【課題】 水晶振動子（２０）の電極パターンの幅の狭い回路が静電気の放電反応により損傷されることを回避するために、静電気の放電反応により放電突起を介して空気中に静電荷を放電する放電保護機能（２３１、２５１）を有する水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶基板（１０）と、この水晶基板の表面の所定の領域に配置された第一および第二の金属層（２３、２５）と、第一の金属層に形成されこの第一の金属層から第二の金属層へと形成された複数の放電突起（２３１，２５１）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は前記課題を解決するためのものであり、圧電振動子の製造工程において気密端子の金属環表面に形成されたメッキ部が溶融された場合においても、圧電振動子のリークや封止管と水晶片の接触による不良が発生しない圧電振動子を提供するものである。
【解決手段】金属環に絶縁部材が充填され、この絶縁部材にリード端子が貫通固定された気密端子と、前記気密端子の上部側の前記リード端子に搭載された圧電振動片と、前記気密端子の金属環表面に形成された軟質金属を介して前記気密端子に圧入され、前記圧電振動片を気密に封止する封止管よりなる圧電振動子において、前記圧電振動子の製造過程に加わる熱により溶融された前記軟質金属が流れ込むメッキ流入部を、前記金属環の下部に形成した圧電振動子とする。 （もっと読む）

【課題】音叉型水晶振動板においては超小型であってもＣＩ値が低く、又その製造工程においては水晶基板内・水晶基板間の周波数バラツキが小さく、且つ、工程数が少なく、安価な設備で高歩留まりを達成すること。
【解決手段】音叉型水晶振動片の第１の振動腕部と第２の振動腕部には少なくとも１本の溝部が形成されており、この溝部の深さ寸法は音叉型水晶振動片の厚み寸法の５０％から９０％の深さ寸法で、且つ溝部の長さ寸法は各振動腕部の長さ寸法の５０％以上７０％未満の長さ寸法で形成されており、更に、第１の振動用電極と第２の振動用電極とは、第２の振動腕部に形成された所定の電極と結線されて一端子を構成し、且つ第３の振動用電極と第４の振動用電極とは、第１の振動腕部に形成された所定の電極と結線されて一端子を構成し、これら所定の電極に印加される電圧で第１の振動腕部及び第２の振動腕部が屈曲振動する音叉型水晶振動板。 （もっと読む）

【課題】 強度低下を来たすことなく、小型化・薄型化を実現する。
【解決手段】 蓋部材６とベース部材７とが厚さ方向に重ね合わされた密閉容器２と、密閉容器内に基端部を蓋部材に片持ち支持された水晶振動片３と、蓋部材及びベース部材の内面であって、圧電振動片の先端部に対応する箇所にそれぞれ設けられた欠け防止用凹部８，１０と、水晶振動片の先端部に設けられた周波数調整用の重り５とを備える水晶振動子１において、周波数調整用の重り５が、水晶振動片の先端部であって蓋部材とベース部材と対向する両面の内蓋部材と対向する面にのみに設けられ、水晶振動片の先端部の周波数調整用の重りが設けられない側であるベース部材の欠け防止用凹部の圧電振動片への接触縁部１０ｂが、水晶電振動片の先端部の周波数調整用の重りが設けられた側である蓋部材の欠け防止用凹部の水晶振動片への接触縁部８ｂよりも水晶電振動片の先端側へずらして設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部に対して連結部７３を介して一体に接合されており、前記基部の前記一端側より所定距離だけ離れた他端側において幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム６１，６２とを備え、前記連結部７３の幅ｒと前記基部５１の幅ｅの比率であるｒ／ｅが、ほぼ４０％以下とされている。 （もっと読む）

【課題】 効果的な周波数調整を行うことができるとともに、調整後に酸化などの影響を受けて共振周波数が変動してしまうことを防ぎ、また、効率良く製造可能な圧電振動片及びその製造方法、その圧電振動子、並びに、発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】 圧電振動片１は、水晶片１ａ上に、外部電極接続部７と、励振電極５と、微調部９とが設けられたものであり、水晶片１ａの外形を形成する外形形成工程と、水晶片１ａの表面にクロム膜２０を形成するクロム膜形成工程と、外部電極接続部７、励振電極５、微調部９となる位置で、クロム膜２０をパターニングするクロム膜パターン形成工程と、微調部９となる位置で形成されたクロム膜２０の表面に、保護膜１１を成膜する保護膜形成工程と、微調部９にレーザー光を照射して、微調部９の重量を調整して、水晶片１ａを所定の共振周波数に設定する周波数微調整工程とを備えた製造方法で製造される。 （もっと読む）

【課題】膜応力による基板の反りを解消又は軽減し、素子の変形や破壊又は特性の劣化を抑制し、工業的に実用化できかつ安価に製造し得るＳＭＲ型圧電薄膜共振子を提供する。
【解決手段】圧電薄膜共振子１１は、基板１２の上面に高音響インピーダンス層と低音響インピーダンス層とを交互に積層した音響多層膜１３と、その上に積層した下部電極１４、圧電薄膜１５及び上部電極１６とを備え、更に基板の下面に圧縮応力膜１７とを備える。圧縮応力膜は、基板において音響多層膜により発生する圧縮応力と相殺される大きさの圧縮応力を有するように、該音響多層膜と同一の膜構成、同一の寸法及び厚さに形成される。 （もっと読む）

【課題】振動体の支持、固定に伴う振動特性の劣化の低減と、耐衝撃性を向上する輪郭振動片を実現する。
【解決手段】輪郭振動片１０は、等方性材料からなる四角柱状の振動体２０と、振動体２０の対向する側面２２，２３それぞれに形成される第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１と、第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１に励振信号を入力し、側面２２，２３において平面的に対向する二つの励振電極４１，４２と、を備え、励振電極４１と励振電極４２及び第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１とが、平面視して振動体２０の中央部において所定の面積の交差領域Ｌを有し、振動体２０の長手方向中央部が、入力される特定の周波数の励振信号に対応した振動モードにて輪郭振動する。 （もっと読む）

【課題】周波数可変型共振子において、共振体を構成する圧電体層と電極層との剥離を効果的に防止することにより、信頼性の優れた音響波共振子およびそれを用いたフィルタならびに通信装置を提供する。
【解決手段】音響波共振子は、直方体形状のその上面に凹部１を有する基体２と、基体２上に設けられ、音響波を発する圧電体層３を下部電極層４及び上部電極層５とで上下から挟持した共振体６と、共振体６上に設けられたチューニング層７と、チューニング層７上に設けられた導電層８とを含んで構成されており、前記チューニング層７は、絶縁性の弾性体であり、前記導体層８と前記上部電極層５との間に電圧が印加されると、導体層８と上部電極層５との間に静電引力が発生し、その力によってチューニング層７が圧縮されて、チューニング層７の厚みが変形することにより、共振周波数を調整する。 （もっと読む）

【課題】薄板水晶基板からフォトエッチング技術により複数個を同時に作成する音叉型屈曲水晶振動片の特性バラツキを低減するための構造及び製造方法の提供。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動片１は、Ｚ´板の薄板水晶基板からなり、前記音叉型屈曲水晶振動片は左振動腕部２と右振動腕部３が基部１ａと一体をなし、左振動腕部２と右振動腕部３の表裏のいずれか一方の面には少なくとも一本の逆台形もしくは略Ｖ字状からなる深溝６，７を有し、この深溝６，７の深さは音叉型屈曲水晶振動片１の厚みに対して５０％から９０％の深さからなり、左振動腕部２の深溝６を有する内部とその反対面に形成された電極膜は右振動腕部７の両側面電極と結線されて一端子をなし、左振動腕部２の両側面電極は右振動腕部３の深溝７を有する内部とその反対面に形成された電極膜と結線されて一端子とし、その二端子間に交番電圧を印加することで屈曲振動するように構成。 （もっと読む）

【課題】特に高次輪郭振動に起因する波形歪みを抑制して、最近の厳しい波形歪み仕様を満たした純正弦波振動が可能な逆メサ型圧電共振子を提供する。
【解決手段】結晶軸の方向を指示する切り欠きを有する圧電板、及び第１、第２電極を備え、前記圧電板は主部と、前記主部の外周に段差部を形成しながら延伸され、前記主部よりも厚い板厚を有する支持部とからなり、少なくとも前記主部の第１、第２面には、各々前記第１、第２電極の一部である第１、第２電極膜が付着されている逆メサ型圧電共振子であって、前記圧電板の第１面に前記段差部を覆う補助膜が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】伝搬損失の小さい、小型で高性能な弾性表面波機能素子及び弾性機能素子を提供する。
【解決手段】圧電性基板１上に、すだれ状電極金属薄膜７、８を付着させ、その上にグレーティング構造からなる伝搬速度が１０００ｍ／ｓ以下の超低速薄膜、或いはＴｅＯ_２薄膜９を付着させる。これにより、非常に薄い膜厚で大きな反射係数をもつ弾性表面波機能素子を得る。また、構成として、圧電性基板或いは圧電性薄膜基板表面に、超低速薄膜、或いはＴｅＯ_２薄膜を付着させた構造の分散型機能素子、或いはこの薄膜をグレーティング構造とし、大きな反射係数をもつ弾性表面波基板、或いはこの薄膜と高インピーダンス薄膜を組み合わせた弾性波共振器を用いた弾性機能素子を得る。 （もっと読む）

【課題】バランス調整用のレーザ光がパッケージベースにあたるのを防止して、精度を向上した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１０は、バランス調整部４８を備えた圧電振動片４０と、バランス調整部４８と積層方向に重なる位置に少なくとも設けた絶縁基板３２と、圧電振動片４０と絶縁基板３２とに接合し、圧電振動片４０を絶縁基板３２から離して保持するリード３６と、凹陥部１８を有し、この凹陥部１８の底面に絶縁基板３２を配設したパッケージベース１４と、パッケージベース１４の上面に接合した透明な蓋体２４とを備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】共振子の放熱経路を確保して、共振子の放熱特性を高めることを可能とする。
【解決手段】基板１１上に空間１２を介して周囲が前記基板１１上に支持された第１電極１３と、前記空間１２上方の前記第１電極１３上に形成された圧電膜１４と、前記空間１２上方にかかるように且つ前記圧電膜１４上に形成された第２電極１５とを備えた共振器１であって、前記空間１２の中央部に、前記第１電極１３、前記圧電膜１４および前記第２電極１５の共振子１６で発生した熱を前記基板１１側に放熱する放熱部１８が形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】レーザ光が電子部品本外の被加工部以外に当たらないようにする。
【解決手段】振動ジャイロセンサ３０は、パッケージ３２内にジャイロセンサ素子１０が収納してある。パッケージ３２は、パッケージ本体３４の上端部にリッド３６が気密に接合してあり、内部が真空に封止されている。ジャイロセンサ素子１０は、駆動アーム１６に金薄膜からなるバランス調整部を有する。リッド３６は、透明なガラスから形成してあり、バランス調整部２８の直上に位置する凸レンズ部６８を有する。凸レンズ部６８は、入射したレーザビーム７０をさらに集光してバランス調整部２８に照射する。 （もっと読む）

【課題】１度のレーザ光の照射でトリミング可能な範囲を広げ、チューニング時間の短縮化を図ることができる電子部品を提供する。
【解決手段】パッケージベース５０と、前記パッケージベース５０に実装され、レーザ加工されるバランス調整部を有する圧電振動片１０と、前記パッケージベース５０に接合材５７で接合され、前記圧電振動片１０の周囲を気密に封止する、拡散レンズ６２を備えたリッド６０とを有することを特徴とする。また、前記拡散レンズ６２は、通常の凹レンズの他、シリンドリカルレンズ、フレネルレンズ等としても良い。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値が低い音叉型の水晶振動子及びこの水晶振動子を備えた水晶振動子パッケージを提供する。
【解決手段】音叉型水晶振動子に音叉振動を発生させるための励振電極４１、５１等の電極パターンの電極材料として、従来から使用されているＡｕ（金）よりも比重が小さく、剛性の低いシリコン材料を使用する。これにより水晶振動子が振動し易くなるので、電気エネルギーを音叉振動に変換する際の振動損失（ＣＩ値）を低くすることができる。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子としてのＣＩ値の上昇を抑え、振動の阻害要因を除去することのできる圧電振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 水晶振動片１の領域２０における電極１２は、第１金属層１２ａと貴金属よりなる第２金属層上に、絶縁保護膜１９と密着性の良い第３金属層１２ｃを形成し、この第３金属層１２ｃ上に絶縁保護膜１９を形成した水晶振動片１の構造とすることで絶縁保護膜１９が強固に形成され、ＣＩ値の良好な圧電振動子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、ドライブレベル特性が良好で、収容体の接合部に応力が残留せず、特性悪化要因を残すことがない圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】ベース基体５４と、枠付き振動片５５と、該枠付き振動片に積層固定されるリッド５６とを含む圧電デバイスであって、前記ベース基体と、前記枠付き振動片と、前記リッドとが全て同じ材料で形成されており、前記枠付き振動片５５が、振動片本体３２と、枠部５３とを備え、前記ベース基体と、前記枠付き振動片と、前記リッドの互いの各接合面が表面活性化接合により接合されて、真空封止され、かつ、前記振動片本体３２の駆動用の電極が前記枠部に引出し電極として引き回され、前記接合によって、前記枠部の引出し電極が、前記ベース基体の接合面に形成した導電パターンを介して、該ベース基体に設けた外部端子としての実装電極と電気的に接続される構成。 （もっと読む）

【課題】蓋体による封止後に周波数調整して周波数を高くしたり低くしたりして精密に合わせ込むことができるとともに、その後の加熱工程を経ることによっても振動特性が悪化しないようにした圧電デバイスと、圧電デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容して、光透過性の蓋体３９により該パッケージを気密に封止した圧電デバイスであって、前記圧電振動片が、圧電材料で形成した基部と、該基部から延びる少なくとも一対の振動腕３４，３５を有し、該振動腕の先端側であって、前記蓋体を透過させて外部からレーザー光ＬＢ１を照射し得る位置に形成された金属膜と、前記蓋体の内側であって、周波数調整のために外部から照射される前記レーザー光ＬＢ１の光路上とならない箇所で、しかも、該パッケージの外部からレーザー光ＬＢ２を照射し得る箇所に形成したゲッター材７１とを備える。 （もっと読む）