【課題】発明は、ディスプレイ又は半導体の製造工程中に低圧工程チャンバで発生する汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】本発明に係る汚染物質除去用プラズマ反応器２１０は、互いに距離をおいて位置する第１接地電極２１及び第２接地電極２２と、第１接地電極２１と第２接地電極２２との間に固定される誘電体３０と、第１接地電極２１及び第２接地電極２２と距離をおいて誘電体３０の外面に位置して交流電源部４０と連結し、これから駆動電圧の印加を受ける少なくとも１つの駆動電極５０とを備える。 （もっと読む）

下水汚泥の濃縮‐脱水および好気的空気乾燥を統合する方法は、以下の、（ａ）有機試剤によって調整する工程（３）、（ｂ）有機試剤によって調整される残余汚泥を重力濃縮する工程（５）、（ｃ）無機試剤によって調整する工程（７）、（ｄ）機械的に脱水する工程（８）、（ｅ）破砕および分散する工程（１０）、および（ｆ）好気的に空気乾燥する工程（１１）、を含む。この方法は以下の利点を有する。（ｉ）残余汚泥の沈降性能を向上させ、その結果、汚泥の濃縮効率を向上させて濃縮時間を減らし、かつ、濃縮プールの容積を減らす。（ｉｉ）脱水された汚泥の量を相応に減少し、その結果、その後の熱処理量が減る。（ｉｉｉ）乾燥のためのより少ないエネルギー消費量を有する。（ｉｖ）乾燥プロセスの間、汚泥粒子は遅い速度で動き、その結果、ちりを生じずに安定且つ安全に製造される。（ｖ）水で洗浄した後の乾燥した排気は、環境に優しい排出基準に達することができる。（ｖｉ）生産される汚泥粒子は圧縮されておらず、再生利用に好ましい。
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システム内で溶液から汚染物を除去して溶液を再生するための方法及びシステム(100)を提供する。該方法は、洗浄容器(160)からの溶液(165)をストリッピング塔(181)に提供し、前記溶液(165)は、洗浄容器(160)に存在する煙道ガスストリーム(150)から除去された汚染物を含むものであり及びストリッピング塔(181)内で、溶液をスチーム(185)と接触させ、これによって、溶液から汚染物を除去し、溶液を再生することを含んでなる。ストリッピング塔(181)は700 KPa以下の圧力で作動される。 （もっと読む）

【課題】滅菌装置等から導出された排ガス中の窒素酸化物を簡単な構成で効果的に除去することができる排ガス浄化装置を提供する。
【解決手段】高濃度の窒素酸化物を含むガスを使用して所定の処理を行う処理装置１の排ガスを浄化する排ガス浄化装置５０であって、還元ガスを供給する還元ガス供給部５３と、当該還元ガス供給部５３から供給された還元ガスをプラズマ化するとともに、前記処理装置１から導出された排ガス中の窒素酸化物と反応させることにより窒素酸化物を還元して無害化するプラズマ反応部（プラズマノズル３１）とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程から排出される排ガス中に含まれるヒドラジン誘導体を効果的に除害処理することができる排ガス処理方法及び除害剤を提供する排ガス処理方法及び除害剤を提供する。
【解決手段】ヒドラジン又はヒドラジン誘導体を含む排ガスを、酸化鉄(III)を反応主成分とする除害剤に接触させる。特に、有機金属化合物、アミン化合物、揮発性無機水素化物のいずれか少なくとも一種を含む排ガスを前記除害剤に最初に接触させてヒドラジン又はヒドラジン誘導体を除害処理することにより、排ガスに含まれる有機金属化合物、アミン化合物、揮発性無機水素化物の除害処理を確実に行える。 （もっと読む）

【課題】脱硝反応の高効率化に要する量のアンモニアを効率的に吸着部に供給することができる排ガス供給システムを提供することを目的とする。
【解決手段】脱離塔５から排出された脱離ガスの洗浄排水Ｗａからアンモニアを回収可能となるように、中和タンク４５では洗浄排水Ｗａをアルカリ側にｐＨ調整し、さらに、ＮＨ_３放散塔４７，４８ではｐＨ調整後の洗浄排水Ｗａが気液接触層５５を透過する際に、脱却空気Ａｉｒに接触し、洗浄排水Ｗａ中のアンモニアは脱却空気Ａｉｒに取り込まれて除去される。また、ＮＨ_３放散塔４７，４８で回収されたアンモニアは、アンモニア返送ライン２３によって吸着反応塔３へ戻される。従って、ＮＨ_３放散塔４７，４８で回収されたアンモニアを吸着反応塔３での脱硝反応に要するアンモニアとして利用することができ、脱硝反応の高効率化に要する量のアンモニアを効率的に吸着反応塔３に供給することができる。 （もっと読む）

【課題】エネルギーコストを削減することができるガス処理装置とする。
【解決手段】ガスＧ１中の被処理物質を吸着剤Ｃに吸着させる吸着系と、吸着剤Ｃから被処理物質を脱着させる脱着系とを有するガス処理装置であって、吸着系として、ガスＧ１が流されるガス路Ｘ１と、このガス路Ｘ１に吸着剤Ｃを粉体の状態で供給する吸着剤供給手段と、吸着剤Ｃが供給されたガスＧ１が通される第１のフィルター１４Ａとを備え、脱着系として、加熱ガスＧ３が流される加熱路Ｘ２と、この加熱路Ｘ２に第１のフィルター１４Ａで捕捉された捕捉吸着剤Ｃ２を供給する捕捉吸着剤供給手段１５と、捕捉吸着剤Ｃ２が供給された加熱ガスＧ３が通される第２のフィルター２１Ａとを備える。 （もっと読む）

本発明は、ガス状流体の除去方法であって、（ａ）コロナ放電を生成するように配置された第１の電極と、複数の導電性糸で作製されたヘイズ透過性の電気伝導性篩を備える第２の電極との間に、電場を印加するステップと、（ｂ）液体を霧化して、第１の電極と第２の電極との間に液体ヘイズを提供するステップであって、液体がガス状流体の溶媒である、ステップと、（ｃ）第１の電極に対して、第２の電極の背後に基質を配置するステップとを含む方法を提供する。
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【課題】簡単な構成で吸収液中のアンモニア性窒素を長期にわたって効率よく除去することができる脱臭装置を提供する。
【解決手段】排気ガス中のアンモニア性窒素を吸収液に吸収させる排気洗浄装置１１と、アンモニア性窒素を吸収した吸収液を曝気処理してアンモニア性窒素の一部を亜硝酸性窒素及び硝酸性窒素とする硝化装置１２と、亜硝酸性窒素及び硝酸性窒素と残留するアンモニア性窒素とを含む硝化液中の硝酸性窒素を嫌気性アンモニア酸化細菌により還元して亜硝酸性窒素にするとともに、アンモニア性窒素と亜硝酸性窒素とを反応させて脱窒する無機窒素除去装置１３とを備え、硝化装置内の硝化液におけるアンモニア性窒素の濃度を、亜硝酸性窒素及び硝酸性窒素の合計濃度の１．３倍以上に設定する。 （もっと読む）

【課題】 組み立て時の取り扱いが容易で、耐久性に優れ、低いランニングコスト、かつ低圧損のガス除害装置を提供する。
【解決手段】 円筒形のＭＥＡ７と、ＭＥＡの両端において、該ＭＥＡの内側と外側とを隔離しながら固定するための第１シール部材３１と、ＭＥＡを取り囲むように位置する外筒９と、外筒の両端において該外筒の内側と外側とを隔離しながら固定するための第２シール部材３６と、外筒を囲む筒状のヒーター４１とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）