【課題】高融点ハンダを用いた場合であっても、圧電振動片とパッケージとの接合性を向上させることができ、信頼性の高い圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動子の製造方法、並びに前記圧電振動子を有する発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】実装領域の表面に、第１クロム層１８ａ及び第１金層１８ｂを順に積層した第１積層体１８を有する圧電振動片であって、マウント電極１５，１６の第１積層体１８上に、第２クロム層３３ａ及び第２金層３３ｂを順に積層した第２積層体３３を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型で安定した周波数特性を有する高性能な水晶振動片及びその製造方法、振動子、発振器、電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の音叉型水晶振動片１は、基部１１０と基部１１０から互いに平行に延出された一対の音叉腕１２１，１２２とを有する振動片本体１０２と、音叉腕１２１，１２２の両主面に形成された励振電極１２３ａ，１２４ａと音叉腕１２１，１２２の両側面に形成された駆動電極１２３ｂ，１２４ｂとを有し、水晶とは異なる組織構造を有する変質部１５１，１５２が、音叉腕１２１，１２２の少なくとも一部に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高周波・広帯域に適した超音波振動子を形成するための有機圧電材料、それを用いた超音波振動子、およびそれを用いた超音波探触子を提供する。
【解決手段】有機圧電材料の表面に電極を形成させて成る超音波振動子に用いられる有機圧電材料において、有機圧電材料が電極の電極金属と共有結合を形成し得る材料を含有し、さらに電極金属と共有結合を形成し得る材料が電極金属と共有結合している。この有機圧電材料により、表面処理のような煩雑な工程を経ずに優れた接着強度が簡易に得られ、電極金属との接着に優れ、操作中の摩擦などでの電極はがれ耐性に優れ、加工を行う際の弱い摩擦でも剥離生成の抑制に優れ、加工性に優れ、圧電性に優れた超音波振動子、およびそれを用いた超音波探触子ができる。 （もっと読む）

【課題】仕上金属層の表面を良好な状態に保つことで、圧電振動片とパッケージとの接合性を向上させることができる圧電振動子の製造方法並びにこの製造方法により製造された圧電振動子、前記圧電振動子を有する発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】圧電振動片２をマウントする工程の前に、水酸化カリウム水溶液からなる第１エッチャントを用いて圧電振動片２の表面を処理する第１エッチング工程と、フェリシアン化カリウム及び水酸化カリウムの水溶液からなる第２エッチャントを用いて圧電振動片２の表面を処理する第２エッチング工程とを有することを特徴とする （もっと読む）

【課題】感温素子を含む温度制御素子および加熱用素子を備えることにより、周囲の温度変化に対する周波数の安定度が高く、小型化が可能な恒温型圧電発振器を提供する。
【解決手段】水晶振動子３０、加熱用素子５０、感温素子６０、発振用素子７０、および温度制御回路素子８０などの回路素子が接合された回路基板４０は、ベース基板１２１に複数立設された金属ピン５ａ〜５ｄに支持されている。金属ピン５ａ〜５ｄにより支持された回路基板４０を備えたベース基板１２１上には、その回路基板４０上に空間を介して被せられるように蓋体が設けられている。本実施形態の蓋体は、回路基板４０が支持されたベース基板１２１上に被せられるように設けられた金属カバー体１２９と、その金属カバー体１２９の外周面を覆うモールド樹脂層９５とからなる。 （もっと読む）

【課題】小型で安定した周波数特性を有する水晶振動片及びその製造方法、振動子、発振器、電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の音叉型水晶振動片１は、基部１１０と基部１１０から互いに平行に延出された一対の音叉腕１２１，１２２とを有する振動片本体１０２と、音叉腕１２１，１２２の両主面に形成された励振電極１２３ａ，１２４ａと、音叉腕１２１，１２２の両側面に形成された駆動電極１２３ｂ，１２４ｂとを有し、音叉腕１２１，１２２に沿って延び、水晶とは異なる組織構造を有する変質部１５１，１５２が少なくとも音叉腕１２１，１２２の長さ方向全体に亘って形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図った上で、振動漏れの発生を抑制することができる圧電振動片並びに圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】圧電振動片４における基部１２の両側面４３，４４に側面のみに開口する凹部４１，４２を形成することを特徴とする （もっと読む）

【課題】封止缶の内周面に発生する皺を抑制して、封止缶の気密性を維持することができる封止缶の製造方法及び圧電振動子、発振器、電子機器、並びに電波時計を提供する。
【解決手段】圧電振動片を内部に気密封止した状態で収納するケースの製造方法であって、ケースに加工すべき板材５０をダイス６１にセットし、パンチ６２によってダイス６１のダイ穴６３内に押し込む絞り工程を複数段有し、各絞り工程では、前段の絞り工程よりもダイ穴６３の内径及びパンチ６２の外径が小さく設定され、各絞り工程では、パンチ６２の側面とダイ穴６３の内周面との間のクリアランスを、当該絞り工程における絞り前の板材５０の板厚よりも狭く設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】励振電極の材料を選択して生産性を高めた水晶振動子を提供する。
【解決手段】下地電極６ａ上に本電極６ｂの設けられた励振電極６を水晶片２の両主面に有し、前記水晶片２の一主面の励振電極６に対する質量負荷効果によって振動周波数を調整した水晶振動子において、前記一主面の励振電極６は下地電極６ａ上にＡuを設け、前記他主面の励振電極６は下地電極６ａ上にＡgを設けた構成とし、例えば前記下地電極の膜厚は同一として、前記他主面の本電極であるＡgの膜厚は前記一主面の本電極であるＡuよりも大きくした構成とする。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の電極部または圧電基板をパッケージへ固定し、圧電振動片の電極部とパッケージのパッド部との電気的接続を図った後に、電気的接続および固定の良否、特に固定の良否について全数を検査すること。
【解決手段】マウント電極部４が水晶基板２の表面（または裏面）に形成されている場合、水晶基板２の裏面（または表面）からマウント電極部４を透かし見る非破壊試験により全数検査を実施するので、マウント電極部４の露出部４２の状態を確認することができる。これにより、抜き取りで破壊試験を実施することによる不良の発生、つまり歩留りの低下を引き起こすことを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】時効処理を行わずに電界誘起歪が大きな圧電／電歪セラミックス及び圧電／電歪素子を提供する。
【解決手段】圧電／電歪セラミックスは、一般式ｘＢＮＴ−ｙＢＫＴ−ｚＢＴ（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）で表され、三元図においてＢＮＴ，ＢＫＴ及びＢＴの含有比ｘ，ｙ，ｚを表す点（ｘ，ｙ，ｚ）が点Ａ，点Ｂ，点Ｃ及び点Ｄを頂点とする四角形ＡＢＣＤの範囲内（境界線上も含む）にあるストイキオメトリから、Ａサイト元素のうちの１種類以上を不足させた組成を有する。ストイキオメトリからＡサイト元素を不足させることにより、ペロブスカイト構造のＡサイトには空孔が生じる。また、Ａサイトの空孔量は２ｍｏｌ％以上６ｍｏｌ％以下となる。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数を改善した、屈曲振動を利用する圧電振動子、および、安定した感度が得られる振動ジャイロ装置の提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ装置１は、圧電基板３と上面電極２と下面電極４とを備え、上面電極２と下面電極４との電位差に応じて主面法線方向に振動する。下面電極４は、電気機械結合係数が下限極値となる値から外した電極厚である。ここで、上面電極２には周波数信号が印加されるものであり、下面電極４は基準電位に接続されるものである。この振動ジャイロ装置の電気機械結合係数は下面電極４の電極厚を変更することで変化して電気機械結合係数の下限極値を示し、電気機械結合係数が下限極値となる値から下面駆動電極の電極厚が外れると、電気機械結合係数がクリップする値まで急峻に立ち上がる特性を有するものである。 （もっと読む）

【課題】支持基板に空洞を形成する際のエッチャントによる圧電層の浸食を防止することが可能なＢＡＷ共振装置を提供する。
【解決手段】単結晶ＭｇＯ基板からなる支持基板１の一表面側に、Ｐｔ膜からなる下部電極３１とＰｔ膜からなる上部電極３３との間にＰＺＴ薄膜からなる圧電層３２を有する共振子３が形成され、支持基板１の上記一表面側に形成されて支持基板１に支持され平面視において共振子３を全周に亘って取り囲んで共振子３を保持したＳｉＯ２膜からなる保持層４を備えるとともに、支持基板１に、共振子３の下部電極３１における支持基板１側の表面３１ａを露出させる空洞１ａが形成されている。下部電極３１における上記表面３１ａの周部と保持層４とに跨って形成され支持基板１に空洞１ａを形成する際のエッチャントによる圧電層３２の浸食を防止するＳｉＯ_２膜からなる浸食防止膜２１を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧電層の結晶性を向上させることができて機械的品質係数を向上でき、且つ、小型化および堅牢化が可能なＢＡＷ共振装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】下部電極３１と上部電極３３との間に圧電層３２を有する共振子３が支持基板１の一表面側に形成され、支持基板１に、共振子３の下部電極３１における支持基板１側の表面を露出させる空洞１ａが形成されている。圧電層３２の圧電材料がＰＺＴ系材料であり、圧電層３２は、平面視における全域が下部電極３１上に形成されている。支持基板１は、互いに厚さが異なる上層基板１１と下層基板１２との積層構造を有し、上層基板１１が、単結晶ＭｇＯ基板からなるとともに、下層基板１２に比べて薄く、且つ、空洞１ａが、エッチング速度の結晶方位依存性を利用した湿式の異方性エッチングにより上層基板１１の厚み方向に貫設された断面台形状の開口部１１ａにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電層の結晶性を向上させることができ且つ製造歩留まりを向上させることができるＢＡＷ共振装置の製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板（単結晶ＭｇＯ基板）１の一表面側の全面に下部電極３１、圧電層（ＰＺＴ薄膜）３２を形成した後にそれぞれをパターニングし、支持基板１の上記一表面側に圧電層３２の一部を露出させる開孔部４ａおよびエッチングホール５を有する絶縁層４を形成してから、上部電極３３を形成する。支持基板１における空洞形成予定領域に、空洞２を形成する際に用いるエッチング液によりエッチングされやすい変質部１ａを形成する。その後、支持基板１の上記一表面側に上部電極３３および絶縁層４を保護するレジスト層６を形成し、レジスト層６の開孔部７および各エッチングホール５を通してエッチング液を導入し支持基板１における空洞形成予定領域をエッチングすることにより空洞２を形成する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制でき、水晶振動子を良好に製造できる水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、水晶基板の表面に、第１方向に長い溝を第１方向と交差する第２方向に複数形成する工程と、複数の溝のうち第１の溝３００Ａを覆うように保護膜４００を形成する工程と、保護膜４００が形成された状態で、第１の溝３００Ａに隣り合う第２の溝３００Ｂの内側の水晶基板の一部を除去して、第１の溝３００Ａを有する第１部分と間隙を介して隣接する第２部分を形成する工程と、保護膜４００を除去する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】スプリアスを抑制し、Ｑ値の高い音響波共振子の提供。
【解決手段】上面と下面とを有する圧電体層１１と、前記圧電体層１１の上面側に積層される上部電極１３と、前記圧電体層１１を挟んで前記上部電極１３と対向するように前記圧電体層１１の下面側に積層される下部電極１２と、を含む共振部１８と、前記上部電極１３の上面および側面を覆うとともに、断面視したときに、前記上部電極１３の側面領域において、前記側面に対して傾斜する傾斜部を有する保護層２０と、を有する構成。 （もっと読む）

【課題】水晶板の実装の方向、姿勢を精度良く行い、接合部高さを低く、接合部面積を小さくする事により、小型薄型で高品質な水晶振動デバイスを提供すること。
【解決手段】ベース部材２０の端子電極２１と水晶振動板１０の引き出し電極１１とを金属接合膜３０とで接合することにより、水晶振動板１０とベース部材２０とを接合し、固定、電気接続する構造とした。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数を向上させること。
【解決手段】本発明は、基板１０と、基板１０上に形成された低比重下部電極１２ａと、低比重下部電極１２ａ上に形成され低比重下部電極１２ａより比重の大きい高比重下部電極１２ｂと、を備えた下部電極１２と、高比重下部電極１２ｂ上に形成された圧電膜１４と、圧電膜１４上に形成され高比重下部電極１２ｂより厚い高比重上部電極１６ｂと、高比重上部電極１６ｂ上に形成され高比重上部電極１６ｂより比重の小さい低比重上部電極１６ａと、を備えた上部電極１６と、を具備し、下部電極１２と上部電極１６との質量は等しい共振子である。 （もっと読む）

【課題】歩留まりが低下せず、感度を向上させることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】開口１９を囲うものとして構成された脚体部２２によって支えられたベース膜１３Ａと、ベース膜１３Ａの表面に形成された下部電極１６と、下部電極１６上に形成された、段差のない圧電体膜１７と、圧電体膜１７上に形成された上部電極１８と、を有するメンブレン２１を備え、
ベース膜１３Ａと下部電極１６とにより、圧電体膜１７と上部電極１８とを支持するための支持膜が構成されており、
この支持膜には、一端が開口１９に連通し、他端が圧電体膜１７の表面を露呈させる、トレンチ１４が形成されている。 （もっと読む）