【課題】密着性のよい強固な膜状構造物をえるための、エアロゾル中の微粒子が、ある特定の方向に拡散しないような構造のノズルと、構造物形成方法および構造物形成装置を提供する。
【解決手段】ガス中に分散させた脆性材料微粒子を含むエアロゾルをノズルより基材６に向けて吹き付けることによって前記脆性材料微粒子を構成材料として含む構造物を基材上に形成するエアロゾルデポジション法による複合構造物作製装置に用いるノズルであって、前記ノズルと製膜対象となる基材６との間の、前記ノズルから吐出されるガスが膨張する少なくとも一部の場所に、エアロゾル吐出方向に略平行となるように障壁５２を設けたノズル。 （もっと読む）

【課題】微粒子が飛散する複合構造物作製装置内で、駆動部への微粒子の進入や付着を防止しながら動作させることができる防塵機能付きアクチュエータ、およびこれを用いた複合構造物作製装置を提供する。
【解決手段】複合構造物作製装置内で使用するアクチュエータ７に対して、筐体または伸縮可能なカバー４２でこのアクチュエータ７を覆い、前記筐体またはカバー４２に設置されたガス導入口５４から内部へガスを流入させると同時に、筐体またはカバーの開口部を最小限に抑え、筐体またはカバー４２の内部を外気より高い圧力に維持することにより、筐体内またはカバー４２内への微粒子の進入を防止する。 （もっと読む）

【課題】膜剥離を確実に防止しつつ高圧電特性の緻密な膜を形成する。
【解決手段】材料粒子１２が収容されたエアロゾル生成器１０に、第１ガス供給管１３から酸素ガスを吹き込み、第２ガス供給管１６からヘリウムガスを吹き込んで、酸素とヘリウムとの混合ガスをキャリアガスとし、酸素ガスによる攪拌で材料粒子１２の流動性を高め、ヘリウムガスによる破砕効果で材料粒子１２の凝集塊を解いたエアロゾルを発生する。そして発生したエアロゾルを成膜室３０に導いて、エアロゾル生成器１０と成膜室３０との差圧により、噴射ノズル２１から基板３１の表面に高速で吹き付け、基板３１の表面に材料粒子１２による膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】安定的に低コストで製造が行われ、フィレットの優先的によるフィン剥がれが起こらない高耐食性の熱交換器用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムまたはその合金からなる基材の表面に、Ａｌより腐食電位が卑なる金属またはその合金もしくはその化合物からなる金属粒子を高速で噴射し、その金属粒子を機械的に付着させて金属付着層を形成する熱交換器用部材の製造方法であって、平均粒径（ｘ）が２５μｍ以下の金属粒子を、温度：２００〜４００℃、粒子速度（ｙ）：１００〜４００ｍ／ｓｅｃで噴射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル・デポジション法を用いた成膜方法において、複雑な機構や装置を用いることなく、膜厚の個体差を少なくする。
【解決手段】基板面４１の成膜すべき有効領域４２にエアロゾル・デポジション法により薄膜を形成するための方法であって、エアロゾル１４の噴射ノズル２０の噴射面２１と基板面４１とを対向させて配置するとともに、当該噴射面と基板面との対向領域が有効領域とそれ以外の無効領域４３との間を往復するようにノズルと基板４０とを相対移動させるステップと、相対移動する対向領域が、有効領域にあるとき、粉体を含んだガスを所定の流量で噴射するステップと、相対移動する対向領域が、無効領域であるとき、所定の流量より大きな流量でガスを噴射するステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ナノ粒子を高いスループットにて堆積させるとともに、ナノ粒子の飛行方向を揃えることができるナノ粒子堆積装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１０には、基板保持部３０に保持された基板Ｗの直下にＫセル４０が配置されている。Ｋセル４０のるつぼ４１にはナノ粒子の原材料となるコバルトが投入される。るつぼ４１の開口部はガス噴出治具５０に覆われて蒸気発生空間４５が形成される。ガス噴出治具５０の上端に設けられたガス噴出板５２には、アスペクト比が１０以上の複数の噴出孔５６が穿設されている。るつぼ４１を加熱してコバルトの蒸気が発生している蒸気発生空間４５にガス供給部６０からヘリウムガスを供給するとコバルトのナノ粒子が生成される。アスペクト比が１０以上の噴出孔５６を通過することによってナノ粒子の飛行方向が同一方向に揃えられる。 （もっと読む）

【課題】スジや透け等の発生を抑制した、均一な膜厚を有する被膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させてエアロゾル化するエアロゾル調製工程と、減圧下、前記エアロゾルを噴射ノズルから被噴射体の表面に噴射して成膜する成膜工程と、を有するエアロゾルデポジション法による成膜方法であって、前記成膜工程は、前記被噴射体８に対する前記噴射ノズル６の相対的な位置を移動させつつ、前記被噴射体８の表面に前記エアロゾル９を噴射する第１の成膜工程と、前記被噴射体８に対する前記噴射ノズル６の相対的な位置を、前記第１の成膜工程における前記被噴射体に対する前記噴射ノズルの相対的な移動の方向と交差する方向に移動させつつ、前記第１の成膜工程において前記エアロゾル９が噴射された前記被噴射体８の表面に、前記エアロゾル９を噴射する第２の成膜工程と、を、少なくとも備えることを特徴とする、成膜方法。 （もっと読む）

【課題】長尺方向と短尺方向とを有する射出開口を備え、気体に固体粒子を分散させて成るエアロゾルを噴射するエアロゾル噴射ノズルであって、このノズルから噴射されるエアロゾルの空間分布や速度分布をより均一なものとするための構造を提案する。
【解決手段】エアロゾルを導入する導入開口３６と、略直交する長尺方向と短尺方向とを有しエアロゾルを噴射する射出開口３１と、導入開口３６から射出開口３１までエアロゾルが通過する流路であって流体が進むにつれて流路面積が小さくなる面積漸減部３３を有するエアロゾル流路３０をエアロゾル噴射ノズル２５に備える。面積漸減部３３の流路断面積を、射出開口３１の長尺方向と略平行な二本の線分８２，８２と二つの円弧８１，８１とで画成されるトラック形（競技場形）とする。 （もっと読む）

【課題】ガス供給量が低減されたガスデポジション装置を提供すること
【解決手段】
上記課題を解決するための、本発明の一形態に係るガスデポジション装置１は、搬送管４に嵌合する位置と嵌合しない位置のいずれかをとる可動部材１５を有するガス規制機構と、微粒子流ｆの流路上の位置とそれ以外の位置をとる吸引口１８を有する吸引機構７とを具備する。
成膜停止時において、可動部材１５が搬送管４と嵌合することで、搬送管４の第１の開口４ｃに流入するガスの流量が規制される。同時に吸引口１８が上記規制されたガス流量を微粒子流ｆの経路上において吸引する。成膜時に搬送管４を流通して微粒子を搬送するガス流量の一部を、成膜停止時において微粒子の排出に流用することにより必要なガス供給量が低減される。 （もっと読む）

【課題】基材に対し十分な耐高温酸化特性を付与することが可能なセラミックス皮膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】セラミックスの含有率が９９質量％以上のセラミックス粒子からなるスプレー粉末を用いて、コールドスプレー法により前記スプレー粉末を成膜させて、前記セラミックスの含有率が９９質量％以上のセラミックス皮膜を形成することを特徴とするセラミックス皮膜の形成方法。 （もっと読む）