【課題】被研磨物を平坦化することができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、ウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２は、ポリウレタン樹脂で作製されており、研磨面Ｐを有している。ウレタンシート２では、ポリウレタン樹脂と非相溶性のポリスチレン製で、ポリスチレンの自己組織化により規則的な凹凸が形成された樹脂シートを鋳型として作製されている。研磨面Ｐ側には、樹脂シートの規則的な凹凸が転写されて反転され規則的な凹凸パターン５が形成されている。研磨面Ｐ側には、略同一の形状を有し頂面が平坦状の凸部５ｂが一定の間隔で配されるとともに、凸部５ｂ間に凹部５ａが形成されている。研磨加工時にスラリの分散状態が均一化される。 （もっと読む）

【課題】均一なポアを有するとともに、端面だれを抑制できる発泡ポリウレタンおよび研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】４０℃での粘度が３０００ｍＰａ・ｓ以下のイソシアネート基含有化合物と、未発泡の加熱膨張性微小球状体と、活性水素含有化合物とを、混合攪拌して硬化させるとともに、反応熱によって前記加熱膨張性微小球状体を発泡させる発泡ポリウレタンの製造方法であって、前記イソシアネート基含有化合物と前記活性水素含有化合物とを、混合したウレタン樹脂組成物のポットライフが２００秒以上である。 （もっと読む）

【課題】 研磨対象物の表面にスクラッチを生じさせ難く、かつドレッシング性を向上させた研磨パッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 無発泡ポリウレタンからなる研磨層を有する研磨パッドにおいて、前記無発泡ポリウレタンは、ジイソシアネート、高分子量ポリオール、及び低分子量ポリオールを含むプレポリマー原料組成物を反応して得られるイソシアネート末端プレポリマー、３つ以上のジイソシアネートが付加することにより多量化したイソシアネート変性体、及び鎖延長剤を含むポリウレタン原料組成物の反応硬化体であり、前記イソシアネート変性体の添加量は、イソシアネート末端プレポリマー１００重量部に対して５〜３０重量部であることを特徴とする研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】発泡形状を安定化させ被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、ウレタン樹脂で形成された発泡シート２を有している。発泡シート２は、湿式成膜法により形成された連続状の発泡構造を有している。発泡シート２には、カーボンブラックのストラクチャー９が凝集した凝集体５が含有されている。凝集体５は、分散剤のＡＢＳ樹脂で被覆されている。凝集体５は、グラインドゲージ分布図法で測定した分散状態が３．０μｍ以下に制限されている。凝集体５が湿式成膜時にさらに凝集した大きな凝集体を形成することなく、略均一に分散される。 （もっと読む）

【課題】クッション性を確保しつつ長期にわたり研磨性能を発揮することができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドは、湿式成膜法で一体形成されたウレタン発泡体を備えている。湿式成膜法では、塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液を帯状の成膜基材にシート状に略均一に塗布する。成膜基材には表面平滑性を有するＰＥＴ製フィルムを用いる。浸漬工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液を、水を主成分とする凝固液に浸漬する。剥離工程で、ポリウレタン樹脂の凝固再生が完了する前に凝固液中で凝固再生中のポリウレタン樹脂を成膜基材から剥離した後、ポリウレタン樹脂の凝固再生を完了させる。厚み方向両側でシームレスに発泡構造の異なるウレタン発泡体が一体形成される。 （もっと読む）

【課題】安定した研磨レートを保持しうねりの低減を図ることができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液が成膜基材に塗布される。次の気化工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液が、５０℃〜８０℃の雰囲気下へ案内され、１０分〜６０分間の熱処理が施される。加熱雰囲気下へ案内されたポリウレタン樹脂溶液は、少なくとも表層に含まれる有機溶媒の一部が気化される。次いで凝固工程で、塗布され熱処理が施されたポリウレタン樹脂溶液が凝固液中で凝固再生される。凝固再生時にポリウレタン樹脂溶液中にマクロ気孔が形成されることなく、ミクロ気孔（気孔３）が略均一かつ略均等に形成される。 （もっと読む）

【課題】高硬度であって、しかも、ドレス性が良好な研磨パッドを提供する。
【解決手段】発泡ポリウレタンの研磨層を有する研磨パッドであって、前記発泡ポリウレタンが、エポキシ樹脂を添加して、イソシアネート基含有化合物と活性水素含有化合物とを発泡硬化させてなるものであり、硬く、しかも、引っ張り破断しやすく、伸びが小さいという特性を有するエポキシ樹脂を添加しているので、高硬度を維持しながら、ドレス性を高めている。 （もっと読む）

本開示は、化学機械平坦化パッドおよび化学機械平坦化パッドの製造方法および使用方法に関する。前記化学機械平坦化パッドは、水溶性組成物と前記水溶性組成物よりも水に対する溶解度の低い非水溶性組成物とを含み、水溶性組成物および非水溶性組成物の少なくとも一方が繊維材で形成される第１の構成部材を含む。前記化学機械平坦化パッドはまた、第２の構成要素を含み、前記第１の構成要素は、連続して存在する前記第２の構成要素中に個別の相として存在する。
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【課題】低湿下での不均一な逆転写を抑制できる多層半導電性ポリイミドベルの提供。
【解決手段】二層以上の抵抗層が積層されてなる半導電性ポリイミドベルトであって、少なくとも一層の抵抗層に導電性フィラーを含有し、ベルト外周面の印加電圧１００Ｖにおける表面抵抗率が１０〜１３ｌｏｇΩ／□であって、体積抵抗率 ｌｏｇΩ・ｃｍの数値が表面抵抗率 ｌｏｇΩ／□の数値よりも０．３〜１．５低いことを特徴とする半導電性ポリイミドベルト。 （もっと読む）

【課題】 柔軟性を付与しながら強度を保持又は向上するフェノール樹脂を含む樹脂組成物を用いて、高摩擦係であり且つ高強度である湿式ペーパー摩擦材を提供する。
【解決手段】 フェノール、アルキルフェノール及びホルムアルデヒドより得られるフェノール樹脂を含む樹脂組成物から構成される湿式ペーパー摩擦材であって、前記フェノール樹脂に用いられるアルキルフェノールのアルキル数は炭素数が３以上であり、フェノール樹脂中のアルキルフェノール変性率が５〜２０％であることが好ましい。 （もっと読む）