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Fターム[5J097GG04]の内容

弾性表面波素子とその回路網 (15,777) | 基板特性 (1,360) | 圧電基板カット (990) | LiNbO3 (330)

Fターム[5J097GG04]に分類される特許

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低抵抗の圧電基板を用いて構成されており、さらに酸素を含む雰囲気中において高温下にさらされたとしても、圧電基板の再酸化が生じ難く、従ってインターデジタル電極の劣化や破壊が生じ難い、信頼性に優れた弾性表面波装置を提供する。抵抗率が1.0×10〜1.0×1013Ω・cmである圧電基板5の主面5aにインターデジタル電極6が形成されており、該インターデジタル電極6を覆うように保護膜9が形成されている、弾性表面波素子3。
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【課題】温度の変化に対する中心周波数の変化の小さい、擬似弾性表面波を用いたフィルタを提供する。
【解決手段】電気機械結合係数の大きなLiNbO、LiTaO基板上に膜厚がHの金属膜2を付着させた後、膜厚がHで正の周波数温度特性をもつSiOなどの薄膜3を付着させた構造とする。この基板を伝搬する弾性表面波として、レーレー波より速い速度をもつ擬似弾性表面波を用い、圧電性基板1として、LiNbOの場合、回転Y板のカット角がマイナス25度から180度の範囲のLiNbO基板、LiTaOの場合、25度から45度の範囲であり、かつ弾性表面波の伝搬方向がX軸或いはX軸からプラス・マイナス5度の範囲であり、薄膜2の膜厚H/λ(λ:弾性表面波の動作周波数での波長)が0.005から0.2の範囲であり、薄膜3の膜厚H/λ(λ:弾性表面波の動作周波数での波長)が0.005から0.6の範囲でとする。 (もっと読む)


【課題】 SAWデバイスをより薄型化し、簡単な構造でIDT電極と外部電極との電気的導通性を確保しかつ確実に気密に封止する。
【解決手段】 SAWデバイス1は、圧電基板4にIDT電極5、それから引き出した取出電極8、及び圧電基板の全周辺に沿って金属接合部9を設けたSAWチップ2と、ガラス基板10に取出電極8に対応する貫通孔11、ガラス基板下面の全周辺に沿って金属接合部13及び貫通孔の開口周辺に接続電極12を設けたカバー3とを備える。SAWチップの金属接合部及び取出電極とカバーの金属接合部及び接続電極とをそれぞれ熱圧着で接合し、SAWチップとカバー間の空隙にIDT電極を気密に封止する。貫通孔内に形成した金属膜14及び封止材16でガラス基板上面の外部電極15とIDT電極とを電気的に接続する。カバー上面には、外部電極と重なる位置に凹部18を形成する。 (もっと読む)


【課題】シングル電極の櫛型電極内の内部反射を抑圧するSAWトランスバーサルフィルタとして利用可能な弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】SAWトランスバーサルフィルタ1は、タンタル酸リチウム単結晶からなる圧電基板と、圧電基板の表面に形成され、アルミニウムを主成分とする膜厚HmのIDT2とを備えている。IDT2は、アルミニウムを主成分とする極性が正である正極2−1と、アルミニウムを主成分とする極性が負である負極2−2と、から構成されており、正極2−1と、負極2−2とが弾性表面波の1波長内に配置されている。誘電膜3は、正極2−1と負極2−2の間の圧電基板の表面に形成され、二酸化ケイ素を主成分とし、誘電膜3の膜厚Hdは、弾性表面波の波長で規格化した膜厚Hdが弾性表面波の波長で規格化した膜厚Hmより略3%厚くして設けられている。 (もっと読む)


【課題】励振電極間に浮き電極を配置した一方向性SAW変換器において、方向性を高め、設計を容易にした一方向性SAW変換器を提供することを目的とする。
【解決手段】一方向性変換器10は1基本区間当たり8本の電極指からなり、上下バスバーに接続された励振電極1,5と、上下バスバーに接続せず各々の一端を接続電極により電気的に短絡した短絡型浮き電極2,3,6,7と、上下バスバーに接続せず電気的に開放した開放型浮き電極4,8とを備える。そして、短絡型浮き電極指2、開放型浮き電極4、短絡型浮き電極6、開放型浮き電極8の各々の電極指の中心間距離、及び励振に寄与する励振電極1、短絡型浮き電極3、励振電極5、短絡型浮き電極7の各々の電極指の中心間距離をλ/4とし、且つ、励振電極1と短絡型浮き電極2との中心間距離をλ/8とする。 (もっと読む)


電気機械結合係数が大きく、伝搬損失及びパワーフロー角が小さく、周波数温度係数TCFが適度な範囲にあり、簡潔な構造により簡単な工法で製造され得るSH型の弾性境界波を用いた弾性境界波装置を提供する。圧電体の一面に誘電体が積層されており、圧電体と誘電体との間の境界に電極としてIDT及び反射器が配置されており、誘電体を伝搬する遅い横波の音速及び圧電体を伝搬する遅い横波の音速よりもSH型弾性境界波の音速を低くするように、上記電極の厚みが決定されている、弾性境界波装置。
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【課題】広帯域化を図り得るだけでなく、通過帯域内における挿入損失を小さくし得る縦結合共振子型弾性表面波フィルタを得る。
【解決手段】圧電基板2上に、弾性表面波伝搬方向に沿ってそれぞれ複数本の電極指を有する少なくとも3つのIDT13〜15を備え、少なくとも1つのIDT13〜15が、表面波伝搬方向に隣接している他のIDT端部から一部分である狭ピッチ部分の電極指の周期が、該IDTの残りの部分の電極指の周期より狭くされており、かつ0次モード、2次モード及びIDT−IDT間共振モードを利用している、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ1。 (もっと読む)


【課題】 圧電基板の他方主面に導体層が形成された弾性表面波素子をフェースダウン実装した弾性表面波装置の通過帯域外減衰量を改善する。
【解決手段】 圧電基板2の一方主面に励振電極3と入力パッド部と出力パッド部とを具備するフィルタ領域が形成され、他方主面に半導体層22が形成された弾性表面波素子1を、実装用基体上に一方主面を対面させて実装している弾性表面波装置である。弾性表面波素子1の作製工程で発生する焦電破壊を防止するために圧電基板2の他方主面に設けられていた導体層に代えて、キャリア移動度の小さい半導体層2を形成したことによって、フィルタ領域の入力パッド部および出力パッド部間に形成されていた寄生容量による入力パッド部および出力パッド部間の結合量を大幅に小さくすることができ、これにより、通過帯域外減衰量を改善することができる。 (もっと読む)


【課題】小型化が可能で、不要共振による電気特性上の不具合が抑制された弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板10と、その上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された一対の反射器電極21a、21bと、その間に形成された少なくとも一つのIDT電極22とを有する弾性表面波装置において、一対の反射器電極21a、21bの一方の電極厚みと他方の電極厚みとを異ならせる。 (もっと読む)


【課題】任意の帯域幅の共振器及びフィルタを提供する。
【解決手段】大きな電気機械結合係数をもつ圧電・電歪物質基板の表面或いは圧電薄膜基板上にすだれ状電極を配置した共振器、或いはその両側に反射器を配置した構造の共振器において、電極の交差幅を伝搬方向に変化させることにより、励振効率を低下させ、全体の電極対数を大きくすることにより、共振−反共振の周波数幅を狭くする。 (もっと読む)


【課題】横モードスプリアスを低減し、電極指の交差幅を大きくできるようにする。
【解決手段】弾性表面波素子片10は、圧電基板12がタンタル酸リチウムのXカット板から形成してある。圧電基板12の表面には、すだれ状電極からなる一対のIDT(14a、14b)と、これらのIDTを挟むように一対の反射器(20a、20b)とが設けてある。IDT(14a、14b)を形成している電極指部18(18a、18b)は、アルミニウム系金属膜からなる電極指本体30を有する。電極指本体30の表面には、電極指本体30を陽極酸化して形成した陽極酸化膜32が設けてある。陽極酸化膜32は、二酸化ケイ素膜26によって覆われている。また、電極指部(18a、18b)の交差幅は、弾性表面波の波長の20倍以上にしてある。 (もっと読む)


【課題】電気機械結合係数の低下を防止して、挿入損失の改善を図った弾性表面波素子、かかる弾性表面波素子を備える電子デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子1は、主として圧電材料で構成された圧電体層4と、この圧電体層4上に設けられ、バスバー(基部)52、62と、これに接続され、所定間隔で併設された複数の電極指51、61とを備える一対の櫛歯電極で構成されたIDT5、6と、バスバー52、62に接続された端子(電気接続部)81〜84と、圧電体層4のIDT5、6と反対側の面に接触して設けられ、主として導電性材料および/または半導体材料で構成された下地層3とを有する。この弾性表面波素子1では、下地層3が、平面視で少なくとも各電極指51、61と重なる領域と、端子81〜84と重なる領域とに分離して設けられている。 (もっと読む)


【課題】マルチバンドに対応した無線通信装置に使用され、周波数帯又は通信方式の異なる複数の系を分ける分波器において、1つの設計で、規定数の系の中から任意の系の組み合わせを選ぶことができる分波器を提供する。
【解決手段】アンテナ端子から分岐して表層まで延長した表層パターンL1〜L3と、これに対向して表層に設けられた表層GNDパターンL7〜L9と、各系のフィルタの入力を表層まで延長した表層パターンL4〜L6とを設け、これらの表層パターンに搭載するチップ抵抗のインピーダンスと取り付け位置を選択することにより、ひとつの分波器にて、複数の系の組み合わせに対応する。 (もっと読む)


圧電基板(S)上に形成されるSAW素子に関して損失を低減するために、速いすべり波の伝播速度よりも表面波の伝播速度が低くなるまで、金属化部(M)により質量応力が高められる。その際、温度変動の上昇が限界を超えないようにする目的で、Alよりも著しく大きい固有層厚ないしは比層厚をもつ金属化部が用いられる。これと並行して、実質的に面全体にわたり被着された補償層(K)によって素子の温度変動が小さくされる。この補償層は、基板と金属化部の組み合わせによる弾性率に対し逆に作用する弾性係数の温度依存性をもつ材料から選択される。
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【課題】励振電極間にPNR(Positive and Nagative Reflectivity:正負反射型反射エレメント)を配置した一方向性SAW変換器及びそれを用いたSAWデバイスにおいて、優れた群遅延時間偏差及び低リップル化を実現することを目的とする。
【解決手段】PNR型一方向性SAW変換器1は、外部端子4に接続されたバスバー2より伸長する正電極指T1、T2と接地されたバスバー3より伸長する負電極指T3、T4を一対とするスプリット電極10と、前記バスバー2、3のどちらにも電気的に接続されていない開放型浮き電極O1、O2と短絡型浮き電極S1、S2からなるPNR11から構成されており、PNR11の電極周期をλ1、スプリット電極10の電極周期をλ2とした時、電極周期偏倚率d=(λ1−λ2)/λ1を0<d≦0.038の範囲に設定する。 (もっと読む)


【課題】育成結晶の正しい化学組成比を求め、高精度なSAWデバイス設計パラメータを与える。
【解決手段】コングルエント組成近傍の組成の結晶に対し、化学組成比変動に対して敏感なLSAWの伝搬方向を決定し、その伝搬方向において各結晶の育成軸方向のLSAW速度分布測定を通して、育成軸方向分布が0になる組成を決定し、その組成でのLSAW速度との絶対的関係を得る。これにより、極めて組成分布の小さい結晶量産を実現し、結晶化学組成評価の信頼性のある絶対的指標を与える。また、化学組成比に関する音響関連物理定数の正しい関係を求め、育成結晶の化学組成比に対応した音響関連物理定数を用いてSAWデバイス設計パラメータを高精度に決定する。 (もっと読む)


【課題】 複数の周波数帯での通信を1つの送信機、又は受信機で選択的に切り替えて行うことができる送受信機を提供する。
【解決手段】 上記課題を達成するための送信機は、送信信号を出力するための発振器20と、前記発振器からの出力信号を電波として放出するためのアンテナ44とを備える送信機である。前記発振器20は、1つの圧電基板の一主面に、並列配置した複数のIDTを有するSAW素子と、前記弾性表面波素子に配設された複数のIDTと並列接続した増幅器と、前記増幅器と前記IDTとの間に設けられ、前記増幅器と前記複数のIDTの中から選択されたものとを並列に接続する接続切替回路と、を備える発振装置20aと、入力された信号に従って前記接続切替回路の接続切り替え制御を行うモード切替制御部26と、前記発振装置からの出力信号を、入力された出力制御信号に従って振幅変調するための出力制御部40とを有することを特徴とする。また、受信機は、前記発振装置を局部発振器に備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】フリップチップボンディング技術により弾性表面波素子が形成された圧電素子をパッケージに搭載する弾性表面波デバイスの小型化と高信頼化を実現する。
【解決手段】線膨張係数を有するパッケージと、弾性表面波素子が形成され、前記パッケージにフリップチップボンディングで搭載された圧電素子を有し、前記圧電素子は、X,Y,Z結晶軸を有する単結晶から所定角度で切り出されたものであり、前記弾性表面波素子の櫛形電極により生成される弾性表面波の進行方向とこれに垂直な方向の線膨張係数が異なり、且つ前記パッケージの線膨張係数に近い線膨張係数を持つ方向を長辺として有する。 (もっと読む)


【課題】 弾性表面波素子をフェースダウン実装した弾性表面波装置の通過帯域外減衰量を改善する。
【解決手段】 圧電基板の一方主面に導体層を形成する工程および多数の弾性表面波素子領域を形成する工程および圧電基板の他方主面に導体層を形成する工程と多数個の弾性表面波素子を得る工程との間に、または実装する工程の後に、圧電基板の他方主面に形成した導体層を全て除去する工程を具備する弾性表面波装置の製造方法である。圧電基板の他方主面の導体層を全て除去することにより、通過帯域外減衰量を大幅に改善することができる。 (もっと読む)


【課題】複数の周波数帯を分波する複合型分波回路において、SAWデュープレクサ16を縦続接続することに起因する低周波ノッチの発生を防止する。
【解決手段】分波される信号が入力される入力端子がGNDと電気的に接続されておらず、かつ、3つの異なる周波数が第1、第2、第3の順に周波数が高くなる関係にある場合での第2の周波数帯の信号を取り出す分波回路がインダクタ及びキャパシタから成る位相調整回路6とSAWフィルタ7とから構成される。
【効果】伝送損失を悪化させることなく、高調波歪の発生も抑制することが可能である。 (もっと読む)


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