【課題】微細寸法の振動電極を有する圧電共振子であっても、周波数を高精度に調整でき、かつ面倒な位置合わせ作業を必要としない圧電共振子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１の表裏面に、振動電極を含む領域Ｄ１に振動電極より大きな第１電極２，３を形成し、第１電極２，３を形成した共振子Ａの共振周波数ｆｒ₁を測定する。測定した共振周波数を基にして周波数調整に必要な金属薄膜の厚みを決定し、決定した厚みの金属薄膜よりなる第２電極５，６を、圧電基板の少なくとも振動電極を含む領域Ｄ２に形成する。第１電極および第２電極のうち不要な部分を除去することにより、振動電極７，８をパターン形成することで、面倒な位置合わせを行うことなく、精度のよい周波数調整が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 金属薄膜の厚みを高精度にモニターすることができ、特に蒸着装置の自動制御に適した特性を有する薄膜厚モニター用の水晶振動子を提供すること。
【解決手段】薄膜厚モニター用の水晶振動子の表面に被加工物と同一条件で金属薄膜を堆積させて水晶振動子の質量付加効果による共振周波数の低下から金属薄膜の厚みをモニターするものにおいて、プラノ・コンベックス加工を行ったＡＴカットの水晶片の両側板面に励振電極を形成しこの励振電極に対して金属薄膜を堆積させて厚み滑り振動の共振周波数の変化から薄膜厚をモニターする。 （もっと読む）

【課題】従来技術では指定された値に正確に合った値を有する負荷容量素子はなかなか手元にないばかりか入手が困難であるため、所望の負荷容量値と接続する負荷容量素子の容量値との間に誤差が生じてしまい、圧電振動子の精度の高い周波数調整を行うことが困難であった。
【解決手段】圧電振動板において、圧電振動領域部の表裏主面上に形成された励振用電極から引き出し補強部表裏主面に形成された引出電極のうち少なくとも一方の途中に、所望の容量値となるように、補強部の一部の容量領域の厚みが加工されており且つ厚み加工された容量領域の表裏主面に容量用電極が形成されており、一方の容量用電極が励振用電極に、他方の容量用電極が容器接続用電極に電気的に接続された形態の静電容量が形成されている圧電振動板及びそれを使用した圧電振動子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 小型振動子を封止後レーザを用いて直接電極を削る方法は、微調整が困難であり、その削った電極を排出する場所が無くなることから、ゴミ、ホコリと言ったコンタミネーションの問題を発生することが懸念され、ひいてはこれらのコンタミネーションが振動子の表面に付着し、振動子の所望の特性を悪化させる要因が考えられる。
【解決手段】 目的を実現するために本発明は、第１の基板と第２の基板との間に電極を形成した圧電素板を挟み込んだ形態を有する圧電振動子の周波数調整方法において、前記第１の基板少なくとも表裏と、第２の基板の少なくと表裏に形成する電極のいずれかに、該電極金属を付加することあるいは、既存の該電極金属を削除することで該圧電振動子の周波数調整を行うことを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法により課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 放熱性に優れ、耐電力性が向上した圧電共振子、圧電フィルタ、デュプレクサ、および通信装置を提供する。
【解決手段】 開口部若しくは凹部を有する支持基板１０を設ける。前記開口部若しくは凹部上に形成されている、１層以上の圧電薄膜１５を設ける。圧電薄膜１５の上下面を少なくとも一対の上部電極１６および下部電極１４を対向させて挟む構造の振動部１１ｂを設ける。振動部１１ｂの厚み方向視の形状が長さの異なる辺を有する多角形状であり、その最も長い辺が開口部１１ａ若しくは凹部の端部に沿って形成されている。 （もっと読む）

【目的】周波数調整膜による振動特性の変化を防止した水晶振動子を提供する。
【構成】水晶片の両主面に対向する励振電極を形成して振動領域を形成し、前記振動領域上に蒸着によって周波数調整膜を設けてなる水晶振動子において、前記振動領域よりも大きい面積として前記水晶片及び前記励振電極と付着力の強い補強層を前記振動領域上に設け、前記補強層上に前記周波数調整膜を設けた構成とする。また、前記励振電極はＡu、Ａg又はＡLとし、前記補強層はＣr、Ｎi又はＴiであり、前記補強層は500Å以下の構成とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子の周波数を高精度に合わせ込みをすることができる、圧電振動子の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 音叉腕２、３と、音叉腕２、３の一方の端部を接続する音叉基部４とを備え、音叉腕２、３の中心線を挟んだ中央部であり厚さ方向に対向する上下面に溝部５、６を形成した音叉腕が屈曲振動を行う圧電振動子１において、溝部５、６の溝底部電極７ｂ、８ｂをレーザ光を照射して除去することにより周波数を調整する。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動片と保持器とをシリコーン系の導電接着剤を用いて接続する場合においても、通電性を阻害することのない接続電極を、工程数を増やすことなく形成することにより、安価な圧電振動子を提供する。
【解決手段】 圧電振動子である水晶振動子１は、水晶振動片２の接続電極３４が保持器３０にシリコーン系の導電接着剤３５によって接続されている。水晶振動片２の表面には、前述した接続電極３４、接続電極３４と接続する励振電極３３、及び腕部２２、２３の先端近傍に設けられた周波数調整用電極３８が形成されている。接続電極３４は、水晶振動片２の表面に設けられた第一金属層であるクロム層３８ａの１層構造であり、周波数調整用電極３８は、クロム層３８ａと、クロム層３８ａの表面に設けられた第二金属層である金層３８ｂと、金層３８ｂに重ねて設けられた金又は銀で形成される錘金属層３８ｃの３層構造である。 （もっと読む）

【課題】集積化された多数周波数帯圧電薄膜共振器を形成する方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィー技術を用いて、多周波数帯圧電薄膜共振器（Ｆｉｌｍ Ｂｕｌｋ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ、ＦＢＡＲ）を１つの同じ集積回路上に形成するとしてもよい。このようにすることによって、再現性のある構成部品を大量生産できるようになり、製造された共振器は周波数が互いに異なる構造となる。 （もっと読む）

基板(102)、基板の上に積み重ねられたFBARスタック(111)、FBARスタックを基板から音響的に分離する要素(104)、FBARスタックを覆うカプセル材料(121)、及び、FBARスタックの上面(113)とカプセル材料(121)の間に配置された音響ブラッグ反射器(190)からなるカプセル化圧電薄膜共振器(FBAR)デバイス(100)。FBARスタックはFBAR(110)と、基板から離れたところにある上面(113)とを有する。FBARは対向する2枚の平坦な電極(112,114)と、それらの電極間に配置された圧電素子(116)とを含む。音響ブラッグ反射器は金属ブラッグ層(192)と、金属ブラッグ層に近接配置されたプラスチックブラッグ層(194)とを含む。金属ブラッグ層の金属とプラスチックブラッグ層のプラスチック材料の音響インピーダンスの比が大きいため、音響ブラッグ反射器はFBARとカプセル材料との間を音響的に十分に分離し、FBARとカプセル材料との間の望ましくない音響結合によってFBARデバイスの周波数応答に現れることがあるスプリアスアーチファクトを最小限に抑えることができる。
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【課題】 振動片の発振周波数の合わせ込みが容易で、振動片の目標周波数調整への分解能が向上する振動片、これを有する振動子、この振動子を備える発振器及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 基部１１０と、前記基部から突出して形成されている振動腕部１２１，１２２と、前記振動腕部の表面部１０１及び／又は裏面部１０２に形成される溝部１２３，１２４と、前記振動腕部に形成される微調用電極部１２８ａ、１２９ａと、を備える振動片であって、前記微調用電極部は、前記振動腕部の右側面部及び左側面部、並びに表面部又は裏面部に配置され、前記表面部では前記微調用電極部が一定の間隔を設けて複数配置されていると共に、前記裏面部では、前記表面部で前記微調用電極部が形成されている部分に対応する部分を回避して前記微調用電極部が複数配置されていることで振動片を構成する。 （もっと読む）

【課題】蓋体の封止後においても、周波数を高い方へも低い方へも調整することができ、製造工程における不良品の発生を抑制して製造歩留りを向上させることができるようにした圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】蓋体３９が光を透過する材料で形成されており、前記蓋体３９を透過したレーザ光Ｌが照射される位置に対応した前記蓋体３９の内側を含む前記パッケージ３６の内面に、周波数調整するための重り付け用金属被膜４５，４６を形成した、圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】圧電素子片６２の側端面に上下面の電極７３、７４と連続する電極を形成するためのレジストマスク９３を形成する際に、露光不良によってレジストマスクが正確に形成されず、側端面における電極の形状不良によるショートや断線の発生を防止するようにした圧電素子を提供する。
【解決手段】水晶ウエハーをエッチングして圧電素子片６２を形成する際に、パウダービームエッチングを行なうようにし、これによって圧電素子片６２の側端面をその全周に亘って厚さ方向の中央部が外方に突出するような傾斜面から構成するようにしたものである。 （もっと読む）