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Fターム[5J097FF03]の内容

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Fターム[5J097FF03]に分類される特許

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【課題】周波数の温度係数および/または導波路特性に関して改良された、導波路層およびこれに隣接する外套層を有するマイクロ音響デバイスを提供する。
【解決手段】第1の音響波速度VLをもつ導波路層WLと、該導波路層に直接隣接し、第2の音響波速度VM1を有する第1の外套層M1とを有しており、導波路で音響波を励起するために電極E1を備えており、波速度について式VL<VM1が成り立っており、導波路層は異常熱機械挙動をもつ成分を含むガラスであり、導波路層WLは二酸化ゲルマニウム、カルコゲナイドガラス、またはメタリン酸亜鉛を成分として有している。 (もっと読む)


【課題】溝形成時の圧電基板の削り屑の付着による特性の劣化や、IDT電極の損傷が生じ難い、IDT電極の電極指間に溝が形成されている弾性波装置の製造方法を得る。
【解決手段】LiTaO基板2などからなる圧電基板の上面2aに溝2bが形成されるべき第1の領域以外の第2の領域を覆うように第1のレジストパターン4を形成し、第1の領域に溝2bを形成し、第1のレジストパターン4を除去するとともに、削り屑2cを除去して、溝2bが形成されているLiTaO基板2を得、溝2bを形成した後にIDT電極5Bを形成する、弾性波装置の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 振動空間の気密性を長時間にわたって保持することができる弾性波装置を提供する。
【解決手段】 枠状の溝部10を上面に有する素子基板3と、素子基板3の上面3aのうち枠状の溝部10によって囲まれた領域に位置している励振電極5と、励振電極5を囲む内周面を有して溝部10に嵌め込まれている枠体2および枠体2に重なって枠体2を塞いでいる蓋体4を有するカバー9とを備えた構成とする。 (もっと読む)


【課題】 振動空間の気密性を長時間にわたって保持することができる弾性波装置を提供する。
【解決手段】 素子基板3と、素子基板3の主面に配置された励振電極5と、凹部を有し、凹部の内面および素子基板3の主面で囲まれた空間である振動空間21内に励振電極5が位置するようにして前記凹部の周囲が素子基板3の主面に接合されたカバー9とを備えた弾性波装置である。カバー9は、素子基板3との接合部の外面側および内面側の少なくとも一方に、素子基板3の主面に沿って伸びている伸長部10を備えている。 (もっと読む)


【課題】周波数温度特性に優れ、さらに電気機械結合係数が高められた弾性表面波共振子を用いて形成されており、温度特性及び周波数特性を改善し得るチューナブルフィルタを提供する。
【解決手段】弾性表面波共振子S1,S2,P1〜P3に可変コンデンサが接続されている回路構成を備え、該弾性表面波共振子が、LiTaOまたはLiNbOからなる圧電基板11と、該圧電基板の上面11aの凹部11bに充填された電極材料からなるIDT電極12と、該圧電基板を覆うように設けられたSiO膜15とを有する、チューナブルフィルタ1。 (もっと読む)


【課題】バンプ形成時の応力による圧電基板のクラックが生じ難く、かつ電極層の圧電基板からの剥離も生じ難い、弾性表面波装置を得る。
【解決手段】バンプ13を介して実装基板にフリップチップボンディング方式で実装される弾性表面波装置であって、圧電基板2の第1の主面上にIDT電極3〜5を含む第1の電極層11が形成されており、第1の電極層11に電気的に接続されるように、第2の電極層12が形成されており、第2の電極層12上にバンプ13が接合され、第2の電極層12のバンプ13が接合される部分を接合領域としたときに、接合領域において第2の電極層12と圧電基板2との間に、バンプ13よりも硬度が高い誘電体からなる誘電体層8が設けられている、弾性表面波装置。 (もっと読む)


【課題】寄生容量を小さく、電気特性の安定性が高い電子装置およびその製造方法ならびに上記電子装置を含む弾性波装置を提供する。
【解決手段】電子装置は、誘電体からなる基板1と、基板1の上面に形成された配線部2とを備える。配線部2の下方またはその近傍に位置する基板1に、基板1の下面側から上面の近傍に至る段差部1Aが形成されている。 (もっと読む)


【課題】周波数調整を容易に行うことが可能な弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板10上に設けられた櫛型電極12及び反射電極14と、櫛型電極12及び反射電極14を覆って設けられた、元素がドープされた酸化シリコン膜(例えば、SiOF膜18)を少なくとも含む第1媒質20と、を備え、第1媒質20に含まれる元素がドープされた酸化シリコン膜は、アンドープの酸化シリコン膜よりも音速の遅い膜である弾性波デバイスである。 (もっと読む)


【課題】電子部品の厚みの増大や損傷が生じ難く、識別手段の脱落も生じ難く、さらに電気的特性の変動ももたらし難い、識別機能を備えた電子部品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】対向し合う第1及び第2の主面を有する基板2の第2の主面に回路素子が構成されており、基板2の第2の主面に保護層6が積層されており、保護層6の側面に識別用段差16,17が形成されている、電子部品1。 (もっと読む)


【課題】外部端子の設計の自由度を向上可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス1は、ベース基板5と、ベース基板5上にフェースダウン実装されている圧電素子7と、ベース基板5の側面11cに接合された拡張部材9と、拡張部材9の下面9bに設けられた外部端子3とを有し、拡張部材9は、ベース基板5及び圧電素子7のうち、ベース基板5の下面11bを露出させつつ、それ以外の部分を覆っていて、複数の外部端子3は、ベース基板5の下面11b及び/又は拡張部材9の下面9bに設けられている。 (もっと読む)


【課題】コストを増大させることなく、高耐電力と低通過損失の両立が可能なアンテナ分波器を備える通信モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明は、複数の分波器を備え、複数の分波器のうち、互いに送信帯域が異なる少なくとも2つの分波器それぞれに含まれる送信フィルタ、即ち第1分波器40の第1送信フィルタ42と第2分波器50の第2送信フィルタ52とのIDT電極34および互いに受信帯域が異なる少なくとも2つの分波器それぞれに含まれる受信フィルタ、即ち第1分波器40の第1受信フィルタ44と第2分波器50の第2受信フィルタ54とのIDT電極34の少なくとも一方が、単一の圧電基板32上に同じ材料且つ同じ膜厚で設けられている通信モジュールである。 (もっと読む)


【課題】優れた信頼性を有する弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置1は、圧電基板10と、IDT電極20と、パッド部26a、26bと、接続部27a、27bとを備えている。IDT電極20は、圧電基板10の上に配されている。IDT電極20は、複数の電極指22a、22b及びバスバー23a、23bを有し、互いに間挿し合う一対のくし歯状電極21a、21bからなる。接続部27a、27bは、IDT電極20とパッド部26a、26bとを接続している。パッド部26a、26bの少なくとも表層はPureAlまたはPureAuからなる。接続部の表層は、PureAlまたはPureAu以外の構成材料により構成されている。 (もっと読む)


【課題】 従来の多層膜技術の観点は耐電力性向上にあり、その特性、特に損失特性からの着眼は無く、むしろ多少の特性劣化が見込まれる場合も多かった。本願の目的は、従来とは異なり、多層膜化により積極的な特性向上、特に低損失化に好適な多層膜構造を提供する。
【解決手段】 弾性表面波基板上にすだれ状電極が形成され、そのすだれ状電極は、ALまたはCuを主材料とする主電極から形成され、さらに主電極の上に主材料とは異なる上部薄膜を配置し、上記主電極の膜厚を弾性表面波波長の7.7〜9.7%とする。 (もっと読む)


【課題】弾性波の伝搬損失を低減できる弾性波素子を提供する。
【解決手段】圧電基板3と、圧電基板3の上面に位置した少なくとも1つのIDT電極5とを有する弾性波素子である。IDT電極5は、圧電基板3を伝搬する弾性波の伝搬方向に延びて互いに対向して配置された一対の第1バスバー21および第2バスバー22と、第1バスバー21から第2バスバー22に向かって延び、第2バスバー22に対して第1ギャップG1を有する位置に先端が位置している複数の第1電極指8と、第1電極指8に隣接して第2バスバー22から第1バスバー21に向かって延び、第1バスバー21に対して第2ギャップG2を有する位置に先端が位置している複数の第2電極指8とを有し、第1電極指7は、第1交差領域R1のみに位置する、伝搬方向に突出した第1凸部31を有している。 (もっと読む)


【課題】 電子装置の特性の劣化を抑制することが可能な電子装置を提供すること。
【解決手段】 電子素子22を有するチップ部品2と、電子素子22を収容する空間Sを介してチップ部品2が搭載される配線基板3と、空間Sを囲むようにしてチップ部品2の上面及び側面から配線基板3の表面にかけて設けられる樹脂層4と、樹脂層4における配線基板3及びチップ部品2の側面との接着部分のみを覆うようにして設けられた封止補強用樹脂5とを有する電子装置1である。 (もっと読む)


【課題】弾性波センサのセンシングの正確性を向上させる。
【解決手段】第2のIDT電極5が励振する弾性波が圧電基板2と誘電体膜7との境界を伝搬する境界波となる弾性境界波素子でリファレンス部を構成するにより、弾性波センサ1に対し検出対象物質を含む可能性のある物質(呼気、検査液等)を接触させる際、リファレンス部を構成する第2のIDT電極5に検出対象物質等が付着することを防止する。これにより、この付着物による特性変化が抑制されるため、第2のIDT電極5で構成するリファレンス部のセンシングの正確性を向上させることができる。その結果、弾性波センサ1のセンシングの正確性が向上する。 (もっと読む)


【課題】弾性表面波を利用するために圧電基板上にIDT電極を配置した弾性表面波デバイスにおいて、このデバイスの周波数帯域が2GHz以上もの高周波数帯域であっても挿入損失を小さく抑えること。
【解決手段】2GHz以上もの周波数で縦波型リーキー波が圧電基板10上を伝搬するようにIDT電極2を構成したSAW共振子1において、電極指6の各々について、アルミニウム膜22と、当該アルミニウム膜22の下層側に設けられ、このアルミニウム膜22よりも弾性定数が大きいモリブデン膜21と、からなる積層膜23により構成すると共に、モリブデン膜21の膜厚h1を前記積層膜23の全体の膜厚の2/7に設定する。 (もっと読む)


【課題】反射係数が高くかつ温度係数の低い弾性波素子を提供する。
【解決手段】
SAW素子1は、圧電基板1と、圧電基板1の上面3aに配置されたIDT電極5と、IDT電極5の上面に配置された絶縁材料からなるスペーサー18と、スペーサー18の上面に配置された付加膜9と、付加膜9が配置されたIDT電極5を圧電基板1のうちIDT電極5から露出する部分とともに覆い、上面3aからの厚みが圧電基板1の上面3aから付加膜9の上面までの厚み以上であるSiOからなる絶縁層11とを有する。付加膜9は、IDT電極5の材料,スペーサーの材料18およびSiOよりも音響インピーダンスが大きく、スペーサー18よりも密度が大きく、かつIDT電極5の材料およびSiOよりも弾性波の伝搬速度が遅い材料からなる。 (もっと読む)


【課題】この弾性波素子は良好な温度特性と電気機械結合係数とを有する。
【解決手段】弾性波素子は、圧電体と、圧電体の上面上に設けられた第1と第2のインターディジタルトランスデューサ(IDT)電極と、圧電体の上面上に設けられてかつ第1のIDT電極と第2のIDT電極とを覆う第1の誘電体層とを備える。第1のIDT電極の真上方における第1の誘電体層の第1の部分の上面の圧電体の上面からの高さより、第2のIDT電極の真上方における第1の誘電体層の第2の部分の上面の圧電体の上面からの高さが高い。 (もっと読む)


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