縁物層とを備え、前記電極の密度が、前記第１絶縁物層の１．５倍以上である、弾性表面波装置。
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【課題】 同一のウエハから形成した弾性表面波素子間における周波数温度特性のばらつきを小さくする。
【解決手段】 圧電体基板に設けたフォトレジストを露光するためのフォトマスクであって、フォトマスク４０は、透明基板４２に、圧電体基板に形成する電極に対応させて設けた複数の電極パターン４４（４４ａ〜４４ｃ）を有する。各電極パターン４４は、ＩＤＴ用パターン４６（４６ａ〜４６ｃ）と反射器用パターン４８（４８ａ〜４８ｃ）とからなっている。各ＩＤＴ用パターン４６を構成している電極指パターン５４（５４ａ〜５４ｃ）、５６（５６ａ〜５６ｃ）は、それぞれ電極指幅と電極指ピッチとが相互に異なっている。 （もっと読む）

【課題】 同一のウエハから形成した弾性表面波素子間における周波数温度特性のばらつきを小さくする。
【解決手段】 圧電体基板に設けたフォトレジストを露光するためのフォトマスクであって、フォトマスク３０は、透明基板３２に、圧電体基板に形成するすだれ状電極に対応した向きの異なる同一の電極パターン３４（３４ａ〜３４ｃ）が設けてある。これら電極パターン３４は、圧電体基板の位置による弾性表面波素子の周波数温度特性のばらつきに応じて、フォトレジストを露光する際に使い分ける。 （もっと読む）

【課題】無線通信機器へ実装した後において、無線通信機器のケースなどによる減衰特性の影響を受けない高周波フィルタ部品を提供する。
【解決手段】圧電基板３０の一面には、弾性表面波素子が形成され、回路基板２０の表面にフェースダウン実装される。圧電基板３０の、弾性表面波素子のＩＤＴ電極等が形成された面とは反対の面に導体膜３４が形成され、前記導体膜３４は、回路基板２０に設けられた接地用の導体パッド４２にワイヤ３１で接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性表面波デバイスに関して、耐電力特性を備えた弾性表面波デバイスの挿入損失を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、特に、弾性表面波デバイスを構成する複数の弾性表面波共振器２，４のうち少なくとも一つの弾性表面波共振器２の電極構造を他の弾性表面波共振器４を構成する電極構造と積層数を異ならせた構造としたことにより、耐電力特性を備えた弾性表面波デバイスにおける挿入損失を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】重み付けが施されたＩＤＴを有し、電極指先端のギャップ部分による弾性境界波の回折現象に起因する特性の劣化が生じ難い、弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】第１の媒質１１と、第２の媒質１２とが積層されており、第１，第２の媒質１１，１２間に、ＩＤＴ１３が配置されており、ＩＤＴ１３に重み付けが施されており、かつ該ＩＤＴ１３が互いに間挿し合う複数本の電極指１３ａ，１３ｂを有し、電極指１３ａまたは１３ｂの先端と、当該電極指と異なる電位に接続されるダミー電極指とがギャップＢを隔てて対向配置されており、ギャップＢの電極指長さ方向に沿う寸法ＧＤが、電極指の周期をλとしたときに、０．０５μｍ〜０．２２λの範囲とされており、かつλが０．２３μｍよりも大きくされている、弾性境界波装置１０。 （もっと読む）

【課題】 小型化を可能とする弾性表面波素子および弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】 圧電基板１０と、圧電基板１０の表面に形成された対峙する１対の給電導体１４，１５に多数の電極指１２，１３がそれぞれ交互に連結されたＩＤＴ電極１１と、ＩＤＴ電極１１の両側に配置され、対峙する給電導体２３，２５に多数の反射指２２，２４が連結された反射器２０，２１と、を備え、ＩＤＴ電極１１におけるそれぞれの給電導体１４，１５と導通する導通パッド３０，３１が一方の給電導体１５側に配置されたＳＡＷ共振子素子１であって、少なくともＩＤＴ電極１１の他方の給電導体１４と隣り合う一方の反射器２０の給電導体２３とが接続され、かつ導通パッド３０を反射器２０の給電導体２３の幅方向に延長して設ける。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴ電極を覆うように絶縁物層が形成されている構造を備えた弾性表面波装置であって、ＩＤＴの反射係数が十分に大きく、所望でないリップルによる特性の劣化を抑制し得る弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】電気機械結合係数ｋの２乗が０．０２５以上のＬｉＮｂＯ₃からなる圧電性基板１と、前記圧電性基板１上に形成されており、Ａｌよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金、またはＡｌよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金と他の金属とからなる積層膜からなる少なくとも１つの電極４Ａと、前記少なくとも１つの電極４Ａが形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚に形成された第１絶縁物層２と、前記電極及び第１絶縁物層２を被覆するように形成された第２絶縁物層６とを備え、前記電極４Ａの密度が、前記第１絶縁物層４の１．５倍以上である、弾性表面波装置。 （もっと読む）