【課題】研磨速度、被研磨面のスクラッチおよび被研磨面の面内均一性に優れ、多数の被研磨体を連続研磨する場合でも安定した研磨速度を示す利点を有する化学機械研磨パッドを提供する。
【解決手段】（１）シート状の高分子成型体を製造する工程と、（２）前記シート状の高分子成型体に対して電子線を照射線量１０〜４００ｋＧｙの範囲で照射する工程とを含む、化学機械研磨パッドの製造方法によって達成される。 （もっと読む）

【課題】高い摩擦係数を有し、摩擦材の総厚変化量が少なく、耐熱性（耐ヒートスポット性）に優れる湿式摩擦材を提供すること。
【解決手段】繊維状物質を含む基材に熱硬化性樹脂を含浸させた後、加熱硬化してなる湿式摩擦材において、該繊維状物質のアスペクト比が１０以上であって、かつ該繊維状物質が該基材中に６０〜７５質量％含まれる、湿式摩擦材。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノファイバーを用いた摩擦材の製造方法及び摩擦材、炭素繊維複合材料の製造方法及び炭素繊維複合材料を提供する。
【解決手段】 本発明の摩擦材２は、強化繊維と、摩擦調整材と、ゴム組成物と、バインダ樹脂と、を含む摩擦材である。ゴム組成物は、エラストマーに平均直径が０．５〜５００ｎｍのカーボンナノファイバーが均一に分散された粒子状の炭素繊維複合材料である。摩擦調整材は、鋭角なエッジを少なくとも１箇所以上有し、平均粒径０．１〜５００μｍの粒子状の堅果殻もしくはケイ酸化合物を含む。 （もっと読む）

【課題】最小限の摩耗性コンディショニングで再生することができ、パッド耐用寿命を延ばす研磨面を有するＣＭＰ研磨パッドを提供する。
【解決手段】稠密化状態にある研磨層を含み、研磨層が本来の形状３０とプログラム形状との間で変形可能な形状記憶マトリクス材料３６を含み、研磨層が、形状記憶マトリクス材料３６が本来の形状３０にあるときにはＯＴの厚さを示し、プログラム形状にあるときには稠密化厚さＤＴを示し、ＤＴ＜ＯＴの８０％であり、形状記憶マトリクス材料の温度が（Ｔｇ−２０℃）から（Ｔｇ＋２０℃）に上昇するとき、形状記憶マトリクスが貯蔵弾性率における≧７０％の減少を示し、研磨層が基材を研磨するために適合された研磨面を有するものである研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい研磨パッドを簡便かつ生産性よく製造する方法を提供する。
【解決手段】錫シート１１に多数の貫通孔Ａ１２を形成する工程、貫通孔Ａを形成した錫シートを型内に設置する工程、前記錫シート上及び前記貫通孔Ａ内に熱硬化性ポリウレタン樹脂原料を流し込む又は射出する工程、前記熱硬化性ポリウレタン樹脂原料を反応硬化させて、錫シートの片面に樹脂層１３及び貫通孔Ａ内に樹脂領域１５を一体形成して積層シート１４を作製する工程、及び前記積層シートの樹脂領域以外の部分に錫シート及び樹脂層を貫く多数の貫通孔Ｂ１７を形成する工程を含む研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】表面の繊維束が酸化雰囲気の高温圧力下で焼尽する摩擦体の製造方法を提供する。
【解決手段】繊維束により強化されセラミックスマトリクスを含む、２以上の複合材料からなる摩擦又は滑り体に関する。第一複合材料は摩擦層として滑り体の外側を形成し、第二複合材料は摩擦層に面接合された支持体を形成する。摩擦層の繊維束長は支持体の繊維束長よりも著しく短い。摩擦層の繊維束は、これに関して表面に対して垂直に整列されている。摩擦層の表面は１．２ｍｍ以下の直径を持つ遊離炭素の十分に小さな領域からなり、表面上の遊離炭素領域の総面積は３５％以下である。表面は非常に微細なクラック構造であり、摩擦層は実質的に表面近傍に応力を持たない。 （もっと読む）

【課題】研磨液が安定して供給され被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１は、イソシアネート基含有化合物と、予めポリオール化合物に化学発泡剤Ａおよび化学発泡剤Ｂを分散希釈させた分散液と、ポリアミン化合物と、これら各成分に対して非反応性の気体と、を混合した混合液を型枠に注型し硬化させた発泡体をスライスすることで形成されている。化学発泡剤Ａと化学発泡剤Ｂとでは、熱分解する温度が異なっている。研磨パッド１の内部には、混合液中の２種類の化学発泡剤Ａ、Ｂにより、大きさが二極化した発泡３ａと発泡３ｂとが略均等に分散して形成されている。研磨パッドの表面に孔径分布が二極化した開孔４ａ、４ｂが略均等に分散して形成される。 （もっと読む）

硬化剤の存在下、ウレタンプレポリマーを重合させることによって形成された固体生成物は、約３８％未満であるベイショア反発力を有する。好ましくは、該ウレタンプレポリマーは脂肪族イソシアネートポリエーテルプレポリマーであり、該硬化剤は芳香族ジアミン及びトリオールを含有する。微孔質ポリウレタン材料を形成するために、該ウレタンプレポリマーは、界面活性剤の存在下、不活性ガスで泡立てられ、次いで、硬化される。該ポリウレタンを用いて、高制動性化学機械平坦化用パッドであって、低反発力を有し、不規則エネルギーを分散させることができ、且つ、研磨加工を安定させて、改善された均一性及びより小さいわん状変形を生じるパッドを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】
成形時にガス抜きを必要とせず、成形品にボイド、亀裂を生じることなく、かつ、低摩耗性に優れ、耐熱性の良好な摩擦材用フェノール樹脂組成物およびその製造方法並びに摩擦材を提供する。
【解決手段】
ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、アルキル置換芳香族炭化水素樹脂、エポキシ樹脂及び硬化触媒を均一に溶融混合させてなる摩擦材用フェノール樹脂組成物であって、各成分の割合はノボラック型フェノール樹脂３０〜９０重量％、レゾール型フェノール樹脂２〜５０重量％、アルキル置換芳香族炭化水素樹脂５〜５０重量％、エポキシ樹脂２〜５０重量％及び硬化触媒０．１〜１０重量％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい研磨パッド（研磨層）を製造する方法を提供する。
【解決手段】水アトマイズ法にて得られる不規則形状の錫粉末及び／又は錫合金粉末を含む金属成分と、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂及び／又は熱可塑性エラストマーと、有機溶媒とを含有する錫組成物を予め補強層を設置した型に流し込み、その後有機溶媒を除去することにより金属シートを作製する。続いて金属シートを熱ロールプレスし研磨シートの電気抵抗を低下させ、表面の平滑性を向上させる。 （もっと読む）