【課題】優れた特性を有し、且つ製造が容易で歩留りの高い、安価で小型化された圧電薄膜共振子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１の第１の面上に形成された圧電薄膜１２と、該圧電薄膜１４を挟むように形成された下部電極１３及び上部電極１４とを有する圧電薄膜共振子１Ａであって、前記圧電薄膜１２が窒化アルミニウムで形成され、前記上部電極１４及び下部電極１３はそれぞれルテニウム又はルテニウム合金の層を含み、前記下部電極１３には、その下に形成された空隙１５に全体が露出しているとともに、前記下部電極より柔らかい材料による薄膜層１６が形成されていることを特徴とする圧電薄膜共振子。 （もっと読む）

【課題】ポジレジストをコンタクト露光した場合であっても、フォトマスクへのスティッキングを抑制し、加工対象物を所望の外形パターンに形成することができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片を提供する。
【解決手段】レジストパターン形成工程は、遮光膜パターン３５が形成されたフォトマスク３０によってフォトレジスト膜２５をコンタクト露光する露光工程と、遮光膜パターン３５の形成領域以外の領域のフォトレジスト膜２５を除去して、レジストパターン２６を形成する現像工程とを有し、露光工程では、フォトレジスト膜２５とフォトマスク３０との間に、フォトレジスト膜２５より展性の高い保護膜４０を挟んでコンタクト露光を行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の向上が可能な振動デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動片１０は、基部１１と振動腕１２とを備え、基部１１は切り込み部１４を有し、振動腕１２は、腕部１５と錘部１６と溝部１９とを有し、水晶振動片１０は、共振周波数ｆが熱緩和周波数ｆ₀より大きく、切り込み部１４の外縁１４ａと一対の振動腕１２間に形成された股部１２ａの外縁１２ｂとの間の最接近距離を基部屈曲幅Ｗｂとし、振動腕１２の長手方向と直交する面における振動腕１２の断面形状を、熱弾性損失が等価となる同一厚さの矩形形状に置換したときの振動腕１２’の腕幅を実効腕幅Ｗｅとし、切り込み部１４の外縁１４ａと一対の振動腕１２間に形成された股部１２ａの外縁１２ｂとの間の温度差をｄΘ_bとし、振動腕１２の根元部における腕幅Ｗ方向の両端（一端１２ｃ、他端１２ｄ）間の温度差をｄΘとしたときに、Ｗｂ＞Ｗｅ×ｄΘ_b／ｄΘ（但し、ｄΘ_b＜ｄΘ）である。 （もっと読む）

【課題】レジスト膜のオゾン酸化を抑制して、加工対象物を所望の外形パターンにパターニングすることができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片を提供する。
【解決手段】金属膜２０上にフォトレジスト膜２５を塗布するレジスト塗布工程と、フォトレジスト膜２５をプリベークするプリベーク工程と、フォトリソグラフィ技術によってフォトレジスト膜２５をパターニングして、レジストパターン２６を形成するレジストパターン形成工程と、レジストパターン２６の形成領域以外の領域の金属膜２０を除去して、外形パターンを形成する外形パターン形成工程とを有する圧電振動片の製造方法であって、フォトレジスト膜２５は、ネガレジストからなり、プリベーク工程に先立って、フォトレジスト膜２５上に大気遮断膜４０を形成する遮断膜形成工程を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＡＲタイプのバルク波音響共振器を製作する方法の提供。
【解決手段】局部的に、圧電材料１０の部分的に懸架された薄層を含むバルク波音響共振器（ＦＢＡＲ）を製作するための方法であって、圧電材料１０の薄層の表面において少なくとも１つの、第１のいわゆる下部電極１２を形成するステップと、圧電材料１０の前記薄層と、第１の集合を定義する前記第１の電極との表面において、いわゆる犠牲層を堆積するステップと、前記第１の集合と第２の基板２０とを組み立てるステップと、前記第１の電極を含む面と反対の、圧電材料１０の前記薄層の面において、上部電極２１と称される少なくとも１つの第２の電極を形成するステップと、圧電材料１０の前記薄層及び前記第１の電極を露出させる為、及びバルク波の共振器を定義する為に、犠牲層を取り除くステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ガラスフリット残渣を簡単に除去することができ、かつ歩留まりを向上することができるパッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】ベース基板用ウエハ４０の上面Ｕ上に乾燥して残渣しているガラスフリット残渣６ｂを削り取る残渣除去工程Ｓ３２Ｇと、ガラスフリット残渣６ｂを除去した後、貫通孔内に充填されたガラスフリット６ａを焼成して硬化させる焼成工程Ｓ３２Ｈと、を有する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空封止を確実に行うことができるパッケージおよびこのパッケージを用いた圧電振動子を提供する。
【解決手段】電子部品２が接続されるリード端子４５，４５と、リード端子４５，４５の中間部に固着されたプラグ本体４と、を備えた気密端子５と、電子部品２を収容する有底筒状のケース３と、を備え、ケース３の開口部がプラグ本体４の外周面４３に圧入固定されたパッケージ１であって、ケース３の軸Ｃ方向に伸びる凹部３ａまたは凸部３ｂが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単純な工程で圧電デバイスの電極間の絶縁不良を除去することを可能とする圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の圧電デバイスの製造方法は、水晶ウエハ上に所定の形状の水晶振動子を複数形成する工程（ＳＴ１）と、水晶振動片上に複数の電極を形成する電極形成工程（ＳＴ２）と、各電極が形成された水晶振動片の漏れ量を測定する漏れ量測定工程（ＳＴ３）と、漏れ量測定工程の測定結果に基づいて、電極を所定形状に加工する電極加工工程（ＳＴ４）と、電極加工工程において加工された前記電極をマスクとして水晶振動片をエッチング加工するエッチング工程（ＳＴ５）と、各電極の間に所定の電圧を印加し、電流による発熱により絶縁不良箇所を焼き切る電圧印加工程（ＳＴ６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥が少なく信頼性の高い圧電デバイスを製造できる圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】第１導電層２０と、第２導電層４０と、第１導電層２０と第２導電層４０とに挟まれた圧電層３０とを含む圧電素子１００を有する圧電デバイス１の製造方法であって、第１導電層２０及び第２導電層４０の少なくとも一方の導電層を形成する導電層形成工程と、導電層形成工程で形成された導電層の形状の異常を検出する導電層検出工程と、導電層検出工程で異常が検出された場合に、異常を修復する導電層修復工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】接合応力が強い導電性バンプ７３を用いた場合であっても、接合応力が振動領域５２に伝わるのを抑制する。
【解決手段】水晶振動片２では、主面２２，２３が略矩形に形成された基板２１に、一対の励振電極６１，６２が形成されて振動領域５２が構成された振動部５１と、外部と接合する一対の端子電極６３，６４が形成された接合部５３とが一体的に設けられている。一対の端子電極６３，６４にはそれぞれ導電性バンプ７３が形成され、一対の端子電極６３，６４は、一対の励振電極６１，６２にそれぞれ電気的に接続されている。また、水晶振動片２には、一対の端子電極６３，６４を導電性バンプ７３を介してベース３の電極パッド３６，３７に接合する際に基板２１に生じる接合応力が振動領域５２に伝わるのを遮断する切り欠き部８１が、振動部５１と接合部５３との間に設けられている。 （もっと読む）

【課題】電極に於いてエネルギーの損失を抑えた水晶振動素子を提供する。また、外部の温度が同じであっても、加熱されてその温度になった場合と冷却されてその温度になった場合のように、外部の温度変化の仕方によって周波数特性が異なることを防いだ水晶振動素子を提供する。
【解決手段】
水晶振動素子は、矩形形状の平板に設けられた水晶片と、前記水晶片の両主面の中央部に設けられた下地層と前記下地層に設けられた金属膜とを備えた電極とから構成されている。また、水晶振動素子は、金属膜に銅が用いられている。 （もっと読む）

【課題】バンプ高さ寸法やバンプ形状のバラツキを抑える。
【解決手段】水晶振動片２では、主面２２，２３が略矩形に形成された基板２１に、一対の励振電極６１，６２が形成されて振動領域５２が構成された振動部５１と、ベース３の電極パッド３６，３７と接合する一対の端子電極６３，６４が形成された接合部５３とが一体的に設けられている。一対の端子電極６３，６４にはそれぞれ導電性バンプ７３７３が形成され、一対の端子電極６３，６４は、一対の励振電極６１，６２にそれぞれ電気的に接続されている。一対の端子電極６３，６４が形成された位置の基板２１が、凸状のポスト部７１に成形されている。 （もっと読む）

【課題】水晶振動素子の外部の温度変化の仕方によって、周波数特性が大きく異なることを防ぎ、電極に備えられた下地層及び金属膜の電気抵抗の違いによって水晶振動素子のインピーダンスが悪化することを防ぐ、水晶振動素子を提供する。
【解決手段】矩形形状の平板に設けられた水晶片と、この水晶片の両主面の中央部に設けられた下地層とこの下地層に設けられた金属膜とを備えた電極とから構成され、前記下地層がアルミニウムまたはアルミニウム合金からなり、前記金属膜が金または銀からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、金属の拡散による悪い影響を抑制し、安定した周波数を持つ圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス（１００）は、励振電極を有する振動片と振動片の周囲に形成され且つ励振電極から伸びた引出電極が形成された外枠部とを有する圧電フレーム（２０）と、封止材（７０）が挿入される貫通孔（４１，４３）と引出電極と接続され貫通孔に形成されたスルーホール配線とを有するベース（４０）と、を備える。そして引出電極（３１Ｂ、３２Ｂ）は、圧電フレームに形成される下地層と該下地層とは異なる材料で下地層の上面に形成される第１金属層とを含み、第１金属層はスルーホール配線に接続される位置から所定の位置まで封止材（７０）と同じ材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】生産効率を向上することができるパッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】ベース基板とリッド基板との間に形成されたキャビティ内に封止された被収納物と、ベース基板を貫通する貫通孔内に配置され、被収納物と外部とを電気的に接続する貫通電極と、を備えたパッケージの製造方法において、ベース基板に、貫通電極用の貫通孔３０ｂ，３１ｂを形成する貫通孔形成工程と、導電性の鋲体９の芯材部７をベース基板の貫通孔内に挿入する貫通電極配置工程と、ベース基板の他方の面に、ペースト状のガラスフリット６ａを塗布し、ガラスフリットを貫通孔内に充填するガラスフリット充填工程と、ガラスフリットを焼成して硬化させる焼成工程と、を備え、ガラスフリット充填工程において、貫通孔に対して拡径されたガラスフリット充填部４１が形成され、ガラスフリット充填部にもガラスフリットを充填する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の周波数の変化を抑制した上でゲッタリングすること。
【解決手段】互いに重ね合わせられて接合されたベース基板２およびリッド基板３と、これらの両基板２、３の間に形成されたキャビティＣと、を有するパッケージ９と、同一のキャビティＣ内に収容された圧電振動片４およびゲッター材２７と、を備え、キャビティＣ内に、圧電振動片４とゲッター材２７との間を遮蔽する遮蔽壁２１が設けられ、遮蔽壁２１は、ベース基板２およびリッド基板３の両方に接続されている圧電振動子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】抵抗値が大きい接合材３５を採用する場合でも、接合材３５とベース基板用ウエハ４０との間を確実に陽極接合することが可能な、パッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁体からなるリッド基板用ウエハ５０の内面に予め固着された接合材３５と、絶縁体からなるベース基板用ウエハ４０の内面とを陽極接合することにより、パッケージを製造する方法であって、リッド基板用ウエハ５０の外面に陽極となる接合補助材７２を配置し、ベース基板用ウエハ４０の外面に陰極７１を配置して電圧を印加する陽極接合工程を有し、接合補助材７２は、前記陽極接合工程において前記接合補助材と前記第１基板との間に陽極接合反応を発生させる材料で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内の真空度の向上を図ることができるパッケージ及びパッケージの製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器、並びに電波時計を提供する。
【解決手段】キャビティＣ内には、加熱されることで活性化して、活性化するための活性化温度が異なる複数種類のゲッター材２０，２１が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】質量付加膜の材料の選択の幅が広がる、または、共振周波数を調整できる範囲が広がること。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に設けられた圧電薄膜１４と、前記圧電薄膜１４の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極１２および上部電極１６と、前記圧電薄膜１４を挟み前記下部電極１２および上部電極１６が対向する共振領域５０と、前記圧電薄膜１４と上部電極１６との間の前記共振領域５０に設けられ、前記共振領域５０とは異なる形状である第１付加膜２８と、を備える圧電薄膜共振器を具備する。 （もっと読む）

【課題】フィルタの損失を抑えた分波器を提供する。
【解決手段】分波器は、共通端子に接続される、通過帯域の異なる２以上のフィルタＦ１，Ｆ２を備え、フィルタＦ１、Ｆ２の少なくとも１つは、フィルタの入力端子および出力端子を繋ぐ線路に直列に接続された複数の直列共振器Ｓ１〜Ｓｎと、前記線路に並列に接続された並列共振器Ｐ１〜Ｐｍを含み、直列共振器の少なくとも１つには、インダクタンスＬ１が並列接続されており、インダクタンスＬ１が並列接続された直列共振器Ｓ１は、直列に接続された複数の共振器Ｓ１１〜Ｓ１３に分轄されている。 （もっと読む）