【課題】蓋体による封止後に周波数調整して周波数を精密に合わせ込むことができるとともに、その後の加熱工程を経ることによっても振動特性が悪化しないようにした圧電デバイスと、圧電デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容して、該パッケージを気密に封止した構造を有し、外部からレーザー光ＬＢ１を照射して前記圧電振動片の金属膜を部分的に蒸散させて周波数調整を行う構成の圧電デバイスであって、前記パッケージ内であって、周波数調整のために外部から照射される前記レーザー光の光路上とならない箇所であって、かつ該パッケージの外部からレーザー光ＬＢ２を照射し得る箇所にゲッター材７１を設けた。 （もっと読む）

【課題】 ドライエッチングにより周波数調整する場合に、マスクずれの影響をなくし、圧電振動子の電気的特性の高性能化や高安定化が実現できるより信頼性の高い圧電振動片、および圧電振動片の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 基部２０と、この基部から突出された複数の脚部２１，２２とからなり、各脚部には、脚部主面の先端部に形成された周波数調整膜２５，２６と、脚部に形成された励振電極２３，２４とを具備しており、前記周波数調整膜の表面材質に対して前記励振電極の表面材質の方がドライエッチングによる除去レートの低い材料で形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】単数又は複数の圧電薄膜共振子を含む圧電薄膜デバイスにおいて、周波数インピーダンス特性がスプリアスの影響を受けにくくする。
【解決手段】圧電薄膜共振子１においては、圧電体薄膜１４の上面の、励振電極となる上面電極１５１が形成されていない領域にも、上面電極１５１との間の間隙及び圧電体薄膜１４の縁辺を除くほぼ全面に、励振信号が印加されない上面電極１５２が形成されている。同様に、圧電体薄膜１４の下面の、励振電極となる下面電極１３１が形成されていない領域にも、下面電極１３１との間の間隙及び圧電体薄膜１４の縁辺を除くほぼ全面に、励振信号が印加されない下面電極１３２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を促進して生産性を良好にし、電気的性能を向したＰＬＬ制御発振器を提供する。
【解決手段】水晶振動子３Ａと発振回路と温度補償回路とからなる温度補償水晶発振器と、前記温度補償水晶発振器を基準信号源としてＰＬＬ制御されたＬＣ発振回路を備えたＰＬＬ制御発振器において、前記温度補償水晶発振器の水晶振動子を除く発振回路と、前記温度補償発振器の温度補償回路と、前記ＰＬＬ制御されたＬＣ発振回路とを１チップＩＣ２０に集積化して、前記ＩＣチップと前記水晶振動子とを一体化してなり、前記水晶振動子はＨ状とした容器本体３６の一方の凹部の内壁段部に水晶片の一端部が固着され、前記ＩＣチップは前記一方の凹部底面に固着されてなり、前記容器本体の他方の凹部底面には前記ＬＣ発振回路のインダクタ２８ａ２８ｂを形成するとともに、前記インダクタは前記ＬＣ発振回路の発振周波数を調整するプリントによるインダクタである。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片を高精度かつ容易にマウントすることができるだけでなく、耐久性を向上させることができる圧電振動子及びこれを備える電波時計、発振器並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 複数の圧電振動片２４，２５，２６とこれら複数の圧電振動片２４，２５，２６を囲む枠状部２９とが一体的に形成されてなる圧電振動子板２と、この圧電振動子板２を厚さ方向に挟む板状の蓋部材６及びベース部材７と、を備え、前記枠状部２９と前記蓋部材６、並びに、前記枠状部２９と前記ベース部材７とが、陽極接合されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型で、回路に組み込んで用いるときに生じる信号の干渉および損失を抑制することができるとともに、設計の自由度の高く、低コストで所望の共振周波数特性を得ることができる薄膜バルク音響波共振子を提供する。
【解決手段】 導体パターン膜２７は、共振子本体２３のＺ方向に設けられており、共振子本体２３と導体パターン膜とが圧電体薄膜３５の厚み方向に積層されることによって、導体パターン膜２７を設けても薄膜バルク音響波共振子２０を小型に形成することができる。導体パターン膜２７は共振子４０に直列または並列に接続されるので、導体パターン膜２７によって薄膜バルク音響波共振子２０のインピーダンスを変化させて直列共振周波数と並列共振周波数の差を調整することができるので設計の自由度が向上し、また外部素子を接続しないで、低コストでインピーダンスを調整することができ、信号の干渉および損失が抑制される。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した圧電振動片、及び圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】水晶振動片２の基板２１の両主面２２１，２２２に、それぞれ励振電極２３１，２３２が形成され、これらの励振電極２３１，２３１を外部電極と電気的に接続するために励振電極２３１，２３１から引き出された引き出し電極２４１，２４２が形成されている。これらの引き出し電極２４１，２４２の引き出し先端部２５１，２５２が一主面２２１の一側部２７近傍に引き出されている。これら引き出し先端部２５１，２５２の高さが他の部分の高さより厚く成形され、引き出し先端部２５１，２５２の他の部分より高く成形された高地部分２９１，２９２にベース３の電極パッドが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【目的】シーム溶接時の金属屑の飛散を防止して、振動特性を良好に維持した水晶振動子や水晶発振器の水晶デバイスを提供する。
【構成】金属リング４を開口端面に有する凹状とした容器本体１に少なくとも水晶片２を収容し、前記金属リング４に金属カバー３をシーム溶接によって接合してなる水晶デバイスにおいて、前記金属リング４の内側となる前記開口端面の内周に前記凹部を覆って前記シーム溶接時における金属屑の侵入を防止する遮蔽板１０を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイスのＩＣチップに電気的な悪影響を与えない状態で正規の周波数に調整することができる周波数調整用マスク及び圧電デバイスの周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 マスク２８は、アルミニウムからなるマスク基板４１の表面にフッ素樹脂コーティング４３が施されている。マスク２８には、圧電振動片１４及びＩＣチップ１５が配置された圧電デバイス１１が接して固定されている。マスク基板４１にフッ素樹脂コーティングが施されていることにより、圧電振動片１４に金属粒子１９を蒸着しながら所望の周波数に調整するとき、マスク２８と、マスク２８と接して固定されている圧電デバイス１１のＩＣチップ１５とが、電気的に絶縁された状態になっている。 （もっと読む）

【課題】 導電性樹脂接着剤の接着界面変化による音叉型圧電振動子の周波数変動を抑制することができるより信頼性の高い音叉型圧電振動子を提供する。
【解決手段】 音叉型圧電振動片２と、セラミック多層基板１と、蓋体とを具備し、前記音叉型圧電振動片が導電性樹脂接着剤によりセラミック多層基板に保持された状態で、セラミック多層基板に蓋体を被せて気密封止してなる音叉型圧電振動子であって、音叉型圧電振動片は、脚部主面の先端部に金属材料からなる周波数調整電極２３，２４が設けられてなり、セラミック多層基板は、有底の収納部と、音叉型圧電振動片を搭載する導電パッドと、セラミック多層基板に保持された音叉型圧電振動片の周波数調整電極の一部と対向する位置に、前記周波数調整電極より幅広でセラミック多層基板の素地が露出した一条の稜線部１１ｄが設けられてなる。 （もっと読む）

【課題】集積回路の支持部に接続され、そのアーキテクチャは最小限度の粗さをもち、共振周波数を調整する薄膜化ステップを可能ならしめるような音響共振器を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの相互接続平面部と、高音響インピーダンス材レイヤおよび低音響インピーダンス材レイヤを備える少なくとも１つの２層アセンブリを有する支持部および能動素子を備えた音響共振器と、を備える集積回路を本発明は提供する。該支持部は相互接続平面部の金属被覆平面部の上方に配置された突起素子を更に備え、これにより、相互接続平面部と音響共振器の能動素子との間に電気的接触が形成される。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片の周波数を調整するとき、圧電デバイスに電気的な悪影響を及ぼさずに、加工レートを高くして圧電振動片に金属膜を蒸着することができる、圧電デバイスの周波数調整方法、その方法を用いて製造された圧電デバイス、及び、その方法に用いられるマスクを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス１１の周波数調整方法は、圧電デバイス１１の圧電振動片１４の形状に合わせた開口孔３１を有するマスク２６を介して、圧電振動片１４のみに金属粒子１９を蒸着させて、周波数の調整を行う。詳しくは、周波数測定器２４を用いて圧電振動片１４の周波数を観測しながら、圧電振動片１４のみに蒸発させた金属粒子１９を蒸着させる。圧電振動片１４の周波数が所望の周波数に達したところで、圧電振動片１４への金属粒子１９の蒸着を停止する。 （もっと読む）

【課題】 気密封止後にレーザービームを用いた周波数調整が必要な圧電振動素子に用いられる透光性蓋材において、小径ビームによる圧電振動子の周波数調整が可能であり、また蓋材の破損や亀裂生成を防止できるような蓋材を提供することである。
【解決手段】 蓋材１を有する容器１２内へと圧電振動子２を収容し、蓋材１を通して圧電振動子２へとレーザービームＡ、Ｂを照射することによって、振動子２の振動周波数の調整を行うための蓋材１を提供する。蓋材１は多結晶セラミックスからなる。この多結晶セラミックスの平均結晶子径および最大気孔径がそれぞれレーザービームのビーム径の１／４以下であり、蓋材の表面気孔率が０．５％以下であり、蓋材のレーザービームの波長における直線透過率が４０％以上であり、蓋材の厚さがレーザービームのビーム径の１０倍以下、０．０５ｍｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子の振動を阻害することなく、周波数調整によって金属材料の一部が飛散したとしても、異極の励振電極の絶縁性を確実に確保でき、かつ圧電振動片の周波数調整効率を低下させることないより信頼性の高い圧電振動片、圧電振動片を備えた圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 金属材料からなる電極の質量が増減されることで周波数が調整されてなる調整電極２５，２６と、当該調整電極から無電極領域２１２，２２２を介して、前記調整電極と異極に構成された励振電極２３１，２４１とを具備しており、前記無電極領域と前記励振電極の上部に絶縁膜３が形成され、前記無電極領域と励振電極の境界部を含む無電極領域の近傍の絶縁膜が他の領域より厚膜に形成した。 （もっと読む）

【課題】 素子機能のバラつきを極力少なくし、歩留まりを向上させ、コスト低下を実現できる共振周波数可変共振子を提供する。
【解決手段】 固定電極１と、固定電極に対し間隔をおいて対向配置された可動電極３と、間隔をおいて対向配置され、予め全て外側または全て内側に撓ませた複数枚の導電機能を有する板ばね２からなり、各板ばねの一方の端部は前記固定電極と一体化され、各板ばねの他方の端部は前記可動電極と一体化されたばね部材と、中央部が前記可動電極に固着され、端部が第２の固定電極４−１、第３の固定電極４−２に固着されている導電性の板ばね５、前記可動電極を押し引きして前記板ばね２を変形させるアクチュエータ６とを備えたことを特徴とする共振周波数可変共振子。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の共振周波数を高い精度で微調整することができ、良好かつ安定な共振特性を得ることができる圧電薄膜振動子及びその共振周波数調整方法を提供すること。
【解決手段】基板１１と、圧電体薄膜１６と、一対の電極１５、１７と、最上層部に共振周波数を調整するように形成された粒径数ｎｍから数十ｎｍの超微粒子からなる超微粒子層３１とを備えた圧電薄膜振動子であり、また最上層部に超微粒子を漸増しつつ堆積することにより、共振周波数を微小単位で精度よく調整するようにしたので、共振周波数を正確に合わせ込むことができ、良好かつ安定な共振特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】共振エネルギーの共振器外への分散を抑えた、品質係数の高い音響共振器を提供する。
【解決手段】基板、前記基板に隣接しかつ外側周辺を有する第１の電極、前記第１の電極に隣接する圧電層、前記圧電層に隣接しかつ外側周辺を有する第２の電極を備えている音響共振器において、前記第１の電極および前記第２の電極の一方の周辺に、音響インピーダンスが異なる領域を交互に配列させた縁部領域もしくは枠を形成する。例えば、突出もしくは突入する部分を、リフトオフ法により電極に形成する。 （もっと読む）

【課題】 パッケージと蓋体とを環境汚染のおそれなく封止し、しかも周波数を精密に調整できて、ＣＩ値の上昇を防止できる構造の圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 ベース基体３１と、圧電振動片３２と、ガラス製の蓋体４８とを備える圧電デバイスであって、前記ベース基体またはベース基体を含むパッケージには、前記蓋体との接合箇所に金を含む金属膜が形成されており、前記蓋体の接合面には、接合後に前記圧電振動片に設けた周波数調整用の金属膜に対応する位置４９を除くようにして、接合用の蓋側金属膜が形成されていて、前記ベース基体またはベース基体を含むパッケージの前記金属膜と、前記蓋体の前記蓋側金属膜とを金錫合金による封止用金属を溶融させて接合封止されており、さらに、前記ベース基体３１またはパッケージは、封止用の貫通孔４３を備えており、該封止用の貫通孔４３は充填材により孔封止されている。 （もっと読む）

【課題】 重り材料のＡｇと下地金属のＡｕとの金属間拡散の影響を受けにくい重りの構造を有する圧電振動子を提供すること。
【解決手段】 励振電極が形成された一対の振動部分を有する音叉型の圧電振動片と、
前記振動部分の表面に形成され、表面が金で構成された下地金属と、前記振動部分の両側の面の下地金属上に同一の膜構造を有するように形成された周波数調整用重り部と、前記圧電振動片を封入する密閉容器と、前記励振電極と接続し前記密閉容器の外部に形成された外部電極と、を具備した圧電振動子とし、重り材料と下地金属との間に金属間拡散が生じても、振動部分の表裏面で重心移動がキャンセルされる。 （もっと読む）

音叉型振動子の圧電振動片には、基部と複数の脚部とが備えられている。各脚部には、表裏主面と両側面で極の異なる励振電極が形成され、両側面の励振電極がお互いに共通接続されている。また、圧電振動片の各脚部の先端部に周波数調整するための金属膜が形成され、ビーム照射によって先端部の側面もしくは先端面の少なくとも一面に形成した金属膜を除去することにより周波数調整を行う。
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