【課題】周波数調整における結合係数の劣化を低減した圧電フィルタを提供する。
【解決手段】圧電体１の両主面上に第１電極と第２電極を備えて第１の圧電振動子を形成し、第３電極と第４電極を備えて第２の圧電振動子を形成する。第１の圧電振動子の周波数を調整するため、第１電極と第２電極の最表面上には、第１負荷膜と第２負荷膜が形成され、第２の圧電振動子の周波数を調整するため、第３電極と第４電極の最表面上には、第３負荷膜と第４負荷膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数を大きくすることが可能な共振装置を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された音響ミラー２と、音響ミラー２上に形成された共振子３とを備えたＢＡＷ共振器であり、共振子３が、支持基板１の上記一表面側において音響ミラー２上に形成された下部電極（主電極）３１と、下部電極３１上に形成された圧電層３２と、圧電層３２上に形成され下部電極３１と対をなす上部電極（主電極）３３と、支持基板１の厚み方向に直交する方向において圧電層３２を挟む形で形成された一対の補助電極３４，３５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】温度特性が良好で、周波数精度及び励振効率が共に高く、かつ低コストな圧電振動装置を提供する。
【解決手段】圧電振動装置１は、基板１０、圧電薄膜２３、上部電極２４、下部電極２５、温度補償用絶縁膜２６，２７及び支持部３０とを備えている。温度補償用絶縁膜２６，２７は、圧電薄膜２３、上部電極２４及び下部電極２５と共に圧電振動部２０を構成している。圧電振動部２０は、基板１０に対してギャップを隔てて浮かされた状態で支持部３０により支持されている。圧電振動装置１は、圧電振動部２０の輪郭振動モードを利用している。圧電振動部２０は、圧電駆動部２１と、圧電薄膜２３が形成されていない圧電被駆動部２２とを含む。圧電被駆動部２２は、輪郭振動モードにおける振動の腹部を含む圧電振動部２０の一部に形成されている。温度補償用絶縁膜２６，２７の面積は、圧電薄膜２３の面積よりも大きくされている。 （もっと読む）

【課題】共振子のＱ値を向上させることが可能で且つ上部電極の形成のためのプロセス設計の自由度が高い共振装置の製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板１１の上記一表面側に音響ミラー１２を形成し（図１（ａ））、支持基板１１と音響ミラー１２とからなるベース基板１上に、下部電極３１を形成してから、下部電極３１上にＰＺＴ層からなる圧電層３２を形成し（図１（ｂ））、その後、上部電極３３を形成する（図１（ｄ））。上部電極３３の形成にあたっては、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側の全面に金属材料（例えば、Ｔａなど）からなる金属膜３３ａを形成する金属膜形成工程を行い、その後、金属膜３３ａをパターニングするパターニング工程を行い（図１（ｃ））、その後、金属膜３３ａの表面側を硬化させる表面処理工程を行うことで高硬度部３３ｂを形成する（図１（ｄ））。 （もっと読む）

【課題】 コストを低減し、且つ周波数の安定した圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電体ウエハから目標振動周波数を有する圧電振動片を形成する圧電振動片の製造方法は、圧電振動片の外形を形成し目標振動周波数よりも高い周波数に外形形成工程（Ｓ１１２）と、外形形成された圧電振動片の表面に第１の電極膜を成膜する第１金属膜成膜工程（Ｓ１２０）と、第１振動周波数になるように第１の電極膜の厚さを調整する第１金属膜厚さ調整工程（Ｓ１２２）と、調整した第１の電極膜上に第２の電極膜を成膜し、圧電振動片を第２振動周波数にする第２金属膜成膜工程（Ｓ１３２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】その目的は圧電体薄膜パターンの形成時にドライエッチングに起因する下部電極のダメージを防止できる薄膜圧電共振器の製造方法を提供すること。
【解決手段】前記基板の表面に金属からなる下部電極のパターンを形成した後、この下部電極のパターンの表面であって、前記圧電体薄膜により被覆されない領域を含む領域に前記下部電極とは異なる材質のエッチングストップ層を形成する。このエッチングストップ層は、圧電体薄膜をエッチングして除去したときに下部電極を保護することができるように前記プラズマ中のエッチャントに対して耐エッチング性が大きい材質からなる。従って、ドライエッチング用の反応性ガスをプラズマ化し、このプラズマにより圧電体薄膜をエッチングして圧電体薄膜のパターンを形成する際に、下部電極がプラズマによりエッチングされるおそれがない。 （もっと読む）

【課題】高周波化に伴う小型化と広帯域化を両立させ、信頼性を維持して生産性を高めた表面実装用水晶フィルタを提供する。
【解決手段】一主面に入出力電極４ａ及び４ｂを他主面に共通電極５を形成した水晶片１と、前記水晶片１を収容する凹部を有した容器本体２と、前記容器本体２を封止するカバー３とを備え、前記入出力電極４ａ及び４ｂの間隙部と対向する前記共通電極５の中央部には周辺部よりも高さの高い周波数調整体を有する表面実装用水晶フィルタにおいて、前記周波数調整体は少なくとも前記水晶片１が前記容器本体２に収容される以前の前記入出力電極４ａ、４ｂ及び共通電極５の形成時に形成された負荷電極７を有した構成とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は圧電振動子の厚みを増さずに、小型化が進んでも印字が行える圧電振動子及び製造方法を提供すること。
【解決手段】
上記目的の達成の為に本発明は、一方の主面に開口部を有する凹部が形成された平板状のガラスまたは水晶からなる蓋体と、平板状のガラスまたは水晶からなるべース基板と、該べース基板の一方の主面に形成された接続配線と、該ベース基板の該接続配線が形成されている同じ主面の周縁部全周にわたる部分で該蓋体と該ベース基板とを陽極接合で接合させる陽極接合用金属膜と、該接続配線上に塗布された導電性接着剤と、該接続配線上に該導電性接着剤を介して搭載された圧電振動素子と、該蓋体の該凹部内底面部全面にレーザーマーキングで印字可能なレーザーマーキング用金属膜を備え構成されていることを特徴とする圧電振動子及び製造方法で課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、構成素子（１）の取付が、応力を低減して実施される、構成素子に関する。構成素子（１）は、膜（４）上に載置され得、またはバネ要素（２）によって担持され得る。膜（４）又はバネ要素（２）は、膜（４）によって部分的に橋架された窪み（６）または開口（７）の上に設置される。膜（４）は、構成素子（１）の弾性係数または基板（３）の弾性係数以下である弾性係数を有することが好ましい。構成素子（１）は、２つの側面で全体的にまたは部分的に、金属電極（１０）で平面状に覆われ得る。 （もっと読む）

【課題】エッジモード圧電振動片の周波数を有効に調整する。
【解決手段】エッジモード水晶振動片２１の励振電極２４ａ，２４ｂを形成した長手方向端部２３側の、表面に誘起電荷が生じる振動領域の略全面に、水晶よりも質量密度が大きいＡｕ等の金属膜２８，２９からなる錘部を励振電極及び配線２６ａ，２６ｂから電気的に分離させて形成する。水晶素子片２２は、金属膜により振動領域における見掛け上の質量密度が増大し、水晶振動片２１の周波数が低い方向に変動する。金属膜の膜厚を制御し又は金属膜をレーザ照射により部分的に削除することにより、水晶振動片の励振効率を変化／劣化させることなく、その周波数を調整できる。金属膜は、励振電極等のパターニングと同時に又はそれとは別に形成される。 （もっと読む）

【課題】共振特性を改善することが可能な圧電薄膜共振器およびそれを用いたフィルタを提供すること。
【手段】本発明は、基板１０上に設けられた下部電極１２と、基板１０上および下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、圧電膜１４を挟み下部電極１２と対向する部分を有するように圧電膜１４上に設けられた上部電極１６と、下部電極１２と上部電極１６とが対向する部分の下部電極１２の少なくとも一部の外周の基板１０上に、下部電極１２に沿って設けられた付加膜２２と、を具備する圧電薄膜共振器およびそれを用いたフィルタである。 （もっと読む）

【課題】共振特性の優れた薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】キャビティが設けられた基板と、前記キャビティを覆うように前記基板上に設けられた下部電極と、前記下部電極の上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜の上に設けられた上部電極と、前記上部電極の上に設けられた質量負荷部と、を備え、前記質量負荷部は、前記キャビティの縁の直上を跨ぐように設けられていること、を特徴とする薄膜圧電共振器が提供される。 （もっと読む）

【課題】不要振動である横モード振動を抑止する音響共振子構造およびそれを用いた電気フィルタを提供する。
【解決手段】圧電共振子の一種である薄膜バルク音響共振子（ＦＢＡＲ）において、共振子２００は、基板２０５に形成された空洞２０８上に下側電極２０７、圧電素子２０６、上側電極２０１が順次積層されており、下側電極２０７と上側電極２０１は、実質的に同じ形状と寸法を有し、下側電極２０７と上側電極２０１のオーバーラップ領域は、共振子２００の作用領域を画定し、上側電極２０１と上側接続部２０３の界面に、上側電極２０１と上側接続部２０３の間の音響インピーダンス不整合をもたらすフレーム素子２０４を配置した構造とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電体から成る枠体を蓋体およびベースとで接合した後においても特性調整を行うことができる圧電振動デバイスと、その製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 基部３１ｂと、当該基部から延出した複数の腕部３１ａとを有する音叉型圧電振動片３１と、当該基部と接続し、かつ前記圧電振動片３１を囲う囲繞体３２とで構成される枠体３の両面に蓋体２とベース４とが接合される水晶振動子１において、前記囲繞体３２または前記音叉型圧電振動片３１の少なくとも一方の側面に、水晶振動子１の特性調整用金属膜６が形成され、前記枠体３と前記蓋体２およびベース４との接合後に、レーザー等で前記金属膜６の質量または面積を減少させることによって特性調整を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スプリアスの発生を抑制した表面実装デバイスの提供。
【解決手段】励振電極５を上下面に有する水晶片２を少なくとも容器本体１内に収容して、前記上面の励振電極５ａを切削して振動周波数を調整した後、カバー３を被せて密閉封入してなる表面実装用の水晶デバイスにおいて、前記容器本体１は内壁に段部を有する凹状とし、前記段部に前記水晶片の外周部を固着してなり、前記水晶片２の下方にレーザを反射して前記励振電極５に照射する光反射体８を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、透明体を、割れが生じないように取り付けることにある。
【解決手段】圧電振動子は、圧電振動片１とパッケージ６０を含む。パッケージ６０は、圧電振動片１が固定される底部６２と、底部６２を囲む枠壁部６４と、を含み、底部６２の上方に開口を有する。蓋１００が、底部６２及び枠壁部６４とオーバーラップしてパッケージ６０の開口を塞いで枠壁部６４に接合されている。蓋１００は、枠体１１０と、枠体１１０の内側に取り付けられて上面が凹レンズ面になるように形成された透明体１２０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、蓋の割れ・クラックを防止し、小さな幅で蓋とパッケージを接合し、ろう材の拡がりを防止することにある。
【解決手段】圧電振動子は、圧電振動片１が固定される底部６２と、底部６２を囲む枠壁部６４と、を含み、底部６２の上方に開口を有するパッケージ６０を有する。蓋７２が、底部６２及び枠壁部６４とオーバーラップしてパッケージ６０の開口を塞ぐ。ろう材７８が、枠壁部６４の上端面６６と蓋７２の間に介在して枠壁部６４及び蓋７２を接合する。上端面６６は、金属から形成されている。蓋７２は、上端面６６との対向領域８２の少なくとも一部が金属から形成され、少なくとも対向領域８２の内側の封止空間側に、酸化物又は有機物からなる面及び金属からなる枠状の凸面又は凹面の少なくともいずれか一つの面からなる、溶融したろう材７８の濡れ拡がりを妨げる濡れ防止領域８０が形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】 ２本のリード端子を有する気密端子を、高品質で歩留まり良く、しかも小型化を図りながら効率良く製造すること。
【解決手段】 導電性材料からなるベース基板を加工して、所定の間隔Ｘを空けて平行に配された一対の平板部２１が両端で繋がった枠部２２を形成する枠部形成工程と、枠部の所定位置に充填材１２を介してステム１０を装着するステム装着工程と、枠部の一端側を切断して一対の平板部の繋がりを切り離し、各平板部の一端側をインナーリードとする第１切断工程と、枠部に対して所定の金属膜を被膜させる被膜工程と、枠部の他端側を切断して一対の平板部の繋がりを切り離し、各平板部の他端側をアウターリードとすると共に、一対の平板部をリード端子として機能させる第２切断工程とを行う気密端子の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板と圧電薄膜との間に絶縁部を必須の構成として設けずに圧電薄膜デバイスの低背化を図る。
【解決手段】圧電振動共振子１には、絶縁性材料からなる基板２と、基板２上に形成された圧電薄膜３と、基板２上に形成されるとともに圧電薄膜３の表裏面３１，３２に対向して形成された上下電極４１，４２とが設けられ、下電極４２が基板２と圧電薄膜３との間に介在される。下電極４２は、上電極４１と圧電薄膜３を挟んで対向する励振電極部４２１と、外部と電気的接続を行う接続電極部４２２とから構成されている。基板２にはキャビティ２３が形成され、キャビティ２３内で下電極４２の励振電極部４２１が露出して配される。下電極４２の励振電極部４２１のうち、少なくともキャビティ２３から露出される部位に、発振周波数調整を行う調整部５１が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、高周波数帯域において低損失且つ高Ｑ値のマイクロ波フィルタ及び高Ｑ値の高周波振動子を提供する。
【解決手段】 Ｑ値の高い同一の水晶基板１上に振動子２とバンドパスフィルタ３とを設け、振動子２の高次オーバトーンを利用して、振動子２の出力端子に接続するバンドパスフィルタ３のマイクロストリップライン４のオーバーラップ部分の長さを、所望の通過周波数のλg／４の電気長となるよう形成したマイクロ波フィルタ及び高周波振動子である。 （もっと読む）