【課題】 周波数を上昇させたり下降させたりすることができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 第１観点の圧電デバイス（１００）は、音叉型の圧電振動片（５０）をパッケージ（ＰＫＧ）内に収納する圧電デバイスである。音叉型の圧電振動片（５０）は、圧電材料により形成された基部（２３）と基部から所定方向に平行に伸びる一対の振動腕（２１）と振動腕の先端側に形成される周波数調整部（２６）とを備える。パッケージ（ＰＫＧ）は、レーザ光（Ｌ）が照射されるパッケージの内側の面（ＢＴ）に絶縁物質部（５６）を有する。周波数調整部（２６）は、所定方向に伸びる金属膜（２８ａ）とレーザ光が透過するように所定方向に伸び金属膜が形成されていない電極非形成部（２９ａ）とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製造時間が短く、且つ所望する周波数に正確に調整することができる音叉型屈曲水晶振動素子を提供することを課題とする。
【解決手段】基部と二本の振動腕部とを備え、各振動腕部の両主面には溝部が設けられており、前記振動腕部の一方の主面に設けられた前記溝部と前記振動腕部の他方の主面に設けられた前記溝部とは、前記振動腕部の長さ方向に交互にずらして設けられており、各振動腕部の先端部の一方の主面には周波数調整用金属膜が設けられた音叉型屈曲水晶振動素子であって、各振動腕部の一方の主面に設けられた前記周波数調整用金属膜の基部側の端部が、各振動腕部の他方の主面に設けられた励振用電極の各振動腕部の先端側の端部よりも、基部側に延出して設けられている音叉型屈曲水晶振動素子。 （もっと読む）

【課題】 低背化に対応し、回路素子の安定した接続が可能な信頼性の高い圧電発振器を提供する。
【解決手段】 ベース１はその内外部に金属膜からなる配線が施されたセラミックスからなり、水晶振動子の収納領域１ＡとＩＣ４の搭載領域１Ｂと溝部１４が形成された構成である。収納領域１Ａは開口部Ｃ１と当該開口部につながる圧電振動素子収納部Ｃが形成されている。搭載領域１Ｂはその上面に配線パターン電極１３が形成されている。圧電振動素子収納部Ｃには水晶振動素子２（圧電振動素子）が収納され、ガラスろう材Ｇを接合材としてリッドにより気密封止されている。搭載領域１Ｂの配線パターン電極１３上には回路素子であるＩＣ４が搭載される。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の発振周波数における粗調整と微調整を効率良く行うことができる音叉型圧電振動片及び圧電ウェハを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の音叉型圧電振動片１０は、基部１２と、前記基部１２から延出された第１及び第２の振動腕１４、１６とを備えた音叉型圧電振動片１０であって、前記第１及び第２の振動腕１４、１６の先端部分は長手方向に沿って一方及び他方の主面２６、２８のみに複数の金属膜を備え、前記複数の金属膜にレーザー光を照射して発振周波数を調整可能なことを特徴としている。この場合において第１及び第２の振動腕１４、１６の長手方向に沿って、前記複数の金属膜の長さが互いに異なることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の周波数調整方法において、生産性が高く高精度な周波数調整の装置及び方法を提供する。
【解決手段】圧電振動子の周波数を調整する装置において、ｘ軸方向に配列される複数の圧電振動子に対して所定レートで成膜材料を付着させる成膜源、配列された複数の圧電振動子の成膜対象部分を遮蔽／露出するシャッタ、及びシャッタの開閉動作を制御する制御部を備え、制御部が、成膜前に測定された複数の圧電振動子の周波数分布から算出された複数の圧電振動子の質量分布Ｍ１(ｘ)から算出された各圧電振動子の必要露出時間ｔ(ｘ)に基づいてシャッタの開閉動作を制御するように構成した。 （もっと読む）

【課題】面外方向に屈曲振動する振動腕を備える振動片をパッケージに対して安定的に固定しつつ、振動漏れを抑制することができる振動デバイスを提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７から延出する振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０上に第１の電極層２２１、２３１、２４１と圧電体層２２２、２３２、２４２と第２の電極層２２３、２３３、２４３とがこの順で積層され、第１の電極層２２１、２３１、２４１と第２の電極層２２３、２３３、２４３との間に電圧を印加することにより、圧電体層２２２、２３２、２４２を伸縮させて、振動腕２８、２９、３０を屈曲振動させる圧電体素子２２、２３、２４とを有し、圧電体層２２２、２３２、２４２は、基部２７側から振動腕２８、２９、３０の先端付近に亘って設けられている。 （もっと読む）

【課題】信頼性を優れたものとしつつ、振動損失を低減することができる振動片、および、この振動片を備える振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部から延出する振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０上に下地層２２１、２３１、２４１と第１の電極層２２２、２３２、２４２と圧電体層２２３、２３３、２４３と第２の電極層２２５、２３５、２４５とがこの順で積層され、第１の電極層２２２、２３２、２４２と第２の電極層２２５、２３５、２４５との間に通電することにより、圧電体層２２３、２３３、２４３を伸縮させて、振動腕２８、２９、３０を屈曲振動させる圧電体素子２２、２３、２４とを有し、下地層２２１、２３１、２４１は、Ｔｉを主材料とする金属で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを低減させ且つ正確な周波数で発振する水晶デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶デバイスの製造方法は、電極と枠体とを含む水晶フレームを複数有する水晶ウエハを用意する工程と、ベースを複数有するベースウエハを用意する工程と、開口部を含む第１リッドを複数有する第１リッドウエハを用意する工程と、開口部を封止する第２リッドウエハを用意する工程と、水晶ウエハ、ベースウエハおよび第１リッドウエハを接合する第１接合工程と、第１接合工程後に水晶振動片の振動周波数を測定しこの測定結果に基づいて第１リッドの開口部を介して電極の厚みを調整する調整工程と、調整工程後に、第２リッドウエハを第１リッドウエハに接合する第２接合工程と、個々の水晶デバイスに分割する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】アウトガスによる影響を防止することで電子部品特性の低下を防止可能な、電子部品の実装構造体、及び電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】接続電極３３，３４を有する基材３に電子部品１を実装する電子部品１の実装構造体２である。電子部品１は、所定の機能を有する機能片１１と、機能片１１に電気的に接続される導電部を含む被覆膜２５，２６により表面が覆われ、凹部を有する樹脂突起部２４と、凹部に配置された接着材２７，２８を有する。接着材２７，２８は、被覆膜２５，２６における導電部を接続電極３３，３４に導電接触させた状態に電子部品１を前記基材３に実装する。 （もっと読む）

【課題】パッケージを効率良く製造すること。
【解決手段】第１基板４０を厚さ方向に貫通し、キャビティの内側とパッケージの外側とを導通する貫通電極を形成する貫通電極形成工程を有し、貫通電極形成工程は、第１基板４０に貫通孔３０、３１を形成する貫通孔形成工程と、平板状の土台部８と、土台部８の表面に立設された芯材部７と、を備える導電性の鋲体９の芯材部７を貫通孔３０、３１内に挿入する鋲体配置工程と、を有し、貫通孔形成工程の際、第１基板４０の第１面４０ａ側から、第１面４０ａとは反対の第２面４０ｂ側に向けて漸次拡径する逆テーパ状に貫通孔３０、３１を形成し、鋲体配置工程の際、第１基板４０の第１面４０ａを上方に向けて第１面４０ａ上で鋲体９を移動させつつ、貫通孔３０、３１を通して第２面４０ｂ側から鋲体９を吸引することで、芯材部７を貫通孔３０、３１内に挿入するパッケージの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性を向上させることができる振動片および振動デバイスを提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に並んで設けられた２つの振動腕２８、２９と、各振動腕２８、２９に対して離間して設けられ、各振動腕２８、２９がＸ軸方向に曲げ変形されたときに、２つの振動腕２８、２９のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、それ以上の曲げ変形を阻止する阻止部（腕部２４、２５の先端部）とを有し、阻止部の少なくとも振動腕２８、２９が接触する部分には、衝撃吸収性を有する緩衝部２４１、２５１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内の気密を維持しつつ、導通不良のない貫通電極を形成することができるパッケージの製造方法、およびこの製造方法により製造された圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】、貫通電極形成工程Ｓ３０Ａは、ベース基板用ウエハ４０（第１基板）に貫通孔３０，３１を形成する貫通孔形成工程Ｓ３２と、貫通孔３０，３１内に第１ペースト材６１を充填して仮乾燥させる第１ペースト材充填工程Ｓ３５Ａと、第１ペースト材６１に重ねて貫通孔３０，３１内に第２ペースト材６３を充填する第２ペースト材充填工程Ｓ３５Ｂと、を有し、第１ペースト材６１は第２ペースト材６３よりも粘度が低いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部部材の支持面との平行度を保った状態で支持されることが可能な圧電振動片及びこの圧電振動片を備えた圧電デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動片１０は、基部１１と、基部１１から延びる一対の振動腕１２と、基部１１に接続された保持部１３と、を備え、保持部１３がパッケージベース２２の内底面２１に支持される複数の支持部１３ｂを有し、平面視において、各支持部１３ｂを結んだ領域内に重心Ｇが位置するように錘部１３ｃ，１３ｄが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を損傷することなく、基板の貫通孔に対して鋲体を迅速かつ確実に挿入することができるパッケージの製造方法と、この製造方法により製造された低コストな圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】平板状の土台部と、土台部の表面から法線方向に沿って立設される芯材部と、を有する導電性の鋲体７の芯材部を貫通孔３０，３１（凹部）に挿入する鋲体配置工程Ｓ３３を有し、鋲体配置工程Ｓ３３は、ベース基板用ウエハ４０（第１基板）の第１面Ｕ（上面）に鋲体７を載置した後、ベース基板用ウエハ４０の第２面Ｌ側（下面側）に配置した磁石部６３（磁石）とベース基板用ウエハ４０とを相対的に走査することにより行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接合材の腐食を抑制して、気密性に優れたパッケージ、パッケージの製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】ベース基板２及びリッド基板３の間に、圧電振動片を封入可能なキャビティを備えたパッケージ１０の製造方法であって、ベース基板２の接合面に形成されたアルミニウムを主成分とする材料からなるアルミ膜２３ａと、リッド基板３の接合面とを陽極接合する接合工程と、ベース基板２とリッド基板３との間から露出するアルミ膜２３ａを酸素プラズマで処理することによりアルミ膜を酸化させる酸化工程とを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を所望の形状に加熱成形することができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】成形工程は、貫通孔形成工程において、スルーホール３０，３１に相当する凸部５３を有するスルーホール形成用型５１でベース基板用ウエハ４１を押圧しつつ、加熱することによりスルーホール３０，３１を形成する工程であり、スルーホール形成用型５１は開気孔率が１４％以上の材料で構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容易に周波数調整が可能な振動片の構成を提供する。
【解決手段】基部１５と、基部１５から延びる面外振動をする振動腕１１，１２，１３と、振動腕１１，１２，１３の共振周波数を調整する第１質量部５１，５２，５３と、を有し、第１質量部５１，５２，５３は振動腕１１，１２，１３の面外振動により圧縮または伸長する第１面と、第１面が圧縮した時に伸長し第１面が伸長した時に圧縮する第２面とを有し、第１質量部５１，５２，５３は第１面および第２面の少なくとも一方の面であって、振動腕１１，１２，１３の基部１５側の端部から先端部までの長さの略中心に形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動特性を損なわず、精度の高い周波数調整を可能とする振動片を提供する。
【解決手段】基部１５と、基部１５から延びる面外振動をする振動腕１１，１２，１３と
、振動腕１１，１２，１３に形成され振動腕１１，１２，１３を励振させる励振電極と、
振動腕１１，１２，１３に形成され振動腕１１，１２，１３の周波数を調整する第１質量
部５１，５２，５３と、を有し、第１質量部５１，５２，５３および励振電極は振動腕１
１，１２，１３の面外振動により圧縮力と伸長力とが交互に加わる対向する面の一方の面
に配置され、第１質量部５１，５２，５３が基部１５から振動腕１１，１２，１３の長さ
の１／２を超えた振動腕１１，１２，１３の先端側であり、かつ、密度Ｄ（×１０³ｋｇ
／ｍ³）が、２．２０≦Ｄ≦８．９２、の範囲内にある金属膜または絶縁膜で形成されて
いる。 （もっと読む）

【課題】振動部から漏れる振動を軽減させてＣＩ値を向上させる。
【解決手段】保持部１１１と振動部１１２とから構成され、振動部１１２に電極が形成される圧電振動片１１０ａと、圧電振動片を囲う枠部１３０と、圧電振動片１１０ａの保持部１１１と枠部１３０とに設けられて圧電振動片１１０ａを支持する支持部１４０とを備え、支持部１４０が金属膜であり、保持部１１１と枠部１３０とを少なくとも３箇所で支持して構成されることを特徴とし、圧電振動片が、屈曲振動モード、厚み滑りモード、輪郭モードのいずれかに対応する振動モードで振動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】音叉型の圧電振動子用素子を筐体内に設けた圧電振動子において、励振電極に調整膜の削り滓が飛散して付着することによる不良の発生を抑えることができる圧電振動子を提供すること。
【解決手段】音叉型の水晶片１１と、励振電極６ａ、６ｂ、６ｃと、周波数調整用の調整膜８と、を備えた水晶振動子用素子１０を筐体２０内に装着して構成される水晶振動子の製造方法において、筐体２０の内部における励振電極６ａ、６ｂ、６ｃが位置する雰囲気と調整膜８が位置する雰囲気との間に、調整膜８の削り滓が飛散することを抑止するための壁面２９を形成し、水晶振動子用素子１０の周波数の調整を行うためにレーザー光により調整膜８を削り取るときに、壁面２９によって飛散した削り滓が励振電極６ａ、６ｂ、６ｃに付着してショートすることを防止し、不良の発生を抑制する。 （もっと読む）