【課題】音叉型の圧電振動子用素子を筐体内に設けた圧電振動子において、励振電極に調整膜の削り滓が飛散して付着することによる不良の発生を抑えることができる圧電振動子を提供すること。
【解決手段】音叉型の水晶片１１と、励振電極６ａ、６ｂ、６ｃと、周波数調整用の調整膜８と、を備えた水晶振動子用素子１０を筐体２０内に装着して構成される水晶振動子の製造方法において、筐体２０の内部における励振電極６ａ、６ｂ、６ｃが位置する雰囲気と調整膜８が位置する雰囲気との間に、調整膜８の削り滓が飛散することを抑止するための壁面２９を形成し、水晶振動子用素子１０の周波数の調整を行うためにレーザー光により調整膜８を削り取るときに、壁面２９によって飛散した削り滓が励振電極６ａ、６ｂ、６ｃに付着してショートすることを防止し、不良の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】周波数の微調整が可能なメサ型水晶片を用いた水晶デバイスを提供する。
【解決手段】肉厚部８と肉薄部９を有し、肉厚部８の両主面に励振電極１０が形成され、励振電極１０と電気的に接続した引出電極１１が端部に形成された水晶片３ｄと、水晶片３ｄを収容する凹部を有する容器本体と、容器本体の開口端面に接合して水晶片３ｄを密閉封入するカバーと、を有する水晶デバイスにおいて、励振電極１０と電気的に分離して独立した周波数調整用金属膜１３が水晶片３ｄの肉薄部９に形成された構成とする。 （もっと読む）

【課題】ゲッタリング工程時の接合膜の飛散を抑制し、良好な電気的特性が得られる圧電振動子の製造方法と、良好な電気的特性が得られる圧電振動子を搭載した発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】ベース基板２の外側からベース基板２を貫通して、ゲッター材３４に第１レーザＬ１を照射し、ゲッター材３４を活性化させてキャビティＣ内に存在する気体を吸着するゲッタリング工程Ｓ８０と、ベース基板２の外側からベース基板２を貫通して、圧電振動片４の振動腕部１０，１１の先端に形成された重り金属膜２１に第２レーザＬ２を照射し、圧電振動片４の周波数を調整する周波数調整工程Ｓ９０と、を有しており、ゲッタリング工程Ｓ８０における第１レーザＬ１の強度は、周波数調整工程Ｓ９０における第２レーザＬ２の強度よりも弱いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型化を実現しつつ、品質を高め、生産性を向上させることができる表面実装水晶振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 矩形のセラミックベース１の角部に形成された貫通孔９の壁面にスルー端子５ｘが形成され、セラミックベース１の表面に水晶片２を保持する水晶保持端子４の引出端子４ａが対角のスルー端子５ｘに接続すると共に、セラミックベース１の裏面ではスルー端子５ｘに接続する実装端子５ａ，５ｂが形成され、更に金属カバーのセラミックベース１上に溶融樹脂８を介して接合する開口端面が傾斜面を備えたフランジ３ａとした表面実装水晶振動子である。 （もっと読む）

【課題】優れた特性を有し、且つ製造が容易で歩留りの高い、安価で小型化された圧電薄膜共振子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１の第１の面上に形成された圧電薄膜１２と、該圧電薄膜１４を挟むように形成された下部電極１３及び上部電極１４とを有する圧電薄膜共振子１Ａであって、前記圧電薄膜１２が窒化アルミニウムで形成され、前記上部電極１４及び下部電極１３はそれぞれルテニウム又はルテニウム合金の層を含み、前記下部電極１３には、その下に形成された空隙１５に全体が露出しているとともに、前記下部電極より柔らかい材料による薄膜層１６が形成されていることを特徴とする圧電薄膜共振子。 （もっと読む）

【課題】ポジレジストをコンタクト露光した場合であっても、フォトマスクへのスティッキングを抑制し、加工対象物を所望の外形パターンに形成することができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片を提供する。
【解決手段】レジストパターン形成工程は、遮光膜パターン３５が形成されたフォトマスク３０によってフォトレジスト膜２５をコンタクト露光する露光工程と、遮光膜パターン３５の形成領域以外の領域のフォトレジスト膜２５を除去して、レジストパターン２６を形成する現像工程とを有し、露光工程では、フォトレジスト膜２５とフォトマスク３０との間に、フォトレジスト膜２５より展性の高い保護膜４０を挟んでコンタクト露光を行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レジスト膜のオゾン酸化を抑制して、加工対象物を所望の外形パターンにパターニングすることができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片を提供する。
【解決手段】金属膜２０上にフォトレジスト膜２５を塗布するレジスト塗布工程と、フォトレジスト膜２５をプリベークするプリベーク工程と、フォトリソグラフィ技術によってフォトレジスト膜２５をパターニングして、レジストパターン２６を形成するレジストパターン形成工程と、レジストパターン２６の形成領域以外の領域の金属膜２０を除去して、外形パターンを形成する外形パターン形成工程とを有する圧電振動片の製造方法であって、フォトレジスト膜２５は、ネガレジストからなり、プリベーク工程に先立って、フォトレジスト膜２５上に大気遮断膜４０を形成する遮断膜形成工程を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】不良品を正確に選別して、商品の信頼性を向上させることができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片、並びに圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】レジストパターンの形成工程では、フォトマスク３０をフォトレジスト膜に密着させた状態でフォトレジスト膜に対してコンタクト露光を行うことで、レジストパターンを形成し、レジストパターンの形成工程の前段で、フォトマスク３０における外形パターンに相当する外形相当領域３３に欠陥が発見された場合に、遮光膜パターン３５を一部除去して、傷Ｋが存在する外形相当領域３３の形状を変更するフォトマスク加工工程を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空封止を確実に行うことができるパッケージおよびこのパッケージを用いた圧電振動子を提供する。
【解決手段】電子部品２が接続されるリード端子４５，４５と、リード端子４５，４５の中間部に固着されたプラグ本体４と、を備えた気密端子５と、電子部品２を収容する有底筒状のケース３と、を備え、ケース３の開口部がプラグ本体４の外周面４３に圧入固定されたパッケージ１であって、ケース３の軸Ｃ方向に伸びる凹部３ａまたは凸部３ｂが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単純な工程で圧電デバイスの電極間の絶縁不良を除去することを可能とする圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の圧電デバイスの製造方法は、水晶ウエハ上に所定の形状の水晶振動子を複数形成する工程（ＳＴ１）と、水晶振動片上に複数の電極を形成する電極形成工程（ＳＴ２）と、各電極が形成された水晶振動片の漏れ量を測定する漏れ量測定工程（ＳＴ３）と、漏れ量測定工程の測定結果に基づいて、電極を所定形状に加工する電極加工工程（ＳＴ４）と、電極加工工程において加工された前記電極をマスクとして水晶振動片をエッチング加工するエッチング工程（ＳＴ５）と、各電極の間に所定の電圧を印加し、電流による発熱により絶縁不良箇所を焼き切る電圧印加工程（ＳＴ６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の共振周波数を、高くして狙い周波数に合せ込む周波数調整方法、および低くして狙い周波数に合せ込む周波数調整方法の二種類の周波数調整方法を備え、１つのチャンバー内で切り替えることにより、効率のよい周波数調整を実現する周波数調整装置。
【解決手段】周波数調整装置１０の一つのチャンバー１内で、切替機構４によりイオンビームガン２およびイオンビームの向きを切り替えることにより、共振周波数ｆが狙い周波数ｆ０に対して高い場合または低い場合いずれであっても、一つのチャンバー１内において、狙い周波数ｆ０に合わせこむことが可能となる周波数調整装置１０を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した構成を有する屈曲振動片およびこの屈曲振動片を製造する方法を提供する。
【解決手段】水晶振動片１は、基部２と、基部２から延長して形成され、屈曲振動するそれぞれの方向へ向いて配置された第１面６および第２面７を有する３本の振動腕３と、振動腕３の第１面６および第２面７に形成され相互に導電接続されている下部電極１１，１２と、下部電極１１，１２を覆って形成された圧電膜１４と、圧電膜１４に重ねて形成された上部電極１０，１３と、を備え、第１面６（６ａ，６ｂ，６ｃ）に形成された圧電膜１４（１４ａ１，１４ｂ１，１４ｃ１）と第２面７（７ａ，７ｂ，７ｃ）に形成された圧電膜１４（１４ａ２，１４ｂ２，１４ｃ２）とは、形成されている振動腕３に対して互いに反対の分極方向を有している。 （もっと読む）

【課題】レーザー照射によって付加金属膜から蒸散する金属が効率よく振動腕に蒸着し、特に励振電極の電気的短絡を抑止する音叉型振動子の提供。
【解決手段】凹部を有する容器本体と、容器本体の凹部に配設され、音叉基部５から伸びた複数の振動腕６を有する音叉状水晶片３と、容器本体の開口端面に接合して音叉状水晶片３を密閉封入し、透光性を有する蓋体４とを備え、蓋体４の音叉状水晶片３と対向する一主面及び又は容器本体の内底面における振動腕６に対向する領域に付加金属膜１１が形成された表面実装型の水晶振動子において、付加金属膜１１は蓋体４の一主面及び又は容器本体の内底面に設けられた金属膜用凹部（金属膜用枠部１６の内周部）内に形成された構成とする。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下が抑えられた小型の屈曲振動片、および、それを用いた発振器を提供
する。
【解決手段】基部５２と、この基部５２の一端側から延出する一対の振動腕５３，５４と
からなる音叉型水晶振動片５０において、各振動腕５３，５４の基部５２との付け根近傍
を含む領域には励振電極３６Ａ，３７Ａが形成されている。これにより、図中矢印Ｇで示
す方向に振動腕５３，５４が屈曲振動したときに圧縮応力または伸張応力が作用する第１
の領域１１０，１１２と第２の領域１１１，１１３とが熱的に接続されている。ここで、
各振動腕５３，５４ごとの熱伝導路の数をｍ、熱伝導路の熱抵抗率をρ_th、振動腕５３，
５４（水晶）の熱抵抗率をρ_V、振動腕５３，５４の振動方向と直交する方向の厚みをｔ_v
、熱伝導路の振動腕５３，５４の振動方向と直交する方向の厚みをｔ_thとしたときに、ｔ
_th≧（１／ｍ）×ｔ_v×（ρ_th／ρ_v）の関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】基板等に実装した際に、低背化を図りつつ、接続部の視認を容易にすることができるとともに、信頼性の高い接続が可能な圧電デバイス、かかる圧電デバイスを備える電子機器、および前記圧電デバイスを製造する圧電デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電発振器１は、実装用基板４と、実装用基板４上に載置され、圧電振動片２を収納するパッケージ３と、実装用基板４とパッケージ３との間に設けられ、圧電振動片２を駆動する電子部品６とを有している。また、実装用基板４の一部は上方に折り曲げられており、この折り曲げ部４０１の下面に実装端子４３が設けられている。このような圧電発振器１を回路基板８に実装する場合、回路基板８と圧電発振器１との接続を半田付けすると、折り曲げ部４０１の下方に生じた隙間９に半田溜まり（接続部９１）が形成され、これにより圧電発振器１が回路基板８に固定される。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下が抑えられた小型の屈曲振動片、および、それを用いた発振器を提供
する。
【解決手段】音叉型水晶振動片５０は、基部５２と、この基部５２の一端側から延出する
一対の振動腕５３，５４と、からなる音叉型の外形を有し、各振動腕５３，５４の一方の
主面側において、各振動腕５３，５４の基部５２との付け根近傍を含む領域には、各振動
腕５３，５４それぞれの長手方向に沿って設けられた一本の直線状の有底の溝５６ａ，５
７ａと、各溝５６ａ，５７ａに埋設された金などの熱伝導率の高い埋め込み部材５６ｂ，
５７ｂとからなる熱伝導路５６，５７が形成されている。同様に、各振動腕５３，５４の
他方の主面側において、一方の主面側の溝５６ａ，５７ａと対向する位置に開口部を有し
て設けられた有底の溝６６ａ，６７ａと、各溝６６ａ，６７ａに埋設された金からなる埋
め込み部材６６ｂ，６７ｂとからなる熱伝導路６６，６７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下が抑えられた小型の屈曲振動片、および、それを用いた発振器を提供
する。
【解決手段】音叉型水晶振動片５０は、基部５２と、この基部５２の一端側から延出する
一対の振動腕５３，５４とからなる。各振動腕５３，５４の基部５２との付け根近傍を含
む領域には、各振動腕５３，５４の振動方向（矢印Ｇ）と直交する両側面に貫通する貫通
孔５６ａ，５７ａと、その貫通孔５６ａ，５７ａに埋設された埋め込み部材５６ｂ，５７
ｂとからなる熱伝導路５６，５７が形成されている。ここで、各振動腕５３，５４ごとの
熱伝導路の数をｍ、熱伝導路の熱抵抗率をρ_th、振動腕５３，５４（水晶）の熱抵抗率を
ρ_V、振動腕５３，５４の振動方向と直交する方向の厚みをｔ_v、熱伝導路の振動腕５３，
５４の振動方向と直交する方向の厚みをｔ_thとしたときに、ｔ_th≧（１／ｍ）×ｔ_v×（
ρ_th／ρ_v）の関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】高融点ハンダを用いた場合であっても、圧電振動片とパッケージとの接合性を向上させることができ、信頼性の高い圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動子の製造方法、並びに前記圧電振動子を有する発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】実装領域の表面に、第１クロム層１８ａ及び第１金層１８ｂを順に積層した第１積層体１８を有する圧電振動片であって、マウント電極１５，１６の第１積層体１８上に、第２クロム層３３ａ及び第２金層３３ｂを順に積層した第２積層体３３を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加熱後の冷却時や実装後のベース基板の変形時において大きな応力が発生しにくく、かつキャビティの気密を保持して圧電振動片と外部電極とを確実に導通できる貫通電極を有する圧電振動子を提供する。
【解決手段】互いに接合されたベース基板２とリッド基板３との間に形成されたキャビティＣ内に圧電振動片４が封止された圧電振動子１は、ベース基板２を厚さ方向に貫通するスルーホール３０，３１に設けられた貫通電極３２，３３を備え、貫通電極３２，３３は、スルーホール内に充填されて焼成されるガラスフリットと、金属として鉄及びニッケルのみを含む材料で形成されてガラスフリットとともにスルーホール内に配置され、キャビティ外部と圧電振動片とを導通させる芯材部７とを有し、ベース基板２、ガラスフリット、及び芯材部７の熱膨張係数の値が、ベース基板≧ガラスフリット＞芯材部となる様に設定されている。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片を小型化した場合であっても、振動腕の先端部の周波数調整用の肉薄部を薄くすることにより、周波数調整用の肉薄部の金属膜のトリミングによって周波数が変化する量（周波数可変量）を大きくする。
【解決手段】 音叉型圧電振動片（２０）は、圧電材からなる基部（２３）と、この基部から第一厚さで平行に伸びる一対の振動腕（２１）と、振動腕に形成された励振電極膜（３３，３４）と、第一厚さよりも薄い第二厚さで振動腕（２１）の先端に形成された一対の周波数調整用の肉薄部（２８）と、周波数調整用の肉薄部の少なくとも片面に形成された金属膜（１８）と、を備える。 （もっと読む）