【課題】共振子がＵＷＢ用フィルタ用途に必要な電気機械結合係数および機械的品質係数の両方を満足するＢＡＷ共振装置を提供する。
【解決手段】支持基板１の一表面側に下部電極３１と圧電層３２と上部電極３３とを有する共振子３を備え、下部電極３１および上部電極３３が圧電層３２の圧電材料よりも機械的品質係数の大きな電極材料により形成されている。共振子３は、下部電極３１と上部電極３３とで一対の電極層を構成し、上部電極３３における圧電層３２側とは反対側に絶縁体層３４が積層され、上部電極３３の厚さをｔ_ｅ、絶縁体層３４の厚さをｔ_ｐ、ｎ次モード（ｎ≧２）の共振周波数における上部電極３３および絶縁体層３４それぞれの媒質中の弾性波の波長をそれぞれλ_ｅ，λ_ｐとするとき、｛（ｎ−１）／２｝≦（ｔ_ｅ／λ_ｅ＋ｔ_ｐ／λ_ｐ）≦｛（ｎ−０．５）／２｝を満足するように各厚さｔ_ｅ，ｔ_ｐが設定されている。 （もっと読む）

【課題】 キャビティ内の気密を確実に維持すると共に、圧電振動片と外部電極との安定した導通性を確保すること。
【解決手段】 ベース基板２と、キャビティ用の凹部３ａが形成され、凹部をベース基板に対向させた状態でベース基板に接合されたリッド基板３と、両基板間に形成されたキャビティ内で、ベース基板の上面に接合された圧電振動片４と、ベース基板の下面に形成された一対の外部電極３８、３９と、ベース基板を貫通するように形成され、一対の外部電極にそれぞれ電気的に接続された一対の貫通電極３２、３３と、ベース基板の上面に形成され、圧電振動片に一対の貫通電極をそれぞれ電気的に接続させる引き回し電極３６、３７と、を備え、貫通電極が、貫通孔３０、３１の内面に成膜された電極膜３２ａ、３３ａと、貫通孔を塞ぐように、電極膜を間に挟んで貫通孔の内面に固着されたガラス体３２ｂ、３３ｂと、で形成される圧電振動子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】プリント基板などからの応力に耐えることができる電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品１ａでは、ベース２と蓋５によって気密封止された空洞部９が形成されており、空洞部９内で、水晶振動子６が支持部７によりベース２の上面に保持されている。ベース２は、ガラスで構成されており、ベース２の底面には導電性樹脂などで構成された応力緩和層３が全面に形成されている。水晶振動子６の電極と導通する外部電極８と外部電極４は、それぞれ、ベース２と応力緩和層３の側面を経由して応力緩和層３の底面に至っている。このように構成された電子部品１ａは、応力緩和層３の底面部分に形成された外部電極８と外部電極４をプリント基板にはんだ付けなどして表面実装される。 （もっと読む）

【課題】 研磨工程において、ウエハに割れや欠けといった破損が生じてしまうのを防止したキャリアと、このキャリアを用いてなる研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】 ウエハＳの両面を研磨して、ウエハＳの厚みを所定の厚みに調整するウエハ研磨装置において、ウエハＳを収容し保持するためのキャリア４１である。ウエハＳを収容する、開口形状が略角形状の保持孔４１ｂを有している。保持孔４１ｂの角部には、角部を形成する二本の直線部Ｌ１、Ｌ２の交点Ｐとその近傍において、保持孔４１ｂの内側に向かって凹形状となる第１湾曲部４１ｃが形成され、第１湾曲部４１ｃの両側には、それぞれ対応する直線部より保持孔４１ｂの内側に膨出することなく、保持孔４１ｂの内側に向かって凸形状となる第２湾曲部４１ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】幅振動を利用する圧電共振子において、矩形状の圧電振動部のノード点近傍に矩形の支持部を連結した場合、支持部の寸法によってはノード点近傍の振動が支持部に伝わり、振動漏れが発生し、共振特性に劣化が生じる。そこで、支持部の寸法を規定し、振動漏れによる共振特性の劣化を低減した圧電共振子を提供する。
【解決手段】圧電共振子１において、圧電振動部３を支持するノード点Ｎ近傍に連結された支持部４ａ、４ｂの幅寸法ａと圧電振動部３の幅寸法ｂは０．０１５≦ａ／ｂ≦０．２００、圧電振動部３の長さ寸法ｄと幅寸法ｂは、ｄ＝１．５ｂ、支持部４ａ、４ｂの長さ寸法ｃは、利用する振動の波長をλとすると、７×１０^-3λ≦ｃ≦１９０×１０^-3λとすることで、振動漏れによる共振特性の劣化を低減している。 （もっと読む）

【課題】 一対の振動腕（３１）の根元（３２１）に段差または溝を生じさせない音叉型の圧電振動片を有する圧電フレーム（５０）を提供する。
【解決手段】 圧電フレーム（５０）は、基部（３９）から第１方向に延びる少なくとも一対の振動腕（３１）を有しこの一対の振動腕（３１）に第１励振電極（３５）及び第２励振電極（３６）を有する音叉型圧電振動片（３０）と、この一対の振動腕（３１）の間から第１方向に延びる第１支持部（２３）と、この第１支持部と接続し音叉型圧電振動片を囲む外枠部（５１）と、第１励振電極（３５）及び第２励振電極（３６）にそれぞれ導通し、外枠部（５１）に形成された第１接続電極（３３）及び第２接続電極（３４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 支持腕（４０）の軸長さ（ＳＬ）を伸ばすことで振動漏れなどの影響を少なくする圧電振動片（２０）を提供する。
【解決手段】 パッケージ（ＰＫＧ１）に実装される圧電振動片（２０）は、圧電材料により形成され、所定の幅で一端側から他端側へ所定方向に伸びる基部（２９）と、基部の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕（２１）と、基部の一端側から他端側の間で幅の方向に延長され且つ振動腕の外側において所定方向に伸びる支持腕（４０）と、実装のために支持腕の先端に形成された接着領域（２６）と、を備え、支持腕の先端は振動腕の先端の位置よりも延びておらず、且つ支持腕の軸長さ（ＳＬ）は振動腕の基部から先端までの長さよりも伸びる。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子の大きさの影響を受けずに製造を容易とする。
【解決手段】 容器体１０内に設けられた搭載パッド１４と圧電振動素子２０の励振電極２２と接続する引回しパターン２３とが接合され、蓋体３０で容器体１０を気密封止した圧電振動子１００であって、圧電振動素子２０の引回しパターン２３が、圧電振動素子２０の端部側で向かい合うように圧電振動素子２０の両主面にのみ形成され、圧電振動素子２０の端部側で向かい合うように形成された引回しパターン２３を電気的に接続する側面金属膜Ｋが圧電振動素子２０の側面に別途設けられて構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ベース基板用ウエハとリッド基板用ウエハとを全面に亘って均一に接合することができ、キャビティ内を確実に封止したうえで、スルーホールを利用して外部電極と圧電振動片との導通を図ることができる圧電振動子を効率良く製造すること。
【解決手段】 ベース基板用ウエハを貫通するスルーホール３５、３６をキャビティＣ用の凹部の外側に開口が開くように形成する工程と、ベース基板用ウエハの上面に、凹部の周囲を囲む接合層３０と、凹部内に収まる一対のマウント層と、接合層と一対のマウント層とを電気的に繋げる一対の引き出し電極層３３、３４と、を同一の導電性材料によりパターニングする工程と、両ウエハを陽極接合した後、スルーホール３６の開口と接合層との間における引き出し電極層３４の一部（Ｓ２領域）に対してレーザ光を照射して引き出し電極層３４を途中で分断する工程と、を備えている圧電振動子１の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】特性検査端子の面積特に高さを大きくして測定用プローブの接触を確実にした表面実装発振器を提供する。
【解決手段】底壁１ａと枠壁１ｂとからなるとともに内壁段部を有して凹状とした積層セラミックからなる容器本体１と、前記容器本体１の内底面に固着されたＩＣチップ２と、前記内壁段部に励振電極から引出電極の延出した外周部が固着された水晶片３と、前記容器本体１の外側面に設けられて上下左右に内周端面を有する窪みからなる水晶振動子用の特性検査端子７（ａｂ）とを有する表面実装用の水晶発振器において、前記容器本体１の底壁１ａは外底面から一層目と二層目との二層構造とし、前記特性検査端子７（ａｂ）は前記底壁１ａの二層目と前記枠壁１ｂとからなる前記容器本体１の外側面に形成された構成とする。 （もっと読む）

【課題】増強された近接周波数阻止特性を有し、所望周波数又は周波数範囲を阻止する為にフィルタ減衰特性を調整する様に設計され得る音響共振子フィルタの提供。
【解決手段】帯域通過フィルタは、入力端子５０５及び出力端子５５５と、第１、第２の音響共振子５１０，５２０と、音響結合層５３０とを含む。第１の音響共振子５１０は、第１、第２の電極５１２，５１４とこれら第１及び第２の電極間の圧電層５１６とを含む。第１の音響共振子の第１の電極は入力端子に接続され、第２の音響共振子５２０は、第１、第２の電極５２２，５２４と、これら第１及び第２の電極間の圧電層５２６とを含む。音響結合は、第１の音響共振子の第２の電極と第２の音響共振子の第１の電極間に与えられ、出力端子は第２の音響共振子の第２の電極に接続される。入力端子と出力端子間にはコンデンサ５５０が延びる構成で、フィルタの周波数応答は少なくとも２つの伝送ゼロを含む。 （もっと読む）

【課題】周波数特性をほとんど劣化させることなく、共振周波数を精緻に設定できる圧電振動装置の共振周波数調整方法と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】圧電振動装置１０１の共振周波数調整方法は、支持状態変更プロセスを行い、支持部２４Ａ，２４Ｂによる振動部２０の支持状態を変更して、即ち、振動部２０ではなく支持部２４Ａ，２４Ｂに対して形状の変更などを加えて振動部２０の共振周波数を調整する。振動部２０は、ＡｌＮ層１４に励振電極１３，１５が配されたものである。支持部２４Ａ，２４Ｂは、振動部２０を基板１１との間にクリアランス４１を設けて支持するものである。これにより、振動部２０の振動に基づく、圧電振動装置１０１の共振周波数を微調整する。 （もっと読む）

【課題】バルク弾性波の基板への漏洩パスを最小限に抑圧することが可能なエネルギー閉じ込め構造が実現できる薄膜圧電バルク波共振器と、それを用いた高周波フィルタおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電薄膜と前記圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備し、第一の金属電極膜は、第二の金属電極膜と対向する電極面に分散して形成され、積層構造に対応する位置の基板上に空隙部を有する薄膜圧電バルク波共振器において、圧電薄膜、第一の金属電極膜および、第二の金属電極膜は、第一の金属電極膜と電気的に接続する配線電極の領域および第二の金属電極膜と電気的に接続する配線電極の領域以外は、絶縁基板と接触せず中空に保持されており、積層構造を支持するために空隙部に支柱を設置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜を用いた圧電振動装置であって、圧電振動部の反りが生じ難い圧電振動装置を提供する。
【解決手段】圧電薄膜４を有する圧電振動部３が基体２の上面から浮かされて配置されており、該圧電振動部３において、圧電薄膜４に積層されている、圧電薄膜以外の材料からなる付加膜８を有し、該付加膜８が、圧電薄膜４に積層されていない部分である非被覆部８ｃを有する、圧電振動装置１。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上でき且つ低コストで電気機械結合係数を向上させることが可能な共振装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１の一表面側に第１の導電性薄膜からなる下部電極３１と圧電層３２と第２の導電性薄膜からなる上部電極３３とを有する共振子３を備えている。共振子３は、圧電層３２が円柱状に形成され、下部電極３１および上部電極３３それぞれが、コイルばね状（円錐コイルばね状）のばね形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】特性を悪化させずに基板の振動領域の厚さを薄くして高周波化に対応させる。
【解決手段】水晶振動片２では、ＡＴカット水晶片からなる基板２０と、基板２０に積層した堤部２１と、基板２０と堤部２１との間に介在させて基板２０と堤部２１との接合補強を行う、軟質の金属材料からなる接合部２２と、が設けられている。堤部２１と接合部２２とが当該水晶振動片２の壁面２３として構成されるとともに、基板２０が当該水晶振動片２の台部として構成され、かつ、壁面２３および台部により当該水晶振動片２の一主面２０１に凹部２７が形成されている。また、凹部２７の内底面を含む基板２０の両主面２０１，２０２に一対の励振電極３６が対向して形成されている。 （もっと読む）

【課題】単体でバンドエリミネーション機能を有するフィルタ素子を提供する。
【解決手段】一対の支持部１５によって梁部１６を介して中空に保持された振動部１６と、所定の間隙を介して振動部１６と対向配置された入力電極１１および出力電極１２とを備える。振動部１６は、単一構造からなり、入力電極１１に交流信号が印加されると、ねじれ振動により生じる共振モードと、たわみ振動により生じる共振モードとにより振動する。ねじれ振動により生じる共振モードは、共振周波数ｆ_１と、共振周波数ｆ_１よりも大きな周波数の反共振周波数ｆ_２とを有し、たわみ振動により生じる共振モードは、共振周波数ｆ_１よりも大きな周波数の共振周波数ｆ_３と、共振周波数ｆ_３よりも小さく、かつ共振周波数ｆ_１よりも大きな周波数の反共振周波数ｆ_４とを有する。 （もっと読む）

【課題】他軸感度を低減した圧電振動片、これを実装した圧電振動子および加速度センサを提供する。
【解決手段】第１の方向に延び、片持ち支持された振動腕１４と、前記振動腕を片持ち支持する基部１２と、前記振動腕１４を前記第１の方向に垂直な第２の方向に屈曲振動させる第１の側面電極膜３６、第２の側面電極膜３８、第１の内面電極膜４０、第２の内面電極膜４２、底面電極膜４４、第１の励振電極膜４６、第２の励振電極膜４８、第３の励振電極膜５０、引出し電極膜５２、接続電極膜５４を有する圧電振動片であって、前記振動腕に、前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向の曲げに対する剛性の調整部を備えることを特徴とする圧電振動片である。前記調整部は、前記振動腕の前記第３の方向を向く面の基部側から前記振動腕１４の自由端方向に沿って設けられた溝２６であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、キュリー温度が高く、かつ優れた圧電特性を備えた圧電体膜の製造方法、および圧電素子を提供することにある。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、Ｂｉ、Ｔｉ、Ｂａ、Ｓｒ、およびＮｄを含有するゾル状前駆体溶液を調製する工程と、前記ゾル状前駆体溶液を焼成して、一般式Ｂｉ_４−ｘＮｄ_ｘＴｉ_３Ｏ_１２−（Ｂａ_１−ｙＳｒ_ｙ）Ｂｉ_４Ｔｉ_４Ｏ_１５（式中のｘは０．１〜１．５の数であり、ｙは０．２〜０．８の数である。）からなる粒子を作製する工程と、前記粒子を含有するペーストを調製する工程と、前記ペーストと前記ゾル状前駆体溶液とを混合して、混合ペーストを調製する工程と、前記混合ペーストを塗布した後、乾燥および焼成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させることが可能な共振装置を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された下部電極３１と、下部電極３１における支持基板１側とは反対側に形成された圧電層３２と、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に形成された上部電極３３とを備える。圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に当該圧電層３２のうち上部電極３３に接する共振領域３２ａの面積を規定する開孔部４ａを有する絶縁膜４が形成され、上部電極３３が圧電層３２の共振領域３２ａ上と絶縁膜４上とに跨って形成され、上部電極３３のうち絶縁膜４上に形成されて共振領域３２ａの周囲領域に重なる周囲電極部分３３ｂに他の部位に比べてばね定数の小さな撓み領域３３ｄが形成されている。 （もっと読む）