【課題】不要なリップルを抑えることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜３と、圧電薄膜３の一方の主面に設けられた上部電極１３、２３と、圧電薄膜３の他方の主面に設けられた下部電極１１、２１とを有し、基板２から音響的に分離されるように、上部電極１３、２３及び下部電極１１、２１が圧電薄膜３を介して重なり合う部分で圧電振動部１５、２５が構成されている第１及び第２の圧電共振子１０、２０とを備え、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは入力端子と出力端子に対して直列または並列に接続されており、入力端子からみた圧電薄膜３の分極方向は互いに逆であり、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは、横振動モードの共振周波数が互いに異なるように形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕から基部への振動漏れを抑制する振動片、及びこの振
動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる振動腕１１ａ
，１１ｂ，１１ｃと、を備え、基部１０は、連結部１０ａと支持部１０ｂとを含み、Ｙ軸
方向と、平面視においてＹ軸方向に直交するＸ軸方向と、で規定される平面に沿った連結
部１０ａの主面１０ｃ，１０ｄに、溝部１２ａ，１２ｂを有し、振動腕１１ａ，１１ｂ，
１１ｃが、励振電極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃによって、主面１
０ｃ，１０ｄに直交するＺ軸方向に屈曲振動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】輪郭すべり振動に基づく副振動の発生を抑えること。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とする圧電体をなす水晶片３０の両面に夫々励振電極３１，３２が形成された水晶振動子３において、前記水晶片３０の輪郭に沿って、水晶よりも音響抵抗が大きい材質例えばガラスにより環状の振動吸収部材４を形成する。この振動吸収部材４により輪郭すべり振動の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】側面方向からの外乱ノイズの影響を小さくするようにパッケージ側面に電磁シールドとなる導体が形成された圧電発振器を提供する。
【解決手段】圧電発振器１００は、圧電振動片１０及び圧電振動片を発振させる電子回路素子２０を底部の中央に収納して形成されるパッケージ３０と、パッケージを密封するリッド４０とを備える。パッケージの底部は外部電極３４が形成される第１下面と第１下面から第１上面まで貫通する第１貫通電極３７Ａとを有し絶縁体材料からなる第１層３５Ａと、第１上面と向かい合う第２下面と第２上面と第２下面から第２上面まで貫通する第２貫通電極３７Ｂと第２下面から第２上面まで貫通する第１貫通導体３８Ａとを有し絶縁体材料からなる第２層３５Ｂと、第１層と第２層との間に配置され第１貫通電極及び第２貫通電極と絶縁された第１導体層３６Ａと、を含む。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内の良好な真空度を確保できるパッケージの製造方法、このパッケージの製造方法により製造された圧電振動子、この圧電振動子を有する発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】リッド基板用ウエハ５０（第１基板）の内面に形成された接合膜３５（接合材）と、ベース基板用ウエハ４０（第２基板）の内面とを陽極接合して圧電振動子（パッケージ）を製造する圧電振動子の製造方法であって、リッド基板用ウエハ５０の外面に第１ヒータ７１を当接させ、ベース基板用ウエハ４０の外面に第２ヒータ７２を当接させて加熱する予備加熱工程Ｓ６０と、接合膜３５を陽極とし、ベース基板用ウエハ４０を陰極として陽極接合する陽極接合工程Ｓ７０と、を有し、予備加熱工程Ｓ６０は、スペーサ７５を配置し、スペーサ７５を介してリッド基板用ウエハ５０およびベース基板用ウエハ４０を重ねた状態で行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】落下などにより水晶振動片の垂直方向に過度の衝撃力が加わることによって生じる、周波数シフトなどの振動特性の劣化を防止した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイスとしての水晶振動子１０は、基部１６と、基部１６から並行するように延出された振動腕１５と、基部１６から延出され、振動腕１５を挟むように振動腕１５のそれぞれの側面に並行して形成された支持腕１７と、複数の振動腕１５のそれぞれの開放端２７近傍の主面に形成された錘層２１と、開放端２７と間隙を有し錘層２１が溶融された周波数調整部２２とを有する圧電振動片としての水晶振動片１４と、収容部１３に水晶振動片１４を収容して、蓋体２４によって気密に封止されるパッケージ１１と、を有し、水晶振動片１４は、支持腕１７の一部が接合部２５によって収容部１３の底面１２および蓋体２４との間に狭隙を持って接続されている。 （もっと読む）

【課題】所定の共振周波数を確保しつつ、小型化を図ること。
【解決手段】長手方向Ｙに延在するとともに幅方向Ｘに並んで配置された第１振動腕部４および第２振動腕部５と、これらの両振動腕部４、５の基端側を連結する基部６と、を備え、第１振動腕部４の先端部４ｃには、幅方向Ｘの内側に張り出す第１内張出部１１、および外側に張り出す第１外張出部１２が形成され、第２振動腕部５の先端部５ｃには、幅方向Ｘの内側に張り出す第２内張出部１３、および外側に張り出す第２外張出部１４が形成され、第１振動腕部４において第２内張出部１３と幅方向Ｘに対向する部分には、第１内張出部１１の張出端縁１１ｂよりも幅方向Ｘの外側に窪んだ第１逃げ部１５が設けられ、第２振動腕部５において第１内張出部１１と幅方向Ｘに対向する部分には、第２内張出部１３の張出端縁１３ｂよりも幅方向Ｘの外側に窪んだ第２逃げ部１６が設けられた圧電振動片２を提供する。 （もっと読む）

【課題】製造が簡単で、周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、この振動片の製造方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出しＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８に設けられ、振動腕２８を屈曲振動させる圧電体素子２２と、振動腕２８の圧電体素子２２よりも先端側に設けられた質量部５１とを有している。また、圧電体素子２２は、少なくとも、第１の電極層２２２と、第２の電極層２２６と、これらの間に位置する圧電体層２２３とを有している。また、質量部５１は、少なくとも１つの膜部を有し、この膜部は、圧電体素子２２を構成する層のうちのいずれか１つの層と同じ材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】優れた振動特性を発揮することのできる振動片を提供する、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供する。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出し、Ｘ軸方向に複数並んで設けられた振動腕２８、２９、３０とを有し、各振動腕２８、２９、３０は、Ｚ軸方向に屈曲振動する。振動腕２８、２９、３０のうちのＸ軸方向の両端に位置する振動腕２８、２９では、Ｘ軸方向にて隣接する振動腕３０側の第１部位が、第１部位と反対側に位置する第２部位よりも剛性が高い部分を有している。 （もっと読む）

【課題】低いＣＩ値で且つ配線抵抗の小さい音叉型水晶振動片を提供する。
【解決手段】音叉型水晶振動片３０Ａは、励振電極３３，３４を有し所定方向に伸びた一対の振動腕２１と、一対の振動腕が連結された基部２３と、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に伸びる一対の支持腕２５と、導電性接着剤と接する一対の支持腕の先端領域から励振電極まで引き出された引出電極３１，３２と、を備える。さらに励振電極は、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｗのうち少なくとも１つの第１の金属膜と第１の金属膜上に形成されたＡｕ又はＡｇのうち少なくとも１つの第２の金属膜との２層からなり、引出電極は、第２の金属膜上に形成されたＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｗのうち少なくとも１つの第３の金属膜と第３の金属膜上に形成されたＡｕ又はＡｇのうち少なくとも１つの第４の金属膜との４層からなる。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動素子ウエハにおいて、音叉型屈曲水晶振動素子の取り個数が増え、生産性向上が出来る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０は、基部１１１と、基部から同一方向に延設した２本の振動腕部１１２ａ、１１２ｂと、一方の振動腕部が設けられる側に寄って、基部より振動腕部と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部よりも振動腕部から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、を備えた複数の音叉型屈曲水晶振動素子と、複数の音叉型屈曲水晶振動素子を囲む様に設けられているフレーム部２０と、音叉型屈曲水晶振動素子の基部とフレーム部が連結されている連結部３０と、で構成され、隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子の第一の支持腕部１１３ａと第二の支持腕部１１３ｂとが、振動腕部の長さ方向に所定の間隔を空けてフレーム部２０に備えられている。 （もっと読む）

【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出する振動腕２８、２９とを有している。各振動腕２８、２９は、Ｚ軸方向に対向する上面２８１、２９１および下面２８２、２９２を有している。第１の面２８１、２９１に第１の質量部５１、５２が設けられると共に、第２の面２８２、２９２に第２の質量部５４、５５が設けられている。第１の質量部５１、５２および第２の質量部５４、５５の少なくとも一方は、Ｚ軸方向からの平面視で、他方に対し非対向な部分を有する。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上及び材料ロスの低減を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】凹部形成工程では、金属ピン３７が配置される貫通孔２１，２２と、貫通孔２１，２２から第１面４０ａに向けて貫通孔２１，２２に対して漸次拡径する拡径部４１と、をベース基板用ウエハ４０の厚さ方向に沿って形成し、充填工程では、拡径部４１にもガラスフリットを充填する。 （もっと読む）

【課題】第１基板の反りを低減して、歩留まりを向上させるとともに、パッケージの機械的強度を向上させることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】充填工程と第２研磨工程との間に、矯正治具によりベース基板用ウエハ４０を厚さ方向両側から挟み込んだ状態で、加熱する矯正工程を有し、矯正治具は、ベース基板用ウエハ４０とガラスフリット３８との熱膨張係数差に基づくベース基板用ウエハ４０の反りの向きと、逆向きに反っている。 （もっと読む）

【課題】高いドライブレベル特性を確保することができる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】溝部５の基端側の幅は、溝部５の先端側の幅よりも狭く形成されており、基部４は、圧電振動片１を実装するマウント電極１２，１３が外表面に形成されたマウント部４ａと、マウント部４ａと一対の振動腕部３ａ，３ｂとの間に位置するようにマウント部４ａと一対の振動腕部３ａ，３ｂとに連設され、一対の励振電極１０，１１とマウント電極１２，１３とを接続する引き出し電極１４ａ，１４ｂが外表面に形成された中間部４ｂと、を有し、マウント部４ａの幅は、中間部４ｂの幅よりも広く形成されており、マウント部４ａの側面と中間部４ｂの側面とは、マウント部４ａと中間部４ｂとの段差部において、長手方向に対して傾斜する傾斜面４ｃを介して連設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動部の熱弾性損失を抑制しつつ、同相モードの振動も抑制し、高精度で信頼性の高い振動片を提供する。
【解決手段】基部１４と、基部１４から延設された連結部１５と、互いに平行に延びる複数の第１軸上に、連結部１５を基端として延設され、第１面と該第１面に対向する第２面と前記第１面および前記第２面を連結する側面とを有し、前記第１面および前記第２面に対して法線方向に屈曲する複数の振動腕１６（１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）とを備え、複数の振動腕１６は、駆動時に互いに隣り合う振動腕１６が反対方向に屈曲振動し、屈曲方向が相反する前記振動腕１６のうちのいずれか一方の根元付近の連結部１５に配置される矯正部１８を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型な振動片であっても静電容量を大きくし、負荷容量の変化に対して発振周波数感度の低い圧電振動片、圧電振動子、および圧電発振器を提供する。
【解決手段】基部と、前記基部より延伸して形成され屈曲振動する振動腕とを備え、圧電材料からなる振動片であって、前記振動腕の表裏面に形成された非駆動電極と、前記振動腕の先端方向に前記非駆動電極から離間して前記振動腕の前記表裏面と側面とに形成された駆動電極と、を備える圧電振動片。 （もっと読む）

【課題】基部から一対の振動腕が伸びた音叉型の圧電振動片を複数一体的に連結した圧電ウエハに対して音叉型の圧電振動片の周波数を目標周波数へ調整する周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 周波数調整方法は、振動腕の先端に形成された周波数調整部の少なくとも一部に第１金属（２４）を形成する工程（Ｓ１１）と、圧電ウエハ（２００）に連結された音叉型の圧電振動片の周波数を測定する工程（Ｓ１２）と、測定された音叉型の圧電振動片の周波数が目標周波数よりも低い場合には周波数調整部に形成された第１金属（２４）を削り取り、測定された音叉型の圧電振動片の周波数が目標周波数よりも高い場合には音叉型の圧電振動片から離れて配置された第２金属（３０２）を昇華させて周波数調整部に付着させる周波数調整工程（Ｓ１３−Ｓ１５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 薄い寸法構成の圧電アクチュエータを用いた振動装置を提供する。
【解決手段】 一端部を台座４に固定した板状の圧電アクチュエータ１と圧電アクチュエータ１の他端部にダンパ３を介して接続した錘２を有する。 （もっと読む）

【課題】 周波数を上昇させたり下降させたりすることができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 第１観点の圧電デバイス（１００）は、音叉型の圧電振動片（５０）をパッケージ（ＰＫＧ）内に収納する圧電デバイスである。音叉型の圧電振動片（５０）は、圧電材料により形成された基部（２３）と基部から所定方向に平行に伸びる一対の振動腕（２１）と振動腕の先端側に形成される周波数調整部（２６）とを備える。パッケージ（ＰＫＧ）は、レーザ光（Ｌ）が照射されるパッケージの内側の面（ＢＴ）に絶縁物質部（５６）を有する。周波数調整部（２６）は、所定方向に伸びる金属膜（２８ａ）とレーザ光が透過するように所定方向に伸び金属膜が形成されていない電極非形成部（２９ａ）とを有する。 （もっと読む）