【課題】 アシストガスや液体を用いずにレーザ加工に対する加工除去物の影響を抑制し、加工効率を向上させることができるレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供すること。
【解決手段】 加工対象物Ｗにレーザ光を照射して加工する装置であって、第１のレーザ光Ｌ１を加工対象物Ｗが加工可能なレーザ光強度に集光して加工対象物Ｗの加工面に照射する第１のレーザ光照射機構２と、第２のレーザ光Ｌ２を加工対象物Ｗが加工されないレーザ光強度に集光して第１のレーザ光Ｌ１と同時に該第１のレーザ光Ｌ１による加工点の周囲に照射する第２のレーザ光照射機構３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークＷの加工による歩留まりの低下を抑えられ、また、タクトタイムを短くでき、更には装置全体を小型化できるレーザ加工機を実現する。
【解決手段】ローラ７２を、加工テーブル４に対向して配置する。加工テーブル４は、ワーク載置面４１と平行に移動自在である。ローラ７２は、移動方向と直角方向の回転軸７３を中心として回転自在である。この構成で、ローラ７２をワーク載置面４１に載置されたワークＷの表面に当接させつつ、加工テーブル４を移動させて、ローラ７２をワークＷの表面上を転動させることにより、ワークＷのしわを除去する。 （もっと読む）

【課題】 加工除去物を除去可能であると共に液体によるレーザ光学系の汚染を抑制でき、さらに効率的にレーザ光を照射可能なレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供すること。
【解決手段】 加工対象物Ｗにレーザ光Ｌを照射して加工する装置であって、加工対象物Ｗにレーザ光Ｌを照射するレーザ光照射機構２と、加工対象物Ｗの加工表面上にレーザ光Ｌが透明な液体Ｆを、加工表面に沿う層流状態にして流す液体供給機構３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】金属製の円筒状ワークに対するレーザ光による切断を容易にする。
【解決手段】保持部材１６の内部に押圧用部材８０を挿入し、さらに、押圧用部材８０の内部に第１及び第２径変化用部材８２、８４を挿入する。押圧用部材８０の内部には、その長手方向に沿って、各端部から離間するにつれてテーパー状に縮径する２個の第１カム部８８、９０が形成される。一方、第１及び第２径変化用部材８２、８４の各々には、第１カム部８８、９０に摺接する第２カム部９４、９６が形成される。第１及び第２径変化用部材８２、８４が押圧用部材８０の内部深くに挿入される方向に変位すると、第１カム部８８、９０が第２カム部９４、９６によって押圧され、その結果、押圧用部材８０が拡径することに追従して保持部材１６の保持部６６が拡径する。これに伴い、保持部６６に保持された円筒状ワークＷが矯正される。 （もっと読む）

【課題】金属製の円筒状ワークに対するレーザ光による切断を容易にする。
【解決手段】保持部材１６の内部に押圧用部材８０を挿入し、さらに、押圧用部材８０の内部に第１及び第２径変化用部材８２、８４を挿入する。押圧用部材８０の内部には、その長手方向に沿って、各端部から離間するにつれてテーパー状に縮径する２個の第１カム部８８、９０が形成される。一方、第１及び第２径変化用部材８２、８４の各々には、第１カム部８８、９０に摺接する第２カム部９４、９６が形成される。第１及び第２径変化用部材８２、８４が押圧用部材８０の内部深くに挿入される方向に変位すると、第１カム部８８、９０が第２カム部９４、９６によって押圧され、その結果、押圧用部材８０が拡径することに追従して保持部材１６の保持部６６が拡径する。これに伴い、保持部６６に保持された円筒状ワークＷが矯正される。 （もっと読む）

【課題】上集塵器の吸引力によってワーク中央部が浮上がり、レーザ集束光の焦点ずれによる加工不良が発生したりすることのないレーザ加工機を得ること。
【解決手段】内部に下集塵室が形成され、ワーク載置面に前記下集塵室に連通する下集塵口が設けられ、前記ワーク載置面にワーク３０を保持可能な加工テーブル１０と、内部に上集塵室が形成され、下面に前記上集塵室に連通する上集塵口が設けられ、前記加工テーブル１０の上方に配置される上集塵器４０と、前記上集塵室及び前記下集塵室に接続された集塵機５０と、前記上集塵口の吸引力又は前記下集塵口の吸引力を調整する吸引力調整装置５３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送されるシートをレーザで加工する際に、シートの振動を極力低減して、正確に且つ安定して加工を行うことができるようにする。
【解決手段】一対の搬送ローラ間に渡り搬送されるシートに対して、その搬送ローラの間に設定された加工地点にレーザビームを照射して搬送方向に沿って加工を行う。一対の搬送ローラ２４、２４の間には、搬送ローラ２４よりもローラ径が小さく且つその軸方向の長さが短い一対の第１補助ローラ４０、４０が、シートの面の一方側に配置される。一対の第１補助ローラ４０、４０は、搬送方向に直交して加工地点を挟んで左右に配置される。また、一対の搬送ローラ２４、２４の間には、搬送ローラ２４よりもローラ径が小さい一対の第２補助ローラ４２、４２が、シートの面の他方側に配置される。一対の第２補助ローラ４２、４２は、搬送方向に沿って加工地点を挟んで前後に配置される。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工の際に発生するヒュームを除去すると共にその固化物の成長によってシートの損傷を防ぐことができるようにする。
【解決手段】空洞の周囲を取り囲む壁面を備え、その空洞内部に負圧が導入される吸引ボックス５０が設けられ、吸引ボックス５０は、加工地点に対してシートの搬送方向の下流側に配置されて加工地点に対向する吸引口５０ａを有し、該吸引口５０ａは、搬送方向下流側に延びて、シートに面する水平開口面５０ａ２を有しており、吸引ボックス５０の壁面は、水平開口面の端部からシートに沿って延設される下壁面５０ｂと、下壁面の下流側端部からシートに対して離反して立設される側壁面５０ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】分岐後のレーザ光のそれぞれについて、その加工箇所でレーザ光の特性を測定できるようにする。
【解決手段】第２スクライブ線Ｐ２及び第３スクライブ線Ｐ３の加工時には、その加工部から加工残渣６１が薄膜面から発生するので、この加工残渣が膜面へ再付着しないように、エアパージ・残渣吸引手段６０ａ〜６０ｄを用いて膜面側（ガラス基板１の裏面側）からエアパージすると共にその残渣を吸引除去している。レーザ光の状態を検査する際に、エアパージ・残渣吸引手段６０ａ〜６０ｄを退避移動させた後に、レーザ状態検査手段２８をそのエアパージ・残渣吸引手段６０ａ〜６０ｄの退避移動前の位置に移動させて、ワーク１の加工面に向かうレーザ光４１〜４４を観察してレーザ光４１〜４４の状態を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に積層された機能層の一部を、ガラス基板から効率よく除去することができるレーザー加工装置を提供すること。
【解決手段】ガラス基板１１に太陽電池膜１２が積層されたワークＷを、ガラス基板１１を下向きして保持する保持テーブル３と、保持テーブル３に保持されたワークＷにレーザービームを照射するレーザービーム照射ユニット４とを備え、保持テーブル３は、ワークＷの少なくとも一部を、レーザービーム照射ユニット４からレーザービームを照射可能となるように下側に露出させており、レーザービーム照射ユニット４は、レーザービームをワークＷのガラス基板１１側からガラス基板１１と太陽電池膜１２との境界面４６に集光点を合わせて照射する構成とした。 （もっと読む）