【課題】屈曲振動子、その製造方法、屈曲振動デバイスを提供する。
【解決手段】基部２８と、前記基部２８から延出した振動腕３０と、前記振動腕３０に設けられた励振電極４６と、を備えた屈曲振動片１２と、前記基部２８の一面と接着して前記屈曲振動片１２が実装される実装基板１４と、前記振動腕３０の実装基板１４側の面に設けられた第１の溝４２と、前記振動腕３０の実装基板１４側とは反対の面に設けられた第２の溝４４と、を有し、前記第１の溝４２は、前記第２の溝４４より前記基部２８側に設けてなる。 （もっと読む）

【課題】樹脂封止による耐衝撃性や防水特性を確保しつつ、放熱特性を向上させることができる表面実装水晶発振器を提供する。
【解決手段】本発明の表面実装水晶発振器は、凹部１３、１４が形成された容器本体１と、容器本体１の凹部１３内に収納された水晶片３と、水晶片３と電気的に接続され、かつ凹部１４内に収納されたＩＣチップ２とを有する。凹部１４内のＩＣチップ２は封止樹脂２０により密封封止されており、封止樹脂２０の表面にはＩＣチップ２で生じた熱を外部に放熱するための放熱部材２１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】外周部に主振動である厚みすべり振動が伝播することを抑制する構造を有する水晶振動片、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＡＴカット水晶振動片１０は、ＡＴカットされた水晶基材の両主面の相対向する位置に、平面視で矩形状を呈する凸部５Ａ，５Ｂが形成された所謂メサ構造を有している。各凸部５Ａ，５Ｂ上には励振電極１５Ａ，１５Ｂがそれぞれ設けられ、水晶基材１の薄肉の外周部の外周面６Ａ，６Ｂの一端側近傍には、電極間配線１６Ａ，１６Ｂによりそれぞれ対応した励振電極１５Ａ，１５Ｂに接続された外部接続電極１７Ａ，１７Ｂが設けられている。凸部５Ａ，５Ｂの外周には、外周面６Ａ，６Ｂ上および凸部５Ａ，５Ｂそれぞれの側壁に凸部５Ａ，５Ｂよりも厚みを少なくして形成された段部２５Ａ，２５Ｂが各凸部５Ａ，５Ｂの外周を縁取るように設けられている。 （もっと読む）

【課題】表面実装型パッケージ構造の音叉型圧電振動子において、その小型薄型化及び落下等に対する耐衝撃性の向上を図りつつ周波数を高精度に調整する。
【解決手段】音叉型圧電振動子は、実装面の電極パッド１６上に音叉型水晶振動片１２を基端部１２ａで導電性接着剤１７により片持ち式にマウントする絶縁材料の箱形のベース部分１０と透明な薄板の蓋部分１１とからなるパッケージを備える。ベース部分の実装面は、水晶振動片の振動腕の自由端部１２ｂに隣接する部分に形成した凹部１８を有する。振動腕は自由端部に金属の重り部を有し、パッケージの封止後に蓋部分を透過させてレーザー光を照射し、金属重り部を溶融除去して圧電振動片の周波数を調整すると、飛散した金属の多くが実装面の凹部内に付着する。 （もっと読む）

【課題】 周波数の調節精度を向上させる高周波数の圧電振動子に適する圧電振動板と、高周波数の圧電振動子と、それらの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電振動板（２０）は、励振部（２１）と、励振部の厚みより厚くて、励振部と一体に形成された補強部（２２）と、励振部の表裏面に形成された励振電極（２３、２６）と、励振電極から補強部の表裏面に渡って形成された引出電極（２４、２７）とを含むものであって、補強部の少なくとも一面で形成されて、引出電極の間で誘電体を挟んでなる負荷容量部（２９）を更に備える。 （もっと読む）

【課題】堅牢化および機械的品質係数の向上を図れるＢＡＷ共振装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板１の一表面側に、下部電極３１と上部電極３３との間に圧電層３２を有する複数個の共振子３が形成され、支持基板１に、各共振子３の下部電極３１における支持基板１側の表面を露出させる開孔部（空洞）１ａが形成されている。また、下部電極３１における圧電層３２側とは反対側の表面に、下部電極３１を補強する金属材料（例えば、Ｃｕ、Ａｌなど）からなる補強部５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子及びベアチップＩＣを共に気密裡に封止し、加熱工程が少なく、ベ
アチップＩＣ保護用のポッティング剤を必要しない圧電デバイスの製造方法を得る。
【解決手段】ベアチップＩＣ１２を収容した第２パッケージ本体１１の凹所に、水晶振動
素子３を実装した第１パッケージ本体１の底部を嵌め込む。第１パッケージ本体１の底部
と、第２パッケージ本体１１に塗布したガラス封止材２１とが接し、第１パッケージ本体
１の電極７ａ〜７ｄと、第２パッケージ本体１１の電極２０ａ〜２０ｄとが導電性のポリ
イミド系樹脂を介して接する。 （もっと読む）

【課題】 搭載される圧電振動素子の破損を防ぎ、また、圧電振動素子に設けられる金属材料の剥がれを防ぐ。
【解決手段】 圧電片に励振電極を設けた圧電振動素子を搭載する容器体において、前記容器体は、前記圧電振動素子を搭載する位置より低い位置が底面となる凹部を有し、この凹部に前記圧電振動素子と接触しない高さの衝撃吸収部が設けられ、前記衝撃吸収部は、前記圧電振動素子の自由端となる位置から固定端側に寄った位置に設けられており、前記圧電振動素子の自由端が前記凹部を構成する面に接触しない位置に前記衝撃吸収部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】共振特性の低下を抑制しつつ堅牢化が可能なＢＡＷ共振装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】平面視において共振子３を取り囲んで形成された絶縁層４が支持基板１に支持されるとともに、支持基板１に、共振子３の下部電極３１および絶縁層４における支持基板１側の表面を露出させる空洞１ａが形成されてなり、支持基板１の上記一表面側において上部電極３３における支持基板１側とは反対側の表面に形成された音響ミラー層２が、絶縁層４のうち支持基板１の上記一表面における空洞１ａの周部に重なる領域の支持基板１側とは反対側の表面上まで延設されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動周波数の調整範囲を拡大することを目的としている。
【解決手段】基部１６及び基部１６から基部１６の厚み方向に交差する方向に並んで延びる複数の腕部１８を含む基材１０であって、それぞれの腕部１８は、隣の腕部１８に対向する第１の側面１３及び第１の側面１３とは反対側を向く第２の側面１５を有し、第１及び第２の側面１３，１５の少なくとも一方が露出している露出領域３０を有する基材１０を用意する。露出領域３０をエッチングする。エッチングによって腕部１８の幅を減らして、複数の腕部１８の幅方向に関する曲げ剛性を低くする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出振動片の離調周波数の調整範囲を拡大することを目的としている。
【解決手段】相互に反対を向いて厚みを定義する第１及び第２の表面１２，１４を有し、基部１６及び基部１６から厚み方向に交差する方向に延びる少なくとも１つの腕部１８を含む支持体１０であって、腕部１８の第１の表面１２に、駆動用圧電積層体７０及び検出用圧電積層体８０が形成され、腕部１８に、第２の表面１４が露出している露出領域３０を有する支持体１０を用意する。第２の表面１４の露出領域３０をエッチングする。駆動用圧電積層体７０及び検出用圧電積層体８０のそれぞれは、下部電極膜２２，８２と、下部電極膜２２，８２上に形成された圧電膜２４，８４と、圧電膜２４，８４上に形成された上部電極膜２６，８６と、を含む。エッチングによって厚みを減らして、腕部１８の厚み方向に関する曲げ剛性を低くする。 （もっと読む）

【課題】先端部の側面に対して金属膜除去を行なわずに発振周波数の調整を行う。
【解決手段】水晶振動片３の周波数調整方法は、水晶振動片３を複数形成したウエハ６において発振周波数の調整を行うことである。ここでいう水晶振動片３には、基部３１と、基部３１から突出した２本の脚部３２，３３とが設けられている。この水晶振動片３の周波数調整方法では、水晶振動片３の脚部３２，３３の先端部３７の側面３４に金属膜５を形成して、複数の水晶振動片３を形成したウエハ６における発振周波数のシフト調整を行うシフト調整工程と、水晶振動片３の脚部３２，３３の先端部３７の主面３５に金属膜５を形成し、形成した金属膜５を金属膜除去手段により所望の量だけ除去して、ウエハ６における複数の水晶振動片３の発振周波数のバラツキを調整するバラツキ調整工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の共振子に共通する振動空間を提供するキャビティを有する共振子フィルタにおいて、構造上の強度を確保するとともに、挿入損失を低減できる共振子構造を有する共振子フィルタを提供する。
【解決手段】共振子フィルタは、複数の積層共振体８１，８２，８３，８４，８５，８６の振動空間を提供するキャビティ２１を有する。積層共振体８２，８３を電気的に接続する配線電極９０は、積層共振体８２の上部電極の最大径Ｌ１と、積層共振体８３の上部電極の最大径Ｌ２とを直線的に結線する配線構造を有する。 （もっと読む）

【課題】音叉型圧電振動子の小型化、薄型化と高精度の周波数調整とを可能にする。
【解決手段】音叉型水晶振動片１２の実装面に電極パッド１６を有し、音叉の腕の先端１２ｂに隣接する実装面の部分に凹部１８を有するベース部分１０を形成し、該水晶振動片を基端部１２ａで電極パッド上に導電性接着剤１７により片持ち式にマウントし、該ベース部分の上に透明薄板の蓋部分１１を気密に接合した後、蓋部分の外側からレーザ光を照射して、音叉の腕の先端に予め形成した重り部の金属材料を溶融削除し、周波数を調整することによって、パッケージ内部に音叉型圧電振動片を気密に封止した圧電振動子を製造する。 （もっと読む）

【課題】横波のエネルギー散逸を防止しながら従来例より電気機械結合係数の低下、および定在波モードの増大を抑圧した圧電薄膜共振器を実現する。
【解決手段】基板１４と、基板１４上に配され、一部が互いに対向するように配置された上部電極１１及び下部電極１２と、上部電極１１と下部電極１２との間に配された圧電膜１３とを備えた圧電薄膜共振器であって、上部電極１１上に配された質量体１６を備え、質量体１６は、上部電極１１における下部電極１２に対向する領域の端部の一部に配されている。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの外形精度に関係なく、高品質な圧電振動片を効率良く製造すること。
【解決手段】 ウエハＳを利用して圧電振動片を一度に複数製造する方法であって、ウエハをフォトリソ技術によってエッチングして、貫通孔４０を２つ以上形成すると共に、これら貫通孔の中心を基準点Ｇとして複数の圧電板１０の外形形状を貫通孔と同時に形成する工程と、平板部上から貫通孔と同じ数だけ突出するように形成された挿入ピンを有するウエハ用治具を用意した後、貫通孔内に挿入ピンを挿入させた状態でウエハを平板部上に載置する工程と、複数の圧電板の外表面上に電極を形成する工程と、複数の圧電板をウエハから切り離して小片化する工程と、を備え、電極形成工程及び切断工程の際、貫通孔の中心を基準点としてウエハに対する位置合わせ行う圧電振動片の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 キャビティ内の気密を確実に維持すると共に、圧電振動片と外部電極との安定した導通性を確保すること。
【解決手段】 ベース基板２と、キャビティ用の凹部３ａが形成され、凹部をベース基板に対向させた状態でベース基板に接合されたリッド基板３と、両基板間に形成されたキャビティ内で、ベース基板の上面に接合された圧電振動片４と、ベース基板の下面に形成された一対の外部電極３８、３９と、ベース基板を貫通するように形成され、一対の外部電極にそれぞれ電気的に接続された一対の貫通電極３２、３３と、ベース基板の上面に形成され、圧電振動片に一対の貫通電極をそれぞれ電気的に接続させる引き回し電極３６、３７と、を備え、貫通電極が、貫通孔３０、３１の内面に成膜された電極膜３２ａ、３３ａと、貫通孔を塞ぐように、電極膜を間に挟んで貫通孔の内面に固着されたガラス体３２ｂ、３３ｂと、で形成される圧電振動子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片のサイズに影響されずに、周波数調整を容易且つ正確に、しかも効率良く行うと共に、低コスト化及びメンテナンス性の向上化を図る。
【解決手段】 圧電板１１と、一対の励振電極１２、１３と、一対のマウント電極１５、１６と、を有する圧電振動片を、ウエハＳを利用して製造する方法であって、ウエハにフレーム部Ｓ１を形成すると共に、該フレーム部に複数の圧電板が連結部１１ａを介して連結されるように形成する外形形成工程と、複数の圧電板に一対の励振電極及び一対のマウント電極をそれぞれ形成すると共に、連結部を通じて複数の一方のマウント電極１５にそれぞれ電気的に接続された共通電極Ｓ２をフレーム部上に形成する電極形成工程と、共通電極と他方のマウント電極１６との間に駆動電圧を印加して、圧電板の周波数を調整する周波数調整工程と、複数の圧電板を小片化する切断工程と、を備える圧電振動片の製造方法を提供すること。 （もっと読む）

【課題】 研磨工程において、ウエハに割れや欠けといった破損が生じてしまうのを防止したキャリアと、このキャリアを用いてなる研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】 ウエハＳの両面を研磨して、ウエハＳの厚みを所定の厚みに調整するウエハ研磨装置において、ウエハＳを収容し保持するためのキャリア４１である。ウエハＳを収容する、開口形状が略角形状の保持孔４１ｂを有している。保持孔４１ｂの角部には、角部を形成する二本の直線部Ｌ１、Ｌ２の交点Ｐとその近傍において、保持孔４１ｂの内側に向かって凹形状となる第１湾曲部４１ｃが形成され、第１湾曲部４１ｃの両側には、それぞれ対応する直線部より保持孔４１ｂの内側に膨出することなく、保持孔４１ｂの内側に向かって凸形状となる第２湾曲部４１ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ベース基板用ウエハとリッド基板用ウエハとを全面に亘って均一に接合することができ、キャビティ内を確実に封止したうえで、スルーホールを利用して外部電極と圧電振動片との導通を図ることができる圧電振動子を効率良く製造すること。
【解決手段】 ベース基板用ウエハを貫通するスルーホール３５、３６をキャビティＣ用の凹部の外側に開口が開くように形成する工程と、ベース基板用ウエハの上面に、凹部の周囲を囲む接合層３０と、凹部内に収まる一対のマウント層と、接合層と一対のマウント層とを電気的に繋げる一対の引き出し電極層３３、３４と、を同一の導電性材料によりパターニングする工程と、両ウエハを陽極接合した後、スルーホール３６の開口と接合層との間における引き出し電極層３４の一部（Ｓ２領域）に対してレーザ光を照射して引き出し電極層３４を途中で分断する工程と、を備えている圧電振動子１の製造方法を提供する。 （もっと読む）