【課題】保護膜付与による影響を利用して温度特性を改善する弾性表面波装置の温度特性調整方法を提供する。
【解決手段】カット角がオイラー角表示で（０°，９５°≦θ≦１５５°，３３°≦｜ψ｜≦４６°）の範囲内にある事を基本とする面内回転ＳＴカット水晶基板を用いた弾性表面波素子片の周波数温度特性の調整方法であって、前記弾性表面波素子片における温度と周波数との関係を求め、当該求めた周波数と基準温度における基準周波数との偏差を求め、求めた偏差と温度との関係を一次式で近似し、予め求めた励振電極に形成した保護膜の厚さと前記一次式の傾きとの関係に基づいて、励振電極に保護膜を形成して前記近似した一次式の傾きを０に近づけることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ストップバンドの上限モードで共振する弾性表面波素子の、電極指幅のばらつきに伴う周波数ばらつきを小さくできるようにする。
【解決手段】弾性表面波素子１０は、水晶基板１２のカット角がオイラー角表示で（０°，０°≦θ≦１８０°，０°＜｜ψ｜＜９０°）となっている。水晶基板１２の表面中央部には、ＩＤＴ１４が設けてある。ＩＤＴ１４は、一対の櫛型電極１８（１８ａ、１８ｂ）からなり、すだれ状に形成してある。ＩＤＴ１４を構成している櫛型電極１８の電極指２２（２２ａ、２２ｂ）は、幅がＬｔ、電極指２２の形成ピッチがＰｔとなっていて、０．５≦（Ｌｔ／Ｐｔ）≦０．７となるように形成してある。ＩＤＴ１４は、一対の櫛型電極１８ａ、１８ｂ間に信号圧が印加されると、水晶基板１２をレイリー波からなる弾性表面波のストップバンドの上限モードで励振する。 （もっと読む）

【課題】水晶基板を用いた表面波デバイスであり、小型で、Ｑ値が大きく、周波数エージング特性の優れたＳＨ波型ＳＡＷデバイスを得る。
【解決手段】圧電基板と、該圧電基板上に形成されＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ電極とを備え、励振波をＳＨ波とした弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記ＩＤＴ電極の波長で基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２としたＳＨ波型弾性表面波デバイスにおいて、前記圧電基板はウエットエッチングにより形成されたエッチング痕を有しており、前記ＩＤＴ電極が前記圧電基板の前記エッチング痕を有する表面に形成されているＳＨ波型弾性表面波デバイス。 （もっと読む）

【課題】励振電極に保護膜が被覆された際に、ＳＡＷ装置の周波数温度特性が良好となるＳＡＷ装置を提供する。
【解決手段】上記課題を達成するためのＳＡＷ装置は、カット角がオイラー角表示で（０°，９５°≦θ≦１５５°，３３°≦｜ψ｜≦４６°）の範囲内にある事を基本とする面内回転ＳＴカット水晶基板（圧電基板）を用いたＳＡＷ装置である。そして、設定された共振周波数において所望する周波数温度特性を得るために必要とされる前記圧電基板のカット角に、圧電基板の主面に構成する励振電極本体に対する保護膜付与の影響による周波数温度特性の変化量に基づいて予め求めた面内回転角ψの補正量Δψを加えたカット角によって構成した圧電基板１２と、圧電基板１２の主面に形成された励振電極本体１８と、補正量Δψによる周波数温度特性の変化量に対応した膜厚に設定されて励振電極本体１８に付与される保護膜２０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度特性の調整を可能とする弾性表面波装置の温度特性調整方法および弾性表面波装置の製造方法、弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】オイラー角が（０°，１１３°≦θ≦１３５°，４０°≦｜ψ｜≦４９°）の水晶基板にＲａｙｌｅｉｇｈ型弾性表面波を励振させる多数の電極指を設けたシングル型のＩＤＴ電極と、該ＩＤＴ電極の両側に反射器を備え、前記弾性表面波のストップバンドの下限モードを励振させる弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、ＩＤＴ電極の対数を変化させて前記弾性表面波装置における温度特性の頂点温度を調整することで温度特性を調整する。 （もっと読む）

【課題】圧電基板にＳＴカット水晶基板を用いると周波数温度特性の２次温度係数が−０．０３４（ｐｐｍ／℃²）と大きいので実用上の周波数変動量が極端に大きくなってしまう点であり、また特公平０１−０３４４１１号に開示されているＳＡＷデバイスの構造では、ＩＤＴの対数を非常に多くしなければならないのでデバイスサイズが大型になってしまう点である。
【解決手段】水晶基板を用いたSAWデバイスにおいて、圧電基板１上に、それぞれ互いに間挿し合う複数本の電極指からなるＩＤＴ２と、該ＩＤＴ２の両側にグレーティング反射器３ａ、３ｂを配置する。前記圧電基板１は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを結晶Ｚ軸より反時計方向に−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°にした水晶平板であり、励振する弾性表面波はＳＨ波である。 （もっと読む）

【課題】
従来の弾性表面波装置では、櫛型電極の配置によっては温度変化に伴う基板変形の抑制効果を達成することができない。特に、弾性波表面装置の端面及びこれに近い領域では温度変化に伴う基板変形を抑制することができず、所望の周波数温度特性を得ることができない。
【解決手段】
本発明における弾性表面波装置では、圧電基板と、前記圧電基板に接合され、前記圧電基板と異なる膨張係数の材質からなる支持基板と、前記圧電基板の面上に配置された弾性表面波を励振する櫛型電極と、を備え、弾性表面波が伝播する方向において、前記櫛型電極の長さが前記圧電基板の長さに対して４０％以上７０％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水晶基板を用いた表面波デバイスであり、小型で、Ｑ値が大きく、周波数エージング特性の優れたＳＨ波型ＳＡＷデバイスを得る。
【解決手段】圧電基板と、該圧電基板上に形成されＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ電極とを備え、励振波をＳＨ波とした弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記ＩＤＴ電極の波長で基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２としたＳＨ波型弾性表面波デバイスにおいて、前記水晶基板を０．００２μｍ以上の厚さでエッチングしてＳＨ波型弾性表面波デバイスを構成する。 （もっと読む）

【課題】 周波数温度特性を改善する。
【解決手段】 弾性境界波素子１０は、相互に接合された第１圧電基板１２および第２圧電基板１４と、第１圧電基板１２と第２圧電基板１４との境界部に弾性波を励振するすだれ状電極からなるＩＤＴ１６とを有している。ＩＤＴ１６の弾性境界波の伝播方向両側には、反射器２４（２４ａ、２４ｂ）が設けてある。第１圧電基板１２と第２圧電基板１４とは、オイラー角を（φ，θ，ψ）としたときに、カット角が（φ，θ，ψ）または（φ，θ＋１８０°，ψ）の水晶板からなっている。 （もっと読む）

【課題】 従来構造よりデバイスサイズが小型で、Ｑ値が高く、周波数温度特性に優れたＳＡＷデバイスで、且つ、横高次モードスプリアスレベルを抑制することができるＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】 回転Ｙカット水晶基板のカット角θを結晶Ｚ軸より反時計方向に−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定した水晶基板１と、該水晶基板１上に形成されたＡｌ又はＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ２とを備え、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対して直交方向、励振される弾性表面波を水晶基板１の表面付近を伝搬するＳＨ波とし、弾性表面波の波長λで基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２に設定した弾性表面波デバイスにおいてＩＤＴ２にダミー電極１１を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 低損失、且つ通過帯域の低域側の減衰量が十分得られる縦結合多重モードＳＡＷフィルタを提供する。
【解決手段】 回転Ｙカット水晶基板のカット角θを結晶Ｚ軸より反時計方向に−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定した水晶基板１と、この水晶基板１上に形成されたＡｌ又はＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ２とを備え、ＳＡＷの伝搬方向を結晶Ｘ軸に対して直交方向、励振されるＳＡＷを水晶基板１の表面付近を伝搬するＳＨ波とし、ＳＡＷの波長λで基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２に設定した縦結合多重モードＳＡＷフィルタ部１１ａ、１１ｂを２段縦続接続にて形成し、各々の縦結合多重モードＳＡＷフィルタ部１１ａ、１１ｂのＩＤＴピッチＬｔと反射器ピッチＬｒの比Ｌｔ／Ｌｒを異ならせるようにした。 （もっと読む）

【課題】 同一のウエハから形成した弾性表面波素子間における周波数温度特性のばらつきを小さくする。
【解決手段】 圧電体基板に設けたフォトレジストを露光するためのフォトマスクであって、フォトマスク４０は、透明基板４２に、圧電体基板に形成する電極に対応させて設けた複数の電極パターン４４（４４ａ〜４４ｃ）を有する。各電極パターン４４は、ＩＤＴ用パターン４６（４６ａ〜４６ｃ）と反射器用パターン４８（４８ａ〜４８ｃ）とからなっている。各ＩＤＴ用パターン４６を構成している電極指パターン５４（５４ａ〜５４ｃ）、５６（５６ａ〜５６ｃ）は、それぞれ電極指幅と電極指ピッチとが相互に異なっている。 （もっと読む）

非接触式の弾性表面波に基づくトルク・温度センサは、Ｙ＋３４°カットの水晶で形成される共通基板１上に設けられた３つの弾性表面波共振器（ＳＡＷ）２，３，４を含む。第１のＳＡＷ２は、基板のＸ軸に対して＋４５°で傾く主軸を有する。基板のＸ軸は、使用中において、トルクが測定されるものの長手方向軸に一致するか、垂直となる。第２のＳＡＷ３は、基板のＸ軸に対して−４５°で傾く主軸を有する。第３のＳＡＷ４は、各ＳＡＷが平行とならないように、第２および第３のＳＡＷの両方の主軸に対して、主軸が好ましくは０〜３０°の範囲内の角度で傾くように配置される。第３のＳＡＷ４は、温度測定を可能にする。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴ電極を覆うように絶縁物層が形成されている構造を備えた弾性表面波装置であって、ＩＤＴの反射係数が十分に大きく、所望でないリップルによる特性の劣化を抑制し得る弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】電気機械結合係数ｋの２乗が０．０２５以上のＬｉＮｂＯ₃からなる圧電性基板１と、前記圧電性基板１上に形成されており、Ａｌよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金、またはＡｌよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金と他の金属とからなる積層膜からなる少なくとも１つの電極４Ａと、前記少なくとも１つの電極４Ａが形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚に形成された第１絶縁物層２と、前記電極及び第１絶縁物層２を被覆するように形成された第２絶縁物層６とを備え、前記電極４Ａの密度が、前記第１絶縁物層４の１．５倍以上である、弾性表面波装置。 （もっと読む）

【目的】本発明は、溝（グレーティンググルーブ）を設けた圧電性基板上にすだれ状電極を作製することにより、温度の変化に対する中心周波数の変化の小さい擬似弾性表面波基板、或いは電気機械結合係数の大きな基板を得ることを目的としている。
【構成】圧電性基板１の表面に弾性表面波の伝搬方向に直角な溝（グルーブ）２を作製した構造の圧電性基板上に溝に埋め込まれたすだれ状電極を用いた構造であって、圧電性基板として、回転Ｙ−Ｘ伝搬のＬｉＴａＯ_３、ＬｉＮｂＯ_３、或いは水晶、ランガサイトなどの零ＴＣＦ基板を用いて従来の特性より大きなｋ^２の基板、或いは従来より優れたＴＣＦの基板を得るのが本特許の構成である。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷ装置を形成する圧電ウエハの温度特性並びに電気特性を改善する。特にこれらの良好な特性と共に静電破壊等を防ぐことが出来る信頼性に優れた圧電ウエハを簡便な方法で製造する。
【解決手段】共に圧電性材料からなる第一ウエハと第二ウエハとを備え、第一ウエハと第二ウエハとを同極面同士が接合されるように貼り合せて一体化した複合圧電ウエハである。第一ウエハの厚さは０.１λ〜１．５λである。両ウエハを一体化するには直接接合又は表面活性化接合による。第一ウエハには、焦電特性の改善処理、添加物の添加および体積抵抗率を３．６×１０¹⁰ 〜１．５×１０¹⁴Ω・ｃｍとすることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】各種特性（特に、温度特性）に優れる弾性表面波素子、および、かかる弾性表面波素子を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】弾性表面波素子１は、基板２としてオイラー角が（０、θ、ψ）で表される水晶基板を有し、この基板２上に設けられたＩＤＴ３および反射器４、５と、ＩＤＴ３および反射器４、５の上面に選択的に設けられた絶縁保護膜とを有している。この弾性表面波素子１は、ＩＤＴ３および反射器４、５を、弾性表面波の伝搬方向と基板２のＸ軸とのなす角度ψが９０±１０゜となるように配置し、横波型弾性表面波が励振されるよう構成されている。そして、カット角θが、１２６〜１５０°であり、絶縁保護膜の規格化膜厚Ｈｚ／λ（Ｈｚは絶縁保護膜の平均厚さを示し、λは横波型弾性表面波の波長を示す。）が、０．０２〜０．４であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高周波化を可能とし、周波数温度特性が優れ、且つ、製造コストを低減できるラム波型高周波共振子を提供する。
【解決手段】 ラム波型高周波共振子１は、水晶基板１０の一方の主面にラム波を励振させるための櫛歯状のＩＤＴ電極２０を備えたラム波型高周波共振子であって、前記水晶基板１０の切り出し角度及び前記ラム波の伝搬方向が、オイラー角表示で（０、θ、０）になるようにＩＤＴ電極２０が形成され、水晶基板１０の厚みｔと、波長λとの関係が、０＜ｔ／λ≦３で表される範囲内に設定され、この範囲において６つの領域が設定され、そのうちの第１領域では、角度θが１３２．８度≦θ≦１７８度、ｔ／λが１．１≦ｔ／λ≦３の範囲に設定されている。 （もっと読む）

【課題】温度の変化に対する中心周波数の変化の小さい、擬似弾性表面波を用いたフィルタを提供する。
【解決手段】電気機械結合係数の大きなＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＴａＯ_３基板上に膜厚がＨ_１の金属膜２を付着させた後、膜厚がＨ_２で正の周波数温度特性をもつＳｉＯ_２などの薄膜３を付着させた構造とする。この基板を伝搬する弾性表面波として、レーレー波より速い速度をもつ擬似弾性表面波を用い、圧電性基板１として、ＬｉＮｂＯ_３の場合、回転Ｙ板のカット角がマイナス２５度から１８０度の範囲のＬｉＮｂＯ_３基板、ＬｉＴａＯ_３の場合、２５度から４５度の範囲であり、かつ弾性表面波の伝搬方向がＸ軸或いはＸ軸からプラス・マイナス５度の範囲であり、薄膜２の膜厚Ｈ_１／λ（λ：弾性表面波の動作周波数での波長）が０．００５から０．２の範囲であり、薄膜３の膜厚Ｈ_２／λ（λ：弾性表面波の動作周波数での波長）が０．００５から０．６の範囲でとする。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板の焦電効果による微細電極の静電破壊がなく、かつ周波数特性の劣化が発生しない弾性表面波素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム単結晶からなり、酸素含有量が化学量論比組成より少ない非焦電性の圧電基板１上に、ＩＤＴ電極３を形成してなる弾性表面波素子であって、圧電基板１の酸素含有量が周囲より多い表面の一領域（酸化層２）上にＩＤＴ電極３を形成し、かつＩＤＴ電極３の電極指の間の圧電基板１の表面（４）の酸素含有量がＩＤＴ電極３の電極指の下の領域より多いことを特徴とする弾性表面波素子とする。圧電性を劣化させることなく、焦電効果によって発生する静電気によるＩＤＴ電極３の破壊を防止しつつ、所望のフィルタ特性を得ることができる。 （もっと読む）