【課題】要求される品質に応じて分割力を高めることができるレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】半値幅と裾幅とが互いに等しいパルス波形を有するレーザ光Ｌを加工対象物に照射することで、切断予定ラインに沿って改質スポットを加工対象物内に複数形成し、複数の改質スポットによって改質領域を形成する。ここで、レーザ光源１０１は、レーザ光源制御部１０２によって駆動電源５１を制御し、レーザ光ＬのＰＥ値に応じてパルス波形を第１〜第３パルス波形の間で切り替える。低ＰＥ値の場合、その前半側にピーク値が位置し且つ鋸刃状となるよう構成された第１パルス波形をパルス波形として設定すると共に、高ＰＥ値の場合、その後半側にピーク値が位置し且つ鋸刃状となるよう構成された第２パルス波形をパルス波形として設定する。 （もっと読む）

【課題】 レーザビームをその表面上に通過させることによりガラスに浅い切り目を付ける。
【解決手段】 レーザ30を作動させて第１のビーム32を形成する。第１のビーム32をレンズ34により変換して、ガラスに入射する場所で長軸と短軸を有する細長い楕円形ビームスポットを有する第２のビーム36を形成する。第２のビーム36の端部に対応する第２のビームの一部を物理的に遮断して、第２のビームのスポットの長軸を減少させ、かつ第３のビーム37を形成する。第３のビーム37をガラス10の表面に亘り移動させて、加熱されたガラスを形成する。移動している第３のビーム37の後縁から所定の距離で、加熱されたガラス上に冷却液24をノズル22から流して、ガラス10中に亀裂20を形成する。 （もっと読む）

【課題】アンダーカットやアンダーフィルが発生し易いというレーザ溶接の問題点を克服し、溶接部の品質が良好なレーザ溶接鋼管を歩留り良く安定して製造する方法を提供する。
【解決手段】鋼板を成形ロールで円筒状のオープンパイプに成形し、オープンパイプのエッジ部２をスクイズロールで加圧しながらオープンパイプの外面側からレーザビームを照射してエッジ部をレーザ溶接するレーザ溶接鋼管の製造方法において、それぞれ異なるファイバーを用いて伝送したジャストフォーカスでのスポット径が直径0.3mmを超える２本以上のレーザビーム３−１，３−２，３−３，３−４を先行レーザビームと後行レーザビームとに分類し、先行レーザビームを後行レーザビームよりも溶接線方向に先行させ、かつ先行レーザビームと後行レーザビームの鋼板内における中心線間隔を１mm以上として溶接線方向に配列してレーザ溶接を行なう。 （もっと読む）

【課題】加工物の表面は同一時間にカットした１本の整一な凹み溝を形成し、カット時間を有効に短縮できるウェハーのレーザーカットシステムを提供する。
【解決手段】レーザービームを発振するレーザー光発振器を有し、かつレーザービームの進路に順を追って調節レンズ組と、光よけおよび焦点レンズを備えるカットレンズ組をそれぞれ配置し光よけに中空部を設ける。調節レンズ組はレーザービームの直径を調節し平行ビームとして投射する。平行ビームは光よけの中空部によって投射された後に、中空部と同じ形状の整形ビームが形成され整形ビームを焦点レンズに投射させる。焦点レンズによって整形ビームを集光し、加工物の表面にカット線を形成する。 （もっと読む）

【課題】被照射物内に厚さのばらつきが存在する場合であっても、被照射物に対してレーザ光の照射を均一に行うレーザ光の照射方法を提供する。
【解決手段】厚さのばらつきが存在する被照射物にレーザ光を照射する際に、オートフォーカス機構を用いることによって、被照射物の表面にレーザ光を集光するレンズと被照射物間との距離を一定に保ちながらレーザ光の照射を行う。特に、レーザ光に対して被照射物を被照射物の表面に形成されたビームスポットの第１の方向および第２の方向に相対的に移動させて、被照射物にレーザ光の照射を行う場合に、第１の方向および第２の方向のいずれかの方向に移動させる前にオートフォーカス機構によってレンズと被照射物間との距離を制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザー加工装置において、エネルギー損失が少なく、エッジが効いた（すなわち加工されている部分とされていない部分との違いが明確な）形状で高速なライン加工を実現する。
【解決手段】レーザーヘッド１から出力されるレーザー光についてエキスパンダー光学系２によって成形を行って平行光を生成する。この成形された平行光について、絞り部３により、その少なくとも一部分を必要に応じて遮断する。成形されたレーザー光を、絞り部３、レーザー用光学鏡筒４、対物レンズ５を介して自動搬送ステージ６に載置された加工対象７に照射して加工を行う。エキスパンダー光学系２によってレーザー光を成形し、成形後の光について絞り処理を行うことにより、エネルギー損失が少なく、エッジが効いた形状で加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】コストの上昇およびレーザ光の利用効率の低下を抑制しつつ、レーザ加工の品質を向上させる。
【解決手段】ＳＨＧレーザ発振器１１３または基本波レーザ発振器１１４から出射されたレーザ光は、角形光ファイバ１２０を通過し、２波長コリメータレンズ１２１および２波長結像レンズ１２２により、スリット１２３の入射面において矩形の開口部１２３Ａを含むように結像された後、スリット１２３を通過し、開口部１２３Ａを通過したレーザ光が、２波長結像レンズ１２５および２波長ｆθレンズ１２７により、薄膜太陽電池パネル１０２の加工面に入射し結像される。スリット１２３の開口部１２３Ａの周囲はレーザ光を透過する誘電体により形成され、誘電体の光軸方向の厚みが開口部１２３Ａに近いほど小さくなるように誘電体に傾斜面が設けられている。本発明は、例えば、エッジデリーションまたはパターニングを行うレーザ加工装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化及び煩雑化をもたらすことなく、また照度の低下をもたらすことなく、レーザ光を光源に使用した場合の干渉縞の発生を防止することができるレーザ照明装置を提供する。
【解決手段】レーザ光の光路に、偏光解消板６、フライアイレンズ７及びコンデンサレンズ８、９が、この順に配置されている。偏光解消板６は、フライアイレンズ７の各レンズセルに対応する大きさを有し入射レーザ光に対して位相差を与えて出射する複数個の位相差板６ａ〜６ｄがレンズセルに１：１で対応して配置されたものであり、各位相差板は、隣り合うもの同士の出射光の偏光面が４５°異なるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】溶接部における金属溶融量を確実に増加させてレーザ溶接による溶接不良を抑制することが出来るレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】複数の金属板（Ｐ１、Ｐ２）を重ね、所定の溶接部Ｗにレーザ溶接装置（１）によりレーザ光（ＬＡ）を照射してそれらの重ね合わされた金属板同士を溶接するレーザ溶接方法であって、溶接部に金属板同士を溶接可能な高入熱量のレーザ光（ＬＡ２）を照射する本溶接工程と、この本溶接工程におけるレーザ光の照射範囲（Ｗ’）の外周部（Ｗ”）に本溶接工程よりも照射深さが浅いレーザ光（ＬＡ３）を照射する補熱工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 レンズなどの光学系の手段によってレーザビームを均質化する場合、レンズの形状によって定まる特定の位置でしか均一なエネルギ分布が得られなかった。
【解決手段】 レーザ媒質３に入射された被増幅光１ａがトップハット形状のエネルギ分布に成形されたレーザビーム３ａとして出射されるように、前記レーザ媒質３の母材中に添加する希土類イオンのドープ濃度を、前記レーザ媒質３の光軸３ｂの方向と交差する断面３１の中心部３２よりも周縁部３３に近づく程より高くなるよう分布させた構成のレーザ媒質３である。この均質化されたレーザビーム３ａを被加工物に照射して加工を施すレーザ加工装置を使用する。
【効果】 レーザヘッドと被加工物の間の距離が変化した場合でも被加工物の照射面で均一なエネルギ分布が得られる。 （もっと読む）