【課題】ハロゲン及び窒素を含まないタンタル含有薄膜の形成が可能な新規なタンタル化合物とその製造方法、及び膜の形成方法を提供する。
【解決手段】一般式（１）で表されるタンタル化合物を、テトラハロシクロペンタジエニルタンタル誘導体とメチル化金属化合物とを反応させることにより製造し、このタンタル化合物を原料としてタンタル含有薄膜を形成させる。


（式中、Ｍｅはメチル基を、ｎは１から５の整数を、Ｒはアルキル基を示す。） （もっと読む）

【課題】レッドクス触媒として高反応活性であり、安定性にも優れる、多核金属錯体変性物を提供する。
【解決手段】［１］（ａ）分子内に、５〜１５個の配位原子を有する大環状配位子を１つ以上と、複数の金属原子とを、有する多核金属錯体を、加熱処理等の変性処理より、処理前後の重量減少率が５重量％以上９０重量％以下まで変性し、変性後の炭素含有率が５重量％以上である多核金属錯体変性物。
［２］上記（ａ）と同様の多核金属錯体と、特定の有機化合物又はカーボン担体を混合した混合物を加熱処理等の変性処理より、処理前後の重量減少率が５重量％以上９０重量％以下まで変性し、変性後の炭素含有率が５重量％以上である多核金属錯体変性物。
［３］上記［１］又は［２］を含むレドックス触媒。 （もっと読む）

【課題】溶液気化方式で原料を供給するＣＶＤ法でペロブスカイト構造強誘電体であるＰｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ₃膜を形成するために好適な新規Ｎｂ化合物およびその製造方法ならびにＣＶＤ法によりＰｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ₃膜を形成するための前記Ｎｂ化合物を用いた原料溶液を提供する。
【解決手段】ニオブペンタアルコキシド１ｍｏｌとジイソブチリルメタン１ｍｏｌを不活性炭化水素溶媒中で加熱還流後、溶媒と未反応原料を留去し、次いで、蒸留することにより、新規化合物ニオブテトラアルコキシジイソブチリルメタネートＮｂ（ＯＲ）₄（ｄｉｂｍ）（ここで、Ｒは炭素数１〜４の直鎖または分岐のアルキル基を表す。）を製造し、この新規Ｎｂ化合物を、原料供給を溶液気化方式で行うＣＶＤ法によりＰｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ₃膜を形成するための原料溶液に用いる。 （もっと読む）

本発明は、式（Ｃｐ（Ｒ’）_ｘ）_ｙＭ（Ｈ）_ｚ−ｙによって表される有機金属前駆体化合物、この有機金属前駆体化合物を製造する方法及びこの有機金属前駆体化合物の熱又はプラズマ強化解離によって、例えばＣＶＤ又はＡＬＤ技法によって、基板上に金属及び／又は金属炭化物層、例えばＴａ金属及び／又はＴａＣ層を堆積させるための方法に関する。この金属及び／又は金属炭化物層は、集積回路の製造において導電性金属及び高誘電率材料のライナ又は障壁層として有用である。 （もっと読む）

本発明は、新規の水溶性ニオブ化合物、該ニオブ化合物の製造方法および該ニオブ化合物の調製物に関する。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン元素等を含まないタンタル含有膜及び目的とする元素を含んだ各種タンタル含有膜の作り分けが可能な新規なタンタル化合物及びその製造方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）


（式中Ｒ^１は炭素数２から６の直鎖状アルキル基。）等で表されるタンタル化合物。 （もっと読む）

【課題】高純度ジルコニウム、ハフニウム、タンタル及びニオブアルコキサイド（アルコレート）Ｍ（ＯＲ）_Ｘの新規な製造方法、新規なタンタル及びニオブ化合物、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）不純物として少なくとも０．０５重量％の単核又は多核ハロゲン含有金属アルコキサイドを含む、ハロゲン含有量＞２００ｐｐｍの粗アルコキサイド生成物Ｍ（ＯＲ）_Ｘを、（ｂ）粗アルコキサイドの合計を基準に、多くとも３０重量％のＲＯＨ［ＲはＣ_１〜Ｃ_１２アルキル基］と混合し、（ｃ）その後又は同時に、単核又は多核ハロゲン含有金属アルコキサイドを基準として過剰のアンモニアを配量する方法である。 （もっと読む）

【課題】 炭化タンタル膜や炭窒化タンタル膜を化学気相成長法により形成するための原料として、供給しやすく、高い蒸気圧を有する化合物を提供し、さらに、その製造方法およびそれを用いた炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 ＴａＣｌ₅とＮａ（ＥｔＣｐ）とＮａＢＨ₄とをＴＨＦ中で反応させ、未反応原料を水で失活させた後、溶媒留去し、真空蒸留することにより、蒸気圧が０．１Ｔｏｒｒ／９５℃、融点が３８℃である新規化合物ビス（エチルシクロペンタジエニル）トリヒドロタンタル（Ｔａ（ＥｔＣｐ）₂Ｈ₃）が得られ、この化合物を原料として、化学気相成長法により、炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】アルキンから1,3,5-異性体であるベンゼン誘導体のみを選択的に合成できる方法およびこの方法に用いる触媒を提供する。
【解決手段】テトラヒドロチオフェンを少なくとも一部の配位子とするニオブ二核錯体である、アルキン化合物の環化三量化用触媒。このニオブ二核錯体を反応触媒として用いて、アルキン化合物を環化三量化してベンゼン誘導体を得る、ベンゼン誘導体の製造方法。ニオブ二核錯体の例は以下のとおり。
（もっと読む）

【課題】従来技術の化合物が有する欠点のない、あるいは明らかな改良を少なくとももたらす、タンタル又はニオブ含有被覆形成用の新規前駆体化合物を提供する。
【解決手段】式：


（式中、Mは、Ta又はNbを表す。R¹及びR²は、(シクロ)アルキル基、アリール基、1-、2-又は3-アルケニル、トリオルガノシリル基又はアミノ基を表す。R³は、(シクロ)アルキル基、アリール基、又はSiR₃又は NR₂を表す。R⁴は、ハロゲン、NH-R⁵、O-R⁶、-SiR₃、BH₄、アリル基又はインデニル基、ベンジル基、シクロペンタジエニル基、又は-NR-NR'R''(ヒドラジド(-1)、若しくはCH₂SiMe₃、偽ハライド又はシリルアミドを表す。R⁷及びR⁸は、水素、(シクロ)アルキル基又はアリール基を表す。）
で示される化合物。 （もっと読む）