本発明は、少なくとも１つの基板（３）、特にガラス基板をコーティングするために用いられる少なくとも１つのプロセスチャンバー（７）をクリーニングする方法および装置に関する。この発明によれば、少なくとも１つのプロセスチャンバー（７）は、コーティングプロセスの前に、調整パージガス（１５）によって洗い流される。 （もっと読む）

流体を帯状に吐出可能なスリット部が形成されたエアーナイフユニットを用いて、基板の主面に付着した付着物を基板の主面から除去する方法で、基板に対して複数のエアーナイフユニットを相対移動させながら、エアーナイフユニットと基板の主面との間に、前記移動方向と直交する方向に略均一な形状を有する流体導入路を形成し、前記エアーナイフユニットの後部に形成されたスリット部から流体を流体導入路に向けて吐出し、次いで、流体導入路を通過させてエアーナイフユニットの前部に対向して形成される壁面あるいはみかけ上の壁面に導き、さらに、流体導入路より大きい流路断面積を有してエアーナイフユニットと壁面との間に形成された流体導出路を介して、基板に付着した基板付着物が前記流体とともに基板の主面から遠ざかるように導出する。 （もっと読む）

洗浄すべき対象物の表面から汚染物質を除去するための、高圧ガス供給源に流体的に接続されるように適合した洗浄装置（１０）。この装置は、ガスを加速するための高圧出口（２１）を備えた所定の微小な横方向スケールの少なくとも１つの高圧通路（２２）を備える。該高圧出口は少なくとも１つの狭いリップ（１２）によって特徴付けられ、出口および狭いリップは活性表面を画定している。洗浄装置の活性表面が、表面から所定の微小な間隙を空けてそれにほぼ平行に離されたとき、したがって狭いリップと洗浄すべき対象物の表面との間の喉部を画定し、ガスを喉部のところでほぼ音速まで加速したとき、汚染物質に作用する横方向の空気力学的な除去力が生成される。 （もっと読む）

印刷プロセスにおける基板の表面に付着する粒子及び他の破片を除去するウェブ洗浄機（２０）。洗浄機は多数のパスローラ（２６）を使用し、パスローラは、ウェブが印刷機（２４）によって高速に駆動された状態で、それらの間にウェブ（２２）に緊密に保持する。洗浄機は、パスローラ（２６）間に位置する一組の逆回転ローラ（２８）を利用し、１つのローラは、ウェブの近接近してウェブの両側上に位置し、各ローラは、ウェブの流路方向と反対方向に回転する。分離バー（３６）がウェブに対して直角に位置し、各ローラ及び空気分離バーを覆うプレナム（４４）内に空気を方向付けるために隣接関係で各ローラに接触する。プレナムは、ウェブ表面上に空気薄膜を創成するローラの回転によって形成される空気流によってウェブ表面から分離された破片を収集するために用いられる。同一の空気流はプレナム内に乱気流も生成する。ウェブ表面から分離された破片を蓄積するために、ダスト収集機（５０）が各プレナムに接続される。
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処理中にコンポーネント(200,300)の状態をモニタリングする方法およびシステム。本方法は、処理中にコンポーネントを反応ガス(エロージョン生成物発生のためコンポーネント材をエッチングできる)に曝露することと、コンポーネントの状態を判定するため処理中にエロージョン生成物の放出をモニタリングすることを含む。モニターできる処理はチャンバークリーニング、同コンディショニング、基板エッチングおよび薄膜形成処理を含む。コンポーネントは、チューブ(25)、シールド、リング、バッフル、インジェクター、基板ホルダー(35,12)、ライナー、ペデスタル、キャップカバー、電極およびヒーター(15,20,65,70,122)等消耗部品でもよく、それらは保護コーティングを有していてもよい。処理システム(1,100)は、処理チャンバー(10,102)内のコンポーネント、ガス噴射システム(94,102)、チャンバー保護システム(92,108)およびコントローラ(90,124)を含む。
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【課題】圧縮空気を用いる清掃工具において、十分な吸引力を達成し、使い勝手を向上させる。
【解決手段】清掃工具１は、異物が通過する通路２を備えた筒体３と、筒体３の後端に着脱可能に取り付けられた異物の収納箱５と、逆止弁８と、収納箱５に設けた通気孔９と、筒体３の先端部において噴射口１１ａが筒体３の外方を向くよう配置された第１の噴射管１１と、筒体３の先端部の内部で噴射口１２ａが筒体３の内方を向くよう配置された第２の噴射管１２と、両噴射管に接続された切り替え弁１３を有する。空気圧を吹き飛ばし又は吸い込みのいずれか一方のみに使用するので強い作用が得られる。筒体の開口先端の内部に内向きに空気を噴射するので特に吸い込み力が強い。集めた異物は収納箱に閉じ込めるので、ホースを引き回す必要がなく使い勝手がよい。収集した異物の廃棄が容易である。 （もっと読む）

【課題】より高い精密洗浄能力を有するスピン洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄体を被洗浄物２へ照射するノズル１と、ケーシング３で且つ被洗浄物２周囲の位置に複数枚の遠心翼４を有する回転体とを備えている。ノズル１から噴射され被洗浄物２から振り飛ばされた飛沫やミスト１５を、遠心翼４の回転により該遠心翼の外側へ排出させる排出機能と、排出された飛沫やミスト１５の遠心翼４の内側への回帰を防止する回帰防止機能とを生じさせ、被洗浄物２から除去されたゴミや塗膜の除去の実行性を高めている。これにより、所定のケーシング３内で被洗浄物２を回転しこの被洗浄物２に気体や液体またはそれらの混合物から成る洗浄体を噴射することで、被洗浄物２からゴミや塗膜を除去するスピン洗浄装置において、一度除去されたゴミや塗膜を含む飛沫やミスト１５が再び洗浄面に付着することを防止する。 （もっと読む）

【課題】 野菜に付着する虫や異物汚れをきれいに洗い落とす。
【解決手段】 給水管１９によって洗浄槽１内に洗浄水を給水し、給水した洗浄水を上方開放口２１からオーバーフローさせると共に、噴射ノズル７によって洗浄槽１内へ空気と水を同時に噴射し、洗浄水に回転水流を与える一方、洗浄時に発生した比重の重いものを洗浄槽１の底部排水口１５に設けたストレーナ１７で集め、中間のものを捕集ネット５で集め、比重の軽いものを上方開放口２１からオーバーフローさせるようにする。 （もっと読む）

【課題】 高圧水を用いることなく、高圧水と同等の洗浄能力を有する洗浄装置及びその洗浄装置を組み込んだ切削装置を提供する。
【解決手段】 ダイシング装置等の切削装置にノズル手段を配設し、被加工物の切削時にこのノズル手段にエアー供給手段から２．７ｋｇｆ／ｃｍ² 以上のエアーを供給すると共に、洗浄水供給手段から市水程度の圧力の水を供給し、これらを合流させてノズル手段から洗浄水を噴射する。ノズル手段の絞り部の直径は０．５ｍｍ〜３．０ｍｍであり、好ましくは１．４ｍｍとする。ノズル手段は、被加工物が切削ブレードにより切削された領域を洗浄するように、ブレードカバーに隣接してブレードの回転中心近傍に配設し、洗浄水が被加工物に対して垂直に噴射されるようにする。 （もっと読む）