【課題】 損失劣化などの影響を生じない高品質な酸化膜を形成することができるＳＡＷデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電基板３２上にＩＤＴ電極３３を形成した後で、前記圧電基板の主としてＩＤＴ電極上に二酸化珪素による保護膜を形成するようにしたＳＡＷデバイスの製造方法であって、チャンバー内に、不活性ガスを導入するとともに、該チャンバー内に酸素を同時に導入しながらスパッタリングにより前記二酸化珪素膜を成膜することにより形成する。 （もっと読む）

ＨＦフィルタが提案され、このＨＦフィルタは、直列共振器（Ｓ１）及び少なくとも２つのそれぞれ並列分岐路に配置された並列共振器（Ｐ１、Ｐ２）を有する第１の部分フィルタ（ＴＦ１）を有し、ＤＭＳフィルタとして形成された第２の部分フィルタ（ＴＦ２）を有し、ベースプレート上にいくつかの内部ハウジング接点（ＧＫｉ）を有するハウジングを有し、このベースプレートは基板（ＳＵ）上の端子面に接続されており、これに比べて少数の外部ハウジング接点（ＧＫａ）を有し、これらの外部ハウジング接点はベースプレート内部に導かれる線路（ＤＬ１、ＤＬ２）を介して内部ハウジング接点（ＧＫｉ）に接続されており、第１の並列共振器（Ｐ１）及び第２の部分フィルタ（ＴＦ２）のアース端子のためのベースプレート内に又はベースプレート上に互いに別個に導かれた少なくとも２つの線路を有し、これらの線路は少なくとも２つ異なる外部ハウジング接点（Ｅ２、Ｅ４）に接続されている。
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【課題】耐電力特性、温度特性の優れた弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】くし歯状電極部１３、１４と圧電性基板１２の間に、ＴｉＮ、またはＴｉＯｘＮｙ（ただし０＜ｘ＜０．２，ｘ＋ｙ＝１）からなる第１下地層２０、２４と、Ｃｒからなる第２下地層２１、２５を設けることにより、くし歯状電極部１３、１４に空隙部が発生することを防止でき、耐電力特性を向上させることができる。くし歯状電極部１３、１４に空隙部が発生することを防止できるとくし歯状電極部１３、１４の抵抗値の増加を抑えて電力損失を低減できる。また、直列共振周波数及び並列共振周波数の変動を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 結晶性の良好な圧電体層を含む圧電体堆積体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電体堆積体１００の製造方法は，
Ｒ面サファイア基板１１の上方に第１酸化マグネシウム層２０を形成する工程と、
第１酸化マグネシウム層２０の上方に第２酸化マグネシウム層１２を形成する工程と、
第２酸化マグネシウム層１２の上方に圧電体層１３を形成する工程と、を含み、
第１酸化マグネシウム層２０を形成する工程における酸素の供給量に対するマグネシウムの供給量は、第２酸化マグネシウム層１２を形成する工程における酸素の供給量に対するマグネシウムの供給量より多く、
第１酸化マグネシウム層２０を形成する工程における酸素分圧は，第２酸化マグネシウム層１２を形成する工程における酸素分圧より低い。 （もっと読む）

【課題】 ニオブ酸カリウム層の薄膜を含むニオブ酸カリウム堆積体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るニオブ酸カリウム堆積体１００の製造方法は，
基板１１の上方にニオブ酸カリウム層１３を形成する工程と、
少なくともニオブ酸カリウム層１３に対して、大気圧より低い圧力下で行う熱処理工程と，を含む。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数が大きく、周波数温度特性が良いとともに、特に耐電力性が高く、大きな電力を印加しても電極が劣化しない複合圧電基板を提供する。
【解決手段】圧電基板と支持基板とを貼り合せて形成された複合圧電基板であって、前記圧電基板の表面には弾性表面波を励振するための金属電極が形成されており、該金属電極の厚さは、漏洩弾性表面波の波長で規格化した値で０．０４以上であり、前記支持基板と前記圧電基板とは接着剤を介して又は直接的に接合されたものであることを特徴とする複合圧電基板。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、周波数温度特性改善効果が高い弾性表面波素子及び複合圧電チップ並びにその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板上に弾性表面波を励振・検出する電極が形成された弾性表面波素子であって、少なくとも、圧電基板と支持基板とを貼り合わせた複合圧電基板をチップ形状に加工した複合圧電チップと、該複合圧電チップをバンプを介してフリップチップボンディングによって実装する実装基板とを具備し、前記圧電基板表面の特定方向の膨張係数αｃ（ｐｐｍ／℃）と、前記実装基板の膨張係数αｓ（ｐｐｍ／℃）とが、αｓ＜αｃ＜αｓ＋６なる関係を満たすように実装されたものであることを特徴とする弾性表面波素子。 （もっと読む）

【課題】 安価で、性能の良好なものが得られる表面弾性波ディバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の表面弾性波ディバイスの製造方法は、櫛歯電極２と反射器５ａ、５ｂの領域全体が絶縁膜６で覆われた状態で、電極部３ａ、３ｂ上に導体層４が形成されるため、導体層４の形成時には、櫛歯電極２と反射器５ａ、５ｂが絶縁膜６で保護されて、櫛歯電極２と反射器５ａ、５ｂへの異物の付着が無く、性能の良好なものが得られる。 （もっと読む）

【課題】 温度特性の良好な弾性境界波素子、これを用いた共振子およびラダー型フィルタを提供すること。
【解決手段】 本発明は、圧電性を有する第１の媒質（１０）と、第１の媒質上に形成された櫛型電極（１６）と、櫛型電極および第１の媒質上に形成された誘電体膜（１２）と、誘電体膜上に形成された第２の媒質（１４）と、を具備し、誘電体膜は酸化珪素膜を主に含み、その密度が２．０５ｇ／ｃｍ^３以上である弾性境界波素子である。第１の媒質（１０）と温度係数の符号が反対の酸化珪素膜を誘電体膜（１２）として使用することにより、温度特性の良好な弾性境界波素子、これを用いた共振子およびラダー型フィルタを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 ニオブ酸カリウムの薄膜を有するニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るニオブ酸カリウム堆積体１００は、
Ｒ面サファイア基板１１と、
Ｒ面サファイア基板１１の上方に形成された、金属酸化物からなるバッファ層１２と、
バッファ層１２の上方に形成されたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層１３と、
ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛層１３の上方に形成された、ニオブ酸カリウム層１４またはニオブ酸カリウム固溶体層と、
を含む。 （もっと読む）

【課題】 ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜とニオブ酸カリウム膜とが積層された圧電体膜積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電体膜積層体１００は、サファイア基板１１と、サファイア基板１１の上に形成されたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜１２と、ニオブ酸カリウム膜１３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】特殊なレジスト材料を用いることなく、蒸着リフトオフ法により錫拡散防止に必要な厚いニッケル膜を耐拡散バリア層として備えるアンダーバンプメタル膜を形成可能とし、さらにアンダーバンプメタル膜の内部応力に起因するアンダーバンプメタル膜の剥離を防止することを目的とする。
【解決手段】前記課題を解決するために本発明は、素子基板１１上に蒸着リフトオフによって形成するアンダーバンプメタル膜であって、そのアンダーバンプメタル膜の構成が、白金族の金属膜からなる耐拡散バリア層１６を備え、その下層にアルミニウムを主成分とする応力緩和層１５を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】櫛形電極を覆うように絶縁膜が形成された弾性波デバイスの損失を低減する。
【解決手段】圧電性基板１０上の所定方向において間隔が空けられた電極指形成領域１６の間の領域１８にＳｉＯ₂膜１４ａを形成する。ＳｉＯ₂膜１４ａの形成後は、電極指形成領域１６に各電極指１２ａを形成する。各電極指１２ａの形成後は、各電極指１２ａ上及びその間のＳｉＯ₂膜１４ａ上にＳｉＯ₂膜１４ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】 レジストパターンの識別を容易にすること。
【解決手段】 レジストパターン形成方法が、レジスト材料と色素とを含有した液状材料を下地物体上に配置して、前記下地物体上に材料パターンを形成する工程（Ａ）と、前記材料パターンを乾燥してレジストパターンを形成する工程（Ｂ）と、を包含している。 （もっと読む）

【課題】従来の弾性表面波デバイスでは、温度特性を改善しようとすると電気的特性が劣化するという問題があった。
【解決手段】圧電基板１１と、この圧電基板の第１の主面上に形成された櫛形電極１２と、圧電基板の第２の主面と接合された支持基板１３とを備え、圧電基板の第２の主面と支持基板１３とは、金属層１４を介して接合されたものであり、温度ドリフトが小さく、電気的特性、信頼性に優れた弾性表面波素子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 マスクが不要でレジストが節約でき、さらにレジストパターンの識別が容易なレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 レジストパターン形成方法が、レジストと、可視光域において下地物体の反射率・波長特性とは異なる反射率・波長特性を呈する微粒子と、を含有した液状材料を前記下地物体上に配置して、前記下地物体上に材料パターン１０Ａを形成する工程と、前記材料パターンを乾燥してレジストパターン１０Ｂを形成する工程と、を有している。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷ装置を形成する圧電ウエハの温度特性並びに電気特性を改善する。特にこれらの良好な特性と共に静電破壊等を防ぐことが出来る信頼性に優れた圧電ウエハを簡便な方法で製造する。
【解決手段】共に圧電性材料からなる第一ウエハと第二ウエハとを備え、第一ウエハと第二ウエハとを同極面同士が接合されるように貼り合せて一体化した複合圧電ウエハである。第一ウエハの厚さは０.１λ〜１．５λである。両ウエハを一体化するには直接接合又は表面活性化接合による。第一ウエハには、焦電特性の改善処理、添加物の添加および体積抵抗率を３．６×１０¹⁰ 〜１．５×１０¹⁴Ω・ｃｍとすることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波デバイスの処理対象領域に付着した付着物に起因する不良品となる潜在的な要因を持つことで、故障する可能性がある弾性表面波デバイスが、良品として出荷され、使用されている場において故障することを抑制できる、弾性表面波デバイスの製造方法、及び吐出装置、並びに弾性表面波デバイス、弾性表面波発振装置、及び電子機器を実現する。
【解決手段】 本発明による弾性表面波デバイスの製造方法は、ＩＤＴ４４上の付着物の有無を調べる付着物検査工程（ステップＳ１２）と、付着物が認められたＩＤＴ４４の電極４４ａと電極４４ｂとを短絡する工程（ステップＳ１４）とを有する。また、吐出装置は、付着物検出装置と導電性材料を吐出する吐出ヘッドとを備える。弾性表面波発振装置は、当該製造方法又は吐出装置を用いて製造された弾性表面波デバイスを備え、電子機器は、当該弾性表面波発振装置を備える。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤモンド積層構造の基板にＩＤＴを形成したダイヤモンドＳＡＷ素子により高周波化を図ることに加え、周波数を高精度に調整し、優れた周波数安定性を実現し、周波数調整量に対する伝送特性及び温度特性の変動を抑制する。
【解決手段】 Ｓｉ基板２の主面にダイヤモンド層３とＺｎＯの圧電体層４と交差指電極からなるＩＤＴ６，８とＳｉＯ_２ の絶縁保護膜１１とを積層してＳＡＷ素子１を形成し、その表面にＡｕ粒子１２をスパッタリングで均一に被着させて、ＳＡＷ素子の周波数を調整する。周波数の調整量は、スパッタ電力を適当に選択しかつその加工時間を設定することによって線形的に制御する。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波素子片の製造に好適な、液滴吐出方式を用いた絶縁膜形成方法を提供する。
【解決手段】 上記課題を解決するための液滴吐出方式を用いた絶縁膜形成方法は、圧電基板に成膜された均等膜厚のパターン電極を覆う絶縁膜を形成する方法であって、液滴吐出方式により圧電基板に形成された金属配線の絶縁膜形成部及び圧電基板に、吐出量を制御した絶縁膜形成材料の液滴を選択的に塗布し、前記金属配線に絶縁膜形成部と非形成部を設けたことを特徴とする。そして、前記絶縁膜形成材料は、無機材料物質を用いて構成することとする。 （もっと読む）