【課題】 本発明は，対象物の洗浄を行う際に用いる水の洗浄力を効率的に高めることができるとともに，コーティング（対象物への被膜形成）を行う際の作業効率を高めることができる洗浄及び被膜形成装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の洗浄及び被膜形成装置１００は，対象物の洗浄や対象物への被膜形成を行うためのものであり，コート液を収容するコート槽１と，コート槽１と接続された混合加電槽２と，混合加電槽２に接続する水供給装置３と，混合加電槽２の送出口と接続された放出装置４とを有する。また，コート槽１と混合加電槽２との間には，弁５が設けられている。混合加電槽２は，槽内の液体を混合し，混合した液体に電気を通すものである。そして，洗浄時には，混合加電槽２へのコート液の供給がなされず，被膜形成時には，混合加電槽２へとコート液が供給される。 （もっと読む）

【課題】微細な穴を有する板状体を処理液に浸漬して行う湿式処理において、穴に気泡が残留することをより十分に抑制し、より均一な湿式処理を実現することが可能な湿式処理方法及び湿式処理装置を提供する。
【解決手段】密閉容器１１内に板状体３を保持した状態で密閉容器１１内を減圧する減圧工程と、減圧工程の後，密閉容器１１内が減圧された状態で密閉容器１１内へ処理液２に溶解可能な溶解性気体８を導入する溶解性気体導入工程と、溶解性気体導入工程の後，密閉容器１１内が溶解性気体８で充満された状態で密閉容器１１内へ処理液２を導入する処理液導入工程とを備えることにより、微細な穴に気泡が残留しない状態で基板３の湿式処理ができるようにしている。 （もっと読む）

【課題】部品洗浄に有機溶剤洗浄液、炭化水素洗浄液、臭素系洗浄液、アルカリ系洗浄液の洗浄剤を使用すれば、気化した有害物質によるオゾン層の破壊、水質汚染等が発生する。
【解決手段】加温洗浄槽と油分を分離する油分回収槽と、中性洗浄剤を循環させる循環ポンプと、前記循環ポンプからの送りだされる中性洗浄剤の流量を手動設定する流量手動設定部と、常温洗浄する常温洗浄槽と、洗浄機を制御する制御部からの構成からなり、中性洗浄剤を加温洗浄槽と油分回収槽と常温洗浄槽とを循環させる構成で洗浄運転中に、油分を手動又は、自動回収する中性洗浄剤を用いる洗浄機。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄方法を得る。
【解決手段】薄板コイルとされた処理対象物１０は、洗浄槽１４に収容され、貫通孔の貫通方向一端側がキャップ３８によって塞がれる。洗浄槽１４の内部は真空ポンプ３０によって負圧にされる。また、洗浄液は、キャップ３８における処理対象物１０側へ通じる開口部を経て処理対象物１０の貫通孔へ供給される。このため、洗浄液は、負圧の作用によって、貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動する。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明の実施形態は、一般的には、チャンバ構成部品の外部位置洗浄のための方法及び装置に関する。一実施形態では、洗浄化学物質で構成部品を洗浄するためのシステムを提供する。システムは、洗浄プロセス中洗浄すべき１つ又はそれ以上の構成部品を保持するための洗浄槽組立体を含むウェットベンチ装置と、洗浄プロセス中１つ又はそれ以上の洗浄化学物質を洗浄槽組立体に供給するための、洗浄槽組立体と着脱可能に連結された着脱可能な洗浄カートを含む。 （もっと読む）

【課題】金属表面の付着物に対する洗浄能力が十分高く、大気等の環境に排出しても環境を汚染せず、大型の設備を必要としない金属部材の表面処理方法および表面処理装置を提供する。
【解決手段】加熱および加圧された水を自己生成２流体ノズル１０１から金属条１ａの表面に噴射して、加熱および加圧された水を常圧下にて沸騰させることにより気液２流体（自己生成２流体）を生成し、金属条１ａの表面の油状物質を除去するものである。 （もっと読む）

【課題】微細気泡を用いた効率的な洗浄を行うと共に、洗浄液の清浄度を確保可能な洗浄装置を得る。
【解決手段】第１および第２の仕切り１１、１２により形成された旋回状の流路部１４を有する洗浄槽１０と、旋回状の流路部１４に微細気泡と洗浄液の混合による流れを発生させ、旋回状の流路部１４内で被洗浄物を洗浄する気液混合エジェクタ２０と、洗浄後の洗浄液から油脂や異物などを分離する油水分離槽５０を備える。 （もっと読む）

【課題】装置を小型化でき、被洗浄物を容易に乾燥することができるようにする。
【解決手段】洗浄籠内に被洗浄物を収容した状態で洗浄する方法において、洗浄時、洗浄液供給手段を用いて処理槽に洗浄液を供給して洗浄籠内に収容した前記被洗浄物を洗浄し、洗浄後、前記洗浄液供給手段を用いて前記処理槽に供給された洗浄液を前記洗浄液供給手段に回収し、すすぎ時、すすぎ液供給手段を用いて前記処理槽にすすぎ液を供給し、すすぎ終了後、前記すすぎ液供給手段を用いて前記処理槽に供給されたすすぎ液を前記すすぎ液供給手段に回収し、乾燥時、ノズルを有する乾燥手段を用いて前記ノズルを前記処理槽の前記洗浄籠内に進入させて熱風を前記被洗浄物に吹き付けるとともに、排出手段を用いて乾燥時に出る液体を前記処理槽から排出し、乾燥後、前記乾燥手段を用いて前記ノズルを前記洗浄籠及び前記処理槽から退出させる。 （もっと読む）

【課題】反応容器内を過熱蒸気で充満させる時間の短縮化を図りながら、反応容器内を良好に均温化させることができる加熱処理装置を提供すること。
【解決手段】横倒し円筒状の形態を成し、供給口２１１を通じて内部に供給された被処理物を過熱蒸気供給手段３０より供給された過熱蒸気により加熱処理させ、この加熱処理により生じた排気ガス及び固形物を排気口２２１及び排出口２２２よりそれぞれ排出する反応容器２０を備えた加熱処理装置１０において、過熱蒸気供給手段３０は、反応容器２０の軸方向に沿って延在する過熱蒸気分散配管３１と、過熱蒸気分散配管３１に反応容器２０の軸方向に沿って所定の間隔毎に配設され、過熱蒸気分散配管３１の内部の過熱蒸気を反応容器２０内に噴出させる過熱蒸気噴出配管３２とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物に付着した油等の汚れを確実に除去することができる洗浄ノズル及びこの洗浄ノズルを備えた安価な洗浄装置を提供する。
【解決手段】下端側開口であるエアー噴射口５７は斜め下方（図では上方）を向くように曲げられている。従って、エアー噴射口５７から噴射されたエアーによって、洗浄ノズル５の回転ヘッド１１５が時計回りまたは反時計回りの方向に回転し、その下側に渦状の気流を発生させる。水噴射口９５から噴射された水はその渦状の気流に巻き込まれ、渦状の水流となって落下しコンテナＣに衝突する。従って、コンテナＣが洗浄ノズル５の下側を通るときには、コンテナＣの内側の底面や側面のようなところにも水が衝突してしっかり洗浄される。 （もっと読む）