【課題】 優れた周波数特性と通過特性を有する弾性表面波素子、及びこの弾性表面波素
子の製造方法を提供する。
【解決手段】 弾性表面波素子１０は、半導体基板（Ｓｉ層５０）の同一平面上に半導体
配線領域２０とＳＡＷ領域３０が並列して形成されている弾性表面波素子１０であって、
ウエハ１に弾性表面波素子１０を格子状に配列すると共に、隣接する弾性表面波素子１０
に形成される半導体配線領域２０を市松模様状に配列し、半導体配線領域２０とＳＡＷ領
域３０の上面に渡って同一平面の絶縁層７１〜７４を形成し、最上層の絶縁層７４の表面
に圧電体層９０を形成し、ＳＡＷ領域３０の圧電体層９０の表面にＩＤＴ４０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 通過帯域内の平衡度が良好な弾性表面波素子およびそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子は、圧電基板１上に、弾性表面波の伝搬方向に第１のＩＤＴ電極31〜38を電気的に接続した３つのＩＤＴ電極群21〜23を配設し、ＩＤＴ電極群21〜23の第１のＩＤＴ電極31〜38の間に、第１のＩＤＴ電極31〜38に電気的に非接続の、第１の分離電極51〜54を配設した第１の弾性表面波素子部Ａと、ＩＤＴ電極群24，25と第１の分離電極55，56を配設し、ＩＤＴ電極群24，25と反射器電極４，５との間にＩＤＴ電極群24，25とは電気的に非接続の第３のＩＤＴ電極61，62を第２の分離電極として配設した第２の弾性表面波素子部Ｂとを備え、第１の弾性表面波素子部Ａの中央のＩＤＴ電極群22が不平衡入力部６、第２の弾性表面波素子部Ｂの２つのＩＤＴ電極群24，25が平衡出力部７，８とされている。 （もっと読む）

【課題】 ＳＡＷデバイスを特性の変化無く、より一層薄型化し、簡単な構造でＩＤＴ電極と外部電極との電気的導通性及び気密封止性を確保する。
【解決手段】 ＳＡＷデバイス１は、圧電基板４にＩＤＴ電極５、ＩＤＴ電極から引き出した取出電極８、及び圧電基板の周辺全体に沿って設けた金属接合部９を有するＳＡＷチップ２と、ガラス基板１０に取出電極８に対応して設けた貫通孔１１、ガラス基板下面の周辺全体に沿って設けた金属接合部１３、ガラス基板下面に貫通孔の開口周辺に設けた接続電極１２を有するカバー３とを備える。ＳＡＷチップの金属接合部及び取出電極とカバーの金属接合部及び接続電極とをそれぞれ熱圧着で接合し、ＩＤＴ電極をカバー下面と接触した状態で気密に封止する。貫通孔内に形成した金属膜１４及び封止材１６で、ガラス基板上面の外部電極１５とＩＤＴ電極とを電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】所定周波数のバースト信号を入力し、その後の周回に伴う信号の位相を測定するのが容易であり、さらに、周回時間と励起する弾性表面波の周波数によっても測定の安定性を確保することが出来る、弾性表面波素子の使用方法を提供することである。
【解決手段】圧電性結晶材料の球形状３次元基体１１の表面に電気音響変換素子１２からのバースト信号により弾性表面波１４を励起し伝搬周回させ前記変換素子により受信し、前記基体が前記表面波の伝搬を遮断しないよう支持体１８により支持され、前記表面において球形であり前記支持体を含み外部物質と接触しない表面積が前記球形表面が完全球面と仮定した際の表面積に対し９５％以上である球状弾性表面波素子１０を用い、前記励起終了後で前記周回に伴い減衰する前記変換素子からの高周波信号の強度減衰率が変化する時刻よりも後の時刻で前記高周波信号の位相あるいは強度の測定に基き前記表面波の伝搬状態を計測する。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＯ_２膜による電極保護効果及び温度特性改善効果を有するだけでなく、挿入損失の劣化を抑制し得る弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】回転ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ_３基板と、ＬｉＴａＯ_３基板上に形成されており、かつＡｌまたはＡｌを主成分とする金属からなる少なくとも１つのインターデジタルトランスデューサと、インターデジタルトランスデューサを覆うようにＬｉＴａＯ_３基板表面に形成されたＳｉＯ_２膜と、反射器とを備え、ＳｉＯ_２膜の表面波の波長λで規格化された膜厚をＨｓとし、ＬｉＴａＯ_３基板のカット角をθとしたときに、規格化膜厚Ｈｓが所定の範囲にあり、かつ反射器がＬｉＴａＯ_３基板の端面により構成されており、それによって端面反射型の表面波装置とされていることを特徴とする、表面波装置。 （もっと読む）

【課題】水晶基板を用いたＳＡＷデバイスにおいて、容量比γを小さくし、周波数制御性を高めたＳＡＷデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】圧電基板１は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを結晶Ｚ軸より反時計方向に−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°にした水晶平板であり、励振する弾性表面波はＳＨ波である。また、ＩＤＴ２及びグレーティング反射器３ａ、３ｂはＡｌ又はＡｌを主成分とする合金からなり、弾性表面波の波長λで基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２に設定する。そして、前記ＩＤＴを構成する電極指のライン占有率ｍｒを電極指幅／（電極指幅＋電極指間スペース）とした時に、前記ライン占有率ｍｒを０．５３≦ｍｒ≦０．６５、又は０．５５≦ｍｒ≦０．６８に設定する。 （もっと読む）

【課題】シングル電極の櫛型電極内の内部反射を抑圧するＳＡＷトランスバーサルフィルタとして利用可能な弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】ＳＡＷトランスバーサルフィルタ１は、タンタル酸リチウム単結晶からなる圧電基板と、圧電基板の表面に形成され、アルミニウムを主成分とする膜厚ＨｍのＩＤＴ２とを備えている。ＩＤＴ２は、アルミニウムを主成分とする極性が正である正極２−１と、アルミニウムを主成分とする極性が負である負極２−２と、から構成されており、正極２−１と、負極２−２とが弾性表面波の１波長内に配置されている。誘電膜３は、正極２−１と負極２−２の間の圧電基板の表面に形成され、二酸化ケイ素を主成分とし、誘電膜３の膜厚Ｈｄは、弾性表面波の波長で規格化した膜厚Ｈｄが弾性表面波の波長で規格化した膜厚Ｈｍより略３％厚くして設けられている。 （もっと読む）

本発明は、音響表面波で作動する構成素子の電極構造体の層構造に関する。この電極構造体はここで、音響インピーダンスＺ_ａ，ｄを有する誘電層（４）によって覆われている。電極構造体の層構造は第１の層システムを含み、当該第１の層システムは、第１の材料から成る少なくとも１つの第１の層（３１，３２）から成り、この第１の層内では音響インピーダンスは２Ｚ_ａ，ｄより小さく、層構造はさらに第２の層システムを含み、この第２の層システムは、第２の材料から成る少なくとも１つの第２の層（２１，２２、２３）から成り、この第２の層内では音響インピーダンスは値２Ｚ_ａ，ｄを上回る。この多層構造の全体高さに対する、前記第２の層システムの全体厚さの相対的な割合は１５％〜８５％の間である。
（もっと読む）

電気機械結合係数が大きく、伝搬損失及びパワーフロー角が小さく、周波数温度係数ＴＣＦが適度な範囲にあり、簡潔な構造により簡単な工法で製造され得るＳＨ型の弾性境界波を用いた弾性境界波装置を提供する。圧電体の一面に誘電体が積層されており、圧電体と誘電体との間の境界に電極としてＩＤＴ及び反射器が配置されており、誘電体を伝搬する遅い横波の音速及び圧電体を伝搬する遅い横波の音速よりもＳＨ型弾性境界波の音速を低くするように、上記電極の厚みが決定されている、弾性境界波装置。
（もっと読む）

【課題】小型化が可能で、不要共振による電気特性上の不具合が抑制された弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板１０と、その上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された一対の反射器電極２１ａ、２１ｂと、その間に形成された少なくとも一つのＩＤＴ電極２２とを有する弾性表面波装置において、一対の反射器電極２１ａ、２１ｂの一方の電極厚みと他方の電極厚みとを異ならせる。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数の低下を防止して、挿入損失の改善を図った弾性表面波素子、かかる弾性表面波素子を備える電子デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子１は、主として圧電材料で構成された圧電体層４と、この圧電体層４上に設けられ、バスバー（基部）５２、６２と、これに接続され、所定間隔で併設された複数の電極指５１、６１とを備える一対の櫛歯電極で構成されたＩＤＴ５、６と、バスバー５２、６２に接続された端子（電気接続部）８１〜８４と、圧電体層４のＩＤＴ５、６と反対側の面に接触して設けられ、主として導電性材料および／または半導体材料で構成された下地層３とを有する。この弾性表面波素子１では、下地層３が、平面視で少なくとも各電極指５１、６１と重なる領域と、端子８１〜８４と重なる領域とに分離して設けられている。 （もっと読む）

【課題】 超音波接合によって形成される境界領域の構成に着目して、機械的な接合力を向上させた超音波接合構造を得る。
【解決手段】 圧電基板１上にアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されるパッド電極５を含む導体層と、前記パッド電極５に超音波接合される金又は金合金により形成されるバンプ電極１２とを有する電子部品において、前記パッド電極５と前記バンプ電極１２が接合して形成される接合界面領域１５の少なくとも一部に高融点金属化合物からなる分散領域を散在させ、しかも、前記接合界面領域１５の周囲では前記高融点金属化合物からなる保護層が圧電基板１の上面及び前記導体層の上面を覆っている。 （もっと読む）

【課題】任意の帯域幅の共振器及びフィルタを提供する。
【解決手段】大きな電気機械結合係数をもつ圧電・電歪物質基板の表面或いは圧電薄膜基板上にすだれ状電極を配置した共振器、或いはその両側に反射器を配置した構造の共振器において、電極の交差幅を伝搬方向に変化させることにより、励振効率を低下させ、全体の電極対数を大きくすることにより、共振−反共振の周波数幅を狭くする。 （もっと読む）

【課題】横モードスプリアスを低減し、電極指の交差幅を大きくできるようにする。
【解決手段】弾性表面波素子片１０は、圧電基板１２がタンタル酸リチウムのＸカット板から形成してある。圧電基板１２の表面には、すだれ状電極からなる一対のＩＤＴ（１４ａ、１４ｂ）と、これらのＩＤＴを挟むように一対の反射器（２０ａ、２０ｂ）とが設けてある。ＩＤＴ（１４ａ、１４ｂ）を形成している電極指部１８（１８ａ、１８ｂ）は、アルミニウム系金属膜からなる電極指本体３０を有する。電極指本体３０の表面には、電極指本体３０を陽極酸化して形成した陽極酸化膜３２が設けてある。陽極酸化膜３２は、二酸化ケイ素膜２６によって覆われている。また、電極指部（１８ａ、１８ｂ）の交差幅は、弾性表面波の波長の２０倍以上にしてある。 （もっと読む）

【課題】Ｃｕを主成分とするインターデジタル電極を用いた弾性表面波装置であって、耐電力性が著しく改善された弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２と、圧電基板２上に形成されたインターデジタル電極３とを備え、インターデジタル電極３が、ＣｕまたはＣｕを主成分とする合金からなる主電極層３ａと、主電極層３ａと圧電基板２との間に配置されており、Ｔｉを主成分とし、膜厚が１８〜６０ｎｍの範囲にある密着層３ｂとを備える、弾性表面波装置１。 （もっと読む）

圧電基板（Ｓ）上に形成されるＳＡＷ素子に関して損失を低減するために、速いすべり波の伝播速度よりも表面波の伝播速度が低くなるまで、金属化部（Ｍ）により質量応力が高められる。その際、温度変動の上昇が限界を超えないようにする目的で、Ａｌよりも著しく大きい固有層厚ないしは比層厚をもつ金属化部が用いられる。これと並行して、実質的に面全体にわたり被着された補償層（Ｋ）によって素子の温度変動が小さくされる。この補償層は、基板と金属化部の組み合わせによる弾性率に対し逆に作用する弾性係数の温度依存性をもつ材料から選択される。
（もっと読む）

【課題】 小型化が実現されたパッケージを含む電子部品を提供する。
【解決手段】 電子部品である弾性表面波装置１は、半導体基板１０と、半導体基板１０の第１面１０Ａとその第１面１０Ａとは反対側の第２面１０Ｂとを貫通する貫通電極１２と、半導体基板１０の第１面１０Ａ側に設けられた弾性表面波素子５０と、第１面１０Ａとの間で弾性表面波素子５０を封止する封止部材４０とを備え、弾性表面波素子５０は、貫通電極１２と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 耐電力に優れアフターコロージョンの発生を抑制できる弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】 圧電基板上に電極を備えた弾性表面波素子であって、前記電極は単層の膜からなる電極膜と、前記電極膜はＺｒが０．３５〜０．５０ｗｔ％、Ｓｉが０．１５〜０．２５ｗｔ％、Ｆｅが０．１０〜０．２５ｗｔ％、Ｃｕが０．０５〜０．２０ｗｔ％、Ｔｉが０．０１５〜０．０３５ｗｔ％、Ｂが０．００１〜０．０２ｗｔ％でその他不可避の不純物を含有するアルミニウム合金からなることを特徴とする弾性表面波素子。
【効果】 （もっと読む）

【課題】 複数の周波数帯での通信を１つの送信機、又は受信機で選択的に切り替えて行うことができる送受信機を提供する。
【解決手段】 上記課題を達成するための送信機は、送信信号を出力するための発振器２０と、前記発振器からの出力信号を電波として放出するためのアンテナ４４とを備える送信機である。前記発振器２０は、１つの圧電基板の一主面に、並列配置した複数のＩＤＴを有するＳＡＷ素子と、前記弾性表面波素子に配設された複数のＩＤＴと並列接続した増幅器と、前記増幅器と前記ＩＤＴとの間に設けられ、前記増幅器と前記複数のＩＤＴの中から選択されたものとを並列に接続する接続切替回路と、を備える発振装置２０ａと、入力された信号に従って前記接続切替回路の接続切り替え制御を行うモード切替制御部２６と、前記発振装置からの出力信号を、入力された出力制御信号に従って振幅変調するための出力制御部４０とを有することを特徴とする。また、受信機は、前記発振装置を局部発振器に備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 平衡型端子を有する半導体デバイスに直接接続することができるアンテナ共用器を提供すること。
【解決手段】 送信フィルタ１０１に接続される送信端子Ｔｘおよび受信フィルタ１０３に接続される受信端子Ｒｘの内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子である。送信フィルタ１０１および受信フィルタ１０３は、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成である。平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタ７００が接続されている。 （もっと読む）