【課題】周波数の温度係数および／または導波路特性に関して改良された、導波路層およびこれに隣接する外套層を有するマイクロ音響デバイスを提供する。
【解決手段】第１の音響波速度ＶＬをもつ導波路層ＷＬと、該導波路層に直接隣接し、第２の音響波速度ＶＭ１を有する第１の外套層Ｍ１とを有しており、導波路で音響波を励起するために電極Ｅ１を備えており、波速度について式ＶＬ＜ＶＭ１が成り立っており、導波路層は異常熱機械挙動をもつ成分を含むガラスであり、導波路層ＷＬは二酸化ゲルマニウム、カルコゲナイドガラス、またはメタリン酸亜鉛を成分として有している。 （もっと読む）

【課題】溝形成時の圧電基板の削り屑の付着による特性の劣化や、ＩＤＴ電極の損傷が生じ難い、ＩＤＴ電極の電極指間に溝が形成されている弾性波装置の製造方法を得る。
【解決手段】ＬｉＴａＯ_３基板２などからなる圧電基板の上面２ａに溝２ｂが形成されるべき第１の領域以外の第２の領域を覆うように第１のレジストパターン４を形成し、第１の領域に溝２ｂを形成し、第１のレジストパターン４を除去するとともに、削り屑２ｃを除去して、溝２ｂが形成されているＬｉＴａＯ_３基板２を得、溝２ｂを形成した後にＩＤＴ電極５Ｂを形成する、弾性波装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 振動空間の気密性を長時間にわたって保持することができる弾性波装置を提供する。
【解決手段】 枠状の溝部１０を上面に有する素子基板３と、素子基板３の上面３ａのうち枠状の溝部１０によって囲まれた領域に位置している励振電極５と、励振電極５を囲む内周面を有して溝部１０に嵌め込まれている枠体２および枠体２に重なって枠体２を塞いでいる蓋体４を有するカバー９とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 振動空間の気密性を長時間にわたって保持することができる弾性波装置を提供する。
【解決手段】 素子基板３と、素子基板３の主面に配置された励振電極５と、凹部を有し、凹部の内面および素子基板３の主面で囲まれた空間である振動空間２１内に励振電極５が位置するようにして前記凹部の周囲が素子基板３の主面に接合されたカバー９とを備えた弾性波装置である。カバー９は、素子基板３との接合部の外面側および内面側の少なくとも一方に、素子基板３の主面に沿って伸びている伸長部１０を備えている。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性に優れ、さらに電気機械結合係数が高められた弾性表面波共振子を用いて形成されており、温度特性及び周波数特性を改善し得るチューナブルフィルタを提供する。
【解決手段】弾性表面波共振子Ｓ１，Ｓ２，Ｐ１〜Ｐ３に可変コンデンサが接続されている回路構成を備え、該弾性表面波共振子が、ＬｉＴａＯ_３またはＬｉＮｂＯ_３からなる圧電基板１１と、該圧電基板の上面１１ａの凹部１１ｂに充填された電極材料からなるＩＤＴ電極１２と、該圧電基板を覆うように設けられたＳｉＯ_２膜１５とを有する、チューナブルフィルタ１。 （もっと読む）

【課題】バンプ形成時の応力による圧電基板のクラックが生じ難く、かつ電極層の圧電基板からの剥離も生じ難い、弾性表面波装置を得る。
【解決手段】バンプ１３を介して実装基板にフリップチップボンディング方式で実装される弾性表面波装置であって、圧電基板２の第１の主面上にＩＤＴ電極３〜５を含む第１の電極層１１が形成されており、第１の電極層１１に電気的に接続されるように、第２の電極層１２が形成されており、第２の電極層１２上にバンプ１３が接合され、第２の電極層１２のバンプ１３が接合される部分を接合領域としたときに、接合領域において第２の電極層１２と圧電基板２との間に、バンプ１３よりも硬度が高い誘電体からなる誘電体層８が設けられている、弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】寄生容量を小さく、電気特性の安定性が高い電子装置およびその製造方法ならびに上記電子装置を含む弾性波装置を提供する。
【解決手段】電子装置は、誘電体からなる基板１と、基板１の上面に形成された配線部２とを備える。配線部２の下方またはその近傍に位置する基板１に、基板１の下面側から上面の近傍に至る段差部１Ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】電子部品の厚みの増大や損傷が生じ難く、識別手段の脱落も生じ難く、さらに電気的特性の変動ももたらし難い、識別機能を備えた電子部品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】対向し合う第１及び第２の主面を有する基板２の第２の主面に回路素子が構成されており、基板２の第２の主面に保護層６が積層されており、保護層６の側面に識別用段差１６，１７が形成されている、電子部品１。 （もっと読む）

【課題】周波数調整を容易に行うことが可能な弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板１０上に設けられた櫛型電極１２及び反射電極１４と、櫛型電極１２及び反射電極１４を覆って設けられた、元素がドープされた酸化シリコン膜（例えば、ＳｉＯＦ膜１８）を少なくとも含む第１媒質２０と、を備え、第１媒質２０に含まれる元素がドープされた酸化シリコン膜は、アンドープの酸化シリコン膜よりも音速の遅い膜である弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】外部端子の設計の自由度を向上可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１は、ベース基板５と、ベース基板５上にフェースダウン実装されている圧電素子７と、ベース基板５の側面１１ｃに接合された拡張部材９と、拡張部材９の下面９ｂに設けられた外部端子３とを有し、拡張部材９は、ベース基板５及び圧電素子７のうち、ベース基板５の下面１１ｂを露出させつつ、それ以外の部分を覆っていて、複数の外部端子３は、ベース基板５の下面１１ｂ及び／又は拡張部材９の下面９ｂに設けられている。 （もっと読む）

【課題】コストを増大させることなく、高耐電力と低通過損失の両立が可能なアンテナ分波器を備える通信モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明は、複数の分波器を備え、複数の分波器のうち、互いに送信帯域が異なる少なくとも２つの分波器それぞれに含まれる送信フィルタ、即ち第１分波器４０の第１送信フィルタ４２と第２分波器５０の第２送信フィルタ５２とのＩＤＴ電極３４および互いに受信帯域が異なる少なくとも２つの分波器それぞれに含まれる受信フィルタ、即ち第１分波器４０の第１受信フィルタ４４と第２分波器５０の第２受信フィルタ５４とのＩＤＴ電極３４の少なくとも一方が、単一の圧電基板３２上に同じ材料且つ同じ膜厚で設けられている通信モジュールである。 （もっと読む）

【課題】優れた信頼性を有する弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置１は、圧電基板１０と、ＩＤＴ電極２０と、パッド部２６ａ、２６ｂと、接続部２７ａ、２７ｂとを備えている。ＩＤＴ電極２０は、圧電基板１０の上に配されている。ＩＤＴ電極２０は、複数の電極指２２ａ、２２ｂ及びバスバー２３ａ、２３ｂを有し、互いに間挿し合う一対のくし歯状電極２１ａ、２１ｂからなる。接続部２７ａ、２７ｂは、ＩＤＴ電極２０とパッド部２６ａ、２６ｂとを接続している。パッド部２６ａ、２６ｂの少なくとも表層はＰｕｒｅＡｌまたはＰｕｒｅＡｕからなる。接続部の表層は、ＰｕｒｅＡｌまたはＰｕｒｅＡｕ以外の構成材料により構成されている。 （もっと読む）

【課題】 従来の多層膜技術の観点は耐電力性向上にあり、その特性、特に損失特性からの着眼は無く、むしろ多少の特性劣化が見込まれる場合も多かった。本願の目的は、従来とは異なり、多層膜化により積極的な特性向上、特に低損失化に好適な多層膜構造を提供する。
【解決手段】 弾性表面波基板上にすだれ状電極が形成され、そのすだれ状電極は、ALまたはCuを主材料とする主電極から形成され、さらに主電極の上に主材料とは異なる上部薄膜を配置し、上記主電極の膜厚を弾性表面波波長の7.7〜9.7%とする。 （もっと読む）

【課題】弾性波の伝搬損失を低減できる弾性波素子を提供する。
【解決手段】圧電基板３と、圧電基板３の上面に位置した少なくとも１つのＩＤＴ電極５とを有する弾性波素子である。ＩＤＴ電極５は、圧電基板３を伝搬する弾性波の伝搬方向に延びて互いに対向して配置された一対の第１バスバー２１および第２バスバー２２と、第１バスバー２１から第２バスバー２２に向かって延び、第２バスバー２２に対して第１ギャップＧ１を有する位置に先端が位置している複数の第１電極指８と、第１電極指８に隣接して第２バスバー２２から第１バスバー２１に向かって延び、第１バスバー２１に対して第２ギャップＧ２を有する位置に先端が位置している複数の第２電極指８とを有し、第１電極指７は、第１交差領域Ｒ１のみに位置する、伝搬方向に突出した第１凸部３１を有している。 （もっと読む）

【課題】 電子装置の特性の劣化を抑制することが可能な電子装置を提供すること。
【解決手段】 電子素子22を有するチップ部品２と、電子素子22を収容する空間Ｓを介してチップ部品２が搭載される配線基板３と、空間Ｓを囲むようにしてチップ部品２の上面及び側面から配線基板３の表面にかけて設けられる樹脂層４と、樹脂層４における配線基板３及びチップ部品２の側面との接着部分のみを覆うようにして設けられた封止補強用樹脂５とを有する電子装置１である。 （もっと読む）

【課題】弾性波センサのセンシングの正確性を向上させる。
【解決手段】第２のＩＤＴ電極５が励振する弾性波が圧電基板２と誘電体膜７との境界を伝搬する境界波となる弾性境界波素子でリファレンス部を構成するにより、弾性波センサ１に対し検出対象物質を含む可能性のある物質（呼気、検査液等）を接触させる際、リファレンス部を構成する第２のＩＤＴ電極５に検出対象物質等が付着することを防止する。これにより、この付着物による特性変化が抑制されるため、第２のＩＤＴ電極５で構成するリファレンス部のセンシングの正確性を向上させることができる。その結果、弾性波センサ１のセンシングの正確性が向上する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波を利用するために圧電基板上にＩＤＴ電極を配置した弾性表面波デバイスにおいて、このデバイスの周波数帯域が２ＧＨｚ以上もの高周波数帯域であっても挿入損失を小さく抑えること。
【解決手段】２ＧＨｚ以上もの周波数で縦波型リーキー波が圧電基板１０上を伝搬するようにＩＤＴ電極２を構成したＳＡＷ共振子１において、電極指６の各々について、アルミニウム膜２２と、当該アルミニウム膜２２の下層側に設けられ、このアルミニウム膜２２よりも弾性定数が大きいモリブデン膜２１と、からなる積層膜２３により構成すると共に、モリブデン膜２１の膜厚ｈ１を前記積層膜２３の全体の膜厚の２／７に設定する。 （もっと読む）

【課題】反射係数が高くかつ温度係数の低い弾性波素子を提供する。
【解決手段】
ＳＡＷ素子１は、圧電基板１と、圧電基板１の上面３ａに配置されたＩＤＴ電極５と、ＩＤＴ電極５の上面に配置された絶縁材料からなるスペーサー１８と、スペーサー１８の上面に配置された付加膜９と、付加膜９が配置されたＩＤＴ電極５を圧電基板１のうちＩＤＴ電極５から露出する部分とともに覆い、上面３ａからの厚みが圧電基板１の上面３ａから付加膜９の上面までの厚み以上であるＳｉＯ_２からなる絶縁層１１とを有する。付加膜９は、ＩＤＴ電極５の材料，スペーサーの材料１８およびＳｉＯ_２よりも音響インピーダンスが大きく、スペーサー１８よりも密度が大きく、かつＩＤＴ電極５の材料およびＳｉＯ_２よりも弾性波の伝搬速度が遅い材料からなる。 （もっと読む）

【課題】この弾性波素子は良好な温度特性と電気機械結合係数とを有する。
【解決手段】弾性波素子は、圧電体と、圧電体の上面上に設けられた第１と第２のインターディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）電極と、圧電体の上面上に設けられてかつ第１のＩＤＴ電極と第２のＩＤＴ電極とを覆う第１の誘電体層とを備える。第１のＩＤＴ電極の真上方における第１の誘電体層の第１の部分の上面の圧電体の上面からの高さより、第２のＩＤＴ電極の真上方における第１の誘電体層の第２の部分の上面の圧電体の上面からの高さが高い。 （もっと読む）