【課題】リードタイムの短縮化を図りつつ耐久性の高い薄膜を形成することが可能な成膜方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板を加熱しつつ撥液材料を急加熱によって蒸発させ、前記基板に前記撥液材料の粒子が結合するように、前記基板に前記撥液材料の薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程と連続して行われ、前記基板に形成された前記薄膜を洗浄する洗浄工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズル基材に静電塗装で撥液層を形成するときに帯電した撥液剤の微粒子がノズル孔の内壁面に付着して滴吐出不良が発生する。
【解決手段】ノズル基材３１の撥液層３２を形成する面と反対側の面に金属又は導電体からなる構造体４２を密着させて保持する工程と、撥液剤をスプレーで霧化することで撥液剤微粒子４５に微粒子化する工程と、撥液剤微粒子４５を帯電させる工程とを行って、ノズル基材３１の表面に撥液剤微粒子４５よる撥液層３２を成膜する。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用に対しても印字品質の劣化が少ない液滴吐出ヘッド用のノズルプレートを製造する。
【解決手段】表面にフッ素を含む撥水層２ｄを有する液滴吐出ヘッド用のノズルプレート３の製造方法において、少なくとも、加水分解性基を有するフッ素含有有機シラン化合物を真空蒸着する工程と、水分子と酸を含む材料ガスを蒸着雰囲気中に導入する工程と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板と撥水膜の密着性を向上させることができ、耐磨耗性を向上させることができる撥水膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＯＨ基を有する基板１０を加熱する加熱工程と、加熱工程後の基板上にシランカップリング剤３１により有機膜を形成する有機膜形成工程と、を有し、前記加熱工程と、前記有機膜形成工程と、を大気中の水蒸気の付着を抑制し、連続して行なうことを特徴とする撥水膜３０の形成方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、および、インクジェット記録装置である。 （もっと読む）

【課題】チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減する。
【解決手段】ノズル基板１の接着面側にレジスト膜を形成し、第１ノズル孔１０ａ、チップ外周側面１４ａとなる部分のレジスト膜を除去するパターニングを行う。ここで、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面１４ａが、液滴吐出面側のチップ外周側面１４ｂより数μｍ内側となるようにパターニングする。液滴保護膜厚さの数十倍である数μｍとすることにより、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄く、かつ、面積が小さくなる。よって、チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比のホールやトレンチの多段構造を高い加工精度で容易に形成することができるシリコン構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンからなる基材１に凹部４の一部である初期凹部４ａを形成する初期凹部形成工程と、初期凹部４ａの凹部側壁４２ａに保護膜を形成する保護膜形成工程と、凹部側壁４２ａの保護膜に隣接した基材１の一部を隔壁１２として残存させて、初期凹部４ａに隣接する周回領域の基材１を深さ方向に異方性エッチングするエッチング工程と、残存した突起状の隔壁を酸化してシリコン酸化物を形成する突起状隔壁酸化工程と、酸化した突起状の隔壁を除去する突起状隔壁除去工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル穴に生じる欠陥の種類を特定可能なノズル外観検査装置、およびノズル外観検査方法を提供すること。
【解決手段】ノズル外観検査装置１００は、ノズル穴の開口部の画像を取得する画像入力手段６０と、画像の二値化画像を生成する二値化手段６１と、二値化画像からノズル穴の内輪郭および外輪郭を検出する輪郭検出手段６２と、内輪郭の近似円である内輪郭近似円および外輪郭の近似円である外輪郭近似円を算出する近似円算出手段６３と、内輪郭および外輪郭と内輪郭近似円および前記外輪郭近似円とを比較して、内輪郭および外輪郭の形状の特徴を示す特徴フラグを内輪郭および外輪郭上の各点に対して設定するフラグ設定手段６４と、特徴フラグに基づいて欠陥の種類を示す欠陥フラグを設定し、欠陥の種類とその位置を検出する欠陥検出手段６５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】吐出される液体を所望の温度に加熱して液体吐出特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口４７が設けられたノズルプレート４８と、前記ノズル開口４７に連通する圧力発生室４２が設けられた流路形成基板４０と、前記圧力発生室４２内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段１１とを具備し、前記ノズルプレート４８が、ＰＴＣ特性を有するＰＴＣ発熱材料で構成され、当該ノズルプレート４８には、ＰＴＣ発熱材料に電流を供給する電極８０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の傾斜部が垂直部およびノズル基板平面と段差を介さずに連続して形成され、ノズル孔の流路特性が最適化されて安定した吐出特性を有するノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基材４１の一方の面側から異方性ドライエッチングを行って円筒孔部１１ｄを形成し、その後、円筒孔部内にＳｉＯ₂膜４５を形成する。反対側の面からＳｉＯ₂膜４５をチャージアップさせながらエッチングを行い、第１のノズル孔部１１ａと所望の傾斜角で拡径する第２のノズル孔部１１ｂ、第３のノズル孔部１１ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流抵抗が緩和された吐出口が設けられ、かつ十分な強度を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程と、前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程と、前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記吐出口を形成する工程と、を有し、前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）