【課題】 エアロゾルデポジション装置及びエアロゾルデポジション方法に関し、成膜ノズル内での材料粒子の凝集を起こすことなく、内部結晶構造に歪みを持たない粒径がナノサイズの材料粒子を堆積する。
【解決手段】 成膜基板を保持する基板保持部材と、成膜ノズルとを備えた成膜室と、前記成膜室にエアロゾル用配管を介してエアロゾル状態の材料粒子を供給するエアロゾル発生器と前記エアロゾル発生器にキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段とを設けたエアロゾルデポジション装置の成膜ノズルに、内部断面形状が前記エアロゾル用配管の流入側の断面円形状から楕円形状を介して長方形状へと変化する移行部と、内部断面形状が一定の長方形状の直方体部とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 セリア系固溶体層と安定化ジルコニア層との複合化における元素拡散を抑制することにより、比抵抗率の増加を抑制し、開回路電圧が高い固体電解質形燃料電池セルを提供する。
【解決手段】 固体電解質形燃料電池セル１は、固体電解質層２と、空気極３と、燃料極４とを備え、固体電解質層２は、セリア系固溶体層２ａと、厚みが１μｍ以上の安定化ジルコニア層２ｂとが積層された複合材料で構成される。安定化ジルコニア層２ｂ内において、セリア系固溶体層２ａと安定化ジルコニア層２ｂとの界面から深さが０．３μｍ未満の領域にのみセリウムが存在するように形成する。 （もっと読む）

【課題】成膜工程において微細な粉末が発生し得る成膜装置において、成膜室内に漂ったり、成膜室壁に付着したりして成膜室内に残留する粉末の量を軽減する成膜室外への粉末の漏れを抑制する成膜装置及び成膜室を提供する。
【解決手段】成膜室内に残留する粉末を減少させるために、成膜室内での粉末の主要な流れ方を考慮して、成膜室内を減圧する減圧ポンプが取り付けられる排気口の設置位置を設定し、粉末の排気系への吸い込み量を増やす。 （もっと読む）

【課題】成膜工程において微細な粉末が発生し得る成膜装置において、成膜室外への粉末の漏れを抑制する成膜装置及び成膜室を提供する。
【解決手段】制御手段９によってベント後に成膜室２内を成膜室外と同じ大気圧に保ちながら弱く排気する。この状態で成膜された基板を取り出すために成膜室扉２ａを開けたときに成膜室内向きの気流が発生するので、前記扉を開ける際に、成膜室の内部に残留した微細な粉末が外に漂い出すことを抑止できる。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル化ガスデポジション法によって良好な膜質を得ることが可能なイットリア膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】エアロゾル化ガスデポジション法によって、高純度イットリア膜を成膜する成膜方法であって、平均粒子径が１μｍ以上１０μｍ以下であり、かつ比表面積が１ｍ^２／ｇ以上４ｍ^２／ｇ以下であるイットリア微粒子Ｐを密閉容器２に収容し、密閉容器２にガスを導入することによって、イットリア微粒子ＰのエアロゾルＡを生成させ、密閉容器２に接続された搬送管６を介して、密閉容器２よりも低圧に維持された成膜室３にエアロゾルＡを搬送し、成膜室３に収容された基材Ｓ上にイットリア微粒子Ｐを堆積させる。上記条件を満たすイットリア微粒子を用いることで、緻密かつ、基材への密着力が高いイットリア薄膜を成膜することが可能となる。 （もっと読む）

金属材料、具体的にはアルミニウム若しくはその合金の材料、又は、Ｃｕ及びその合金のような他の非鉄金属の押出用の押出工具又は押出ダイである。ダイは、インサート６，７が設けられたキャビティ４，５を有するダイプレート２，３を備えたモジュール型である。ダイプレート２，３を含み強い熱機械的な要求を有するダイの領域は、ニッケル、鉄又はコバルトベースの超合金で作製されるのに対し、インサート、即ち、ダイのマンドレル６及び／又はベアリング７を含み強い摩擦的な要求を有する領域のダイは、耐摩耗性材料で製造され、この耐摩耗性材料は、高速度工具鋼、析出硬化鋼若しくは熱間加工高合金鋼、又は、ナノ粒子若しくはＣＶＤのような皮膜が与えられる任意の適切な鋼タイプとすることができる。
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【課題】従来の金属ペースト組成物を用いたスクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等とはその成膜原理が異なるエアロゾルデポジション法を用い、溶液や樹脂成分を含まない溶液，樹脂フリーの原料から、均一かつ密着性の高い金属薄膜からなる電極又は配線パターンを形成することができる方法を提供する。
【解決手段】金属粒子１６をエアロゾル化し、このエアロゾル化した金属粒子を基板１１上に吹き付けることにより、基板１１上に金属薄膜からなる電極又は配線パターンを形成する方法であって、上記金属粒子１６が、平均粒子径０．０８〜１０μｍの範囲であり、かつレーザー回折散乱式粒度分布測定法による累積粒径を微粒側から累積１０％、累積５０％、累積９０％に相当する粒子径をそれぞれＤ₁₀、Ｄ₅₀、Ｄ₉₀としたとき、（Ｄ₉₀−Ｄ₁₀）／Ｄ₅₀が０．１〜２．５の範囲にある粒度分布を持つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】チタン合金等の難削材の切削加工において、付着強度、靭性、耐摩耗性に優れた複合硬質膜を被覆形成した表面被覆切削工具を提供すること。
【解決手段】工具基体の表面に、Ａｌ_２Ｏ_３，ＴｉＮ，ＴｉＣＮのうちの少なくともいずれかと、Ｂ_４Ｃとの複合硬質膜が形成された表面被覆切削工具であって、工具基体の表面と平行な平面におけるＢ_４Ｃの占有線分と、Ａｌ_２Ｏ_３，ＴｉＮ，ＴｉＣＮの占有合計線分を比較したとき、工具基体側ではＡｌ_２Ｏ_３，ＴｉＮ，ＴｉＣＮの占有合計線分比率が高く、また、表層側ではＢ_４Ｃの占有線分比率が高くなる線分比率傾斜構造を備えている表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】ニッケル、及び、コバルト基の耐熱合金をコールドスプレーによって高効率，低コストで成膜することを可能とし、低入熱，低コストの耐熱部材の製造及び補修方法を提供する。
【解決手段】耐熱合金を構成する元素の内から選択された組成を有し、かつ、その総和が前記耐熱合金の組成となるよう選択された、複数種類の金属粉末を選択する工程と、前記複数種類の金属粉末粒子が溶融しない温度に保たれた超音速ガス流を形成し、この超音速ガス流中に前記複数種類の金属粉末を投入し、粉末粒子を基体に超音速で衝突させて、金属基体上に前記複数種類の金属粉末の混合皮膜を形成する工程と、前記複数種類の金属粉末の混合皮膜を形成した金属基体に熱処理を施し、堆積層を均質化，合金化して、目的の耐熱合金の堆積層を得ると共に、金属基体と皮膜との間で拡散を生じさせて両者の密着を強固にする、熱処理の工程とを有する方法で、耐熱合金皮膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 鉛を含まない高い圧電定数を有する圧電膜を使用した高性能、かつ、温度特性に優れた圧電膜型アクチュエータおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板１上に形成された圧電膜２とこの圧電膜２に電圧を印加するための下部電極３および上部電極４とからなり、この両電極間に電圧を印加することにより圧電膜２に生ずる変位を利用して物体の駆動を行う圧電膜型アクチュエータであって、圧電膜２は粒径が０．２〜０．５μｍのチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）の多結晶から構成されている。圧電膜２はエアロゾルデポジション法により形成され、その後、８５０〜１１００℃の温度で熱処理される。 （もっと読む）