【課題】型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、精度のよい転写を行うことができる転写装置を提供する。
【解決手段】微細な転写パターンが形成されている型Ｍを保持する型保持体５と、被成型品Ｗを保持する被成型品保持体７とを備え、被成型品保持体７に対して保持体５を移動し、被成型品Ｗに転写する転写装置１であって、被成型品保持体７に取り付けた変位センサー１７によって、型保持体５と被成型品保持体７との間の距離を計測する計測手段を有し、この計測手段での計測結果に応じて、型保持体５と被成型品保持体７との間の距離を補正し、転写を行うように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 被加工基板上に形成されるパターンの寸法精度の低下を抑制できるナノインプリント用モールドを提供すること。
【解決手段】 ナノインプリント用モールド１０は、形成するべきパターンに対応した凸部７が表面に設けられた透明基板１１と、前記凸部７上に設けられた半透明膜１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントにより、より高い信号強度の信号を得ることができ、また、高いＳ／Ｎを得ることができる磁気記録媒体を安価に提供できるモールド、その製造方法およびこのモールドを用いて作製されてなる磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】ナノインプリントに用いるモールドの製造方法であって、基板の表面に形成したレジスト層に、凹凸パターンを有する親モールドを圧着後、親モールドを剥離してレジスト層に凹凸パターンを転写する転写工程と、転写工程により凹凸パターンの形成されたレジストの凹部において下の基板を露出させ、露出した基板をエッチングすることにより基板に凹凸パターンを形成する凹凸パターン形成工程を少なくとも有し、この凹凸パターン形成工程において、基板エッチング時に基板をサイドエッチすることを特徴とするモールドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】スプルを打抜形成した後のスプルロックを、パンチによる樹脂の圧縮によりパンチ先端面にて行い得るようにして、スプル中央部を厚肉に形成しなくともスプルロックが確実に行え、スプルの冷却時間も短く済むようにする。
【解決手段】スプルブッシュを中央部に有する固定型と、そのスプルブッシュと対向する先端面が平坦な円柱状のパンチを中央部に摺動自在に有する可動型とによりディスク基板のキャビティを形成する。そのキャビティのスプルブッシュが臨む中央部を、上記パンチの先端周縁が嵌合する円形の凹所に形成したディスク基板の成形金型とする。上記パンチの先端面にアンダーカット溝によるスプルロック部を設ける。パンチが内部に備えるスプル突出ピンの先端面をパンチ先端面と同一面に位置させる。 （もっと読む）

【課題】ディスク基板の外観を良くすることができ、特に、記録媒体である光ディスク基板の特性を向上させることができるようにする。
【解決手段】第１の金型側に配設された第１の鏡面盤と、第２の金型側に配設された第２の鏡面盤とを有する。第１、第２の鏡面盤のうちの少なくとも一方に、温調用流路が、第１、第２の鏡面盤の軸方向に対して傾斜させて形成される。第１、第２の鏡面盤のうちの少なくとも一方に、温調用流路が、第１、第２の鏡面盤の軸方向に対して傾斜させて形成されるので、鏡面盤の径方向の面で切ったときの温調用流路の占める面積を大きくすることができるだけでなく、温調用流路の内周面の総面積を大きくすることができる。その結果、冷却効率を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】スタンパーが絶縁層から容易に分離されるインプリンティング用スタンパーの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるスタンパー製造方法は、絶縁層１１に複数の凹状パターン１３を形成する段階と、凹状パターンに銅２７を充填してスタンパー３０を完成する段階と、スタンパー３０を絶縁層１１から分離する段階と、スタンパー３０の表面に粗度４３を付与する段階とを含み、スタンパー３０が絶縁層１１から容易に分離されるので、これらを分離するための別途の工程を行う必要がなく、スタンパーの変形を防止することができ、絶縁層を反復的に使用して複数のスタンパーを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】光記録媒体成形基板の離型性を向上させたスタンパを低コストで提供する。
【解決手段】本発明のスタンパは、グルーブを記録エリアの外周側まで延設した光記録媒体成形基板作製用のスタンパであり、グルーブが当該スタンパにより成形される光記録媒体成形基板の直径よりも大きい直径範囲まで形成されている。とくに、光記録媒体成形基板の直径が１２０ｍｍである場合には、グルーブの延設端位置が、直径１１８．７ｍｍを超え、１２１ｍｍ以下に相当する位置となっている。このスタンパによれば、加速度の記録特性に優れた光記録媒体が提供される。 （もっと読む）

【目的】正常な凹凸パターンの中間製造部材をできる限り多く製作することができる耐久性の高いスタンパを提供する。
【構成】表面が凹凸状に形成された押圧部１２を有するスタンパＸであって、押圧部１２全体は、Ｔｉの金属層からなり、押圧部１２の表面硬さは、ビッカース硬度３００Ｈｖ以上であることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】位置軸に沿った折れ線速度設定に基づいて直線移動部材の速度制御を行う成形機において、速度制御の応答性を可及的に向上させて、高品質の成形品を安定して成形可能とすること。
【解決手段】位置軸に沿った折れ線速度設定を、時間の指数関数の演算式で表される、時間軸に沿った位置指令パターンと、時間軸に沿った速度指令パターンとに変換して、これに基づいて、時間による位置フィードバック制御指令と時間による速度フィードフォワード制御指令とを生成することで、サーボアンプに出力する速度指令を生成する。 （もっと読む）

【課題】 ディスク基板の成形用金型における一方の金型のスタンパが配設される鏡面板および他方の金型の鏡面板に、主として鏡面板を形成するステンレス鋼との接合性（親和性）に優れ、耐久性にも優れた熱緩衝層を形成し、ディスク基板の成形時にスタンパの微細な凹凸形状を良好に転写するとともに、冷却効率も追及する。
【解決手段】 ディスク基板の成形用金型２０の少なくとも一方の金型３１のスタンパ３６が配設される鏡面板３４における表面または表面と冷却媒体通路３４ａとの間には、主として鏡面板３４を構成する金属よりも熱伝導率が低い金属による金属溶射層５１を設ける。 （もっと読む）