【課題】ウェハの電解加工工程、洗浄工程及び乾燥工程を１つのモジュールに集約し、各工程でトラブルが生じても、他のモジュールにて加工処理されるウェハの搬送を停滞させないようにする。
【解決手段】ウェハＷの電解加工を行う電解加工部２と、該加工後のウェハを洗浄する洗浄部３と、前記ウェハＷを乾燥させる乾燥部４とを備え、該電解加工部２、洗浄部３及び乾燥部４は同一の加工処理室５に設けて１つにモジュール化する。これにより、ウェハＷの電解加工程、洗浄及び乾燥は１箇所にて連続的に実施される。 （もっと読む）

【課題】電解加工中の導電性膜の除去加工状況を確認しつつ導電性膜を均一に除去し、導電性膜の取り残しや削り過ぎを無くすことができる、ウェハ表面の導電性膜を電解研磨により除去する電解加工の加工量制御方法及び電解加工装置を提供する。
【解決手段】電解加工装置１は、電解加工の進行に伴うウェハＷの導電性膜Ｍの除去領域と未除去領域との加工境界部分Ｓの色変化を電気信号として検出する膜Ｍ色変化検出手段１９と、膜色変化検出手段１９で検出した色変化の検出信号に基づいて前記導電性膜Ｍの加工境界位置と加工進行速度を算出するコントローラと、該コントローラで算出した加工境界位置及び加工進行速度を表示するモニタ装置とを備える。加工ヘッド３はウェハＷの中心Ｏから外周部に向けて移動して導電性膜Ｍを除去加工し、除去加工中に導電性膜Ｍの加工境界位置及び加工進行速度を監視しつつ、電解加工量を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、筒状の洗浄対象物であっても、洗浄対象面を損傷させることなく好適に電解洗浄を行うことができる電解洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る電解洗浄装置は、電解洗浄液を収容する洗浄槽２内において、陰陽一対の電極１０，２０間に洗浄対象物６０を配置するとともに、これら一対の電極１０，２０及び洗浄対象物６０を電解洗浄液中に浸漬して通電し、電解洗浄を行う電解洗浄装置であって、前記洗浄対象物６０は、洗浄対象部位６１を外周側に有する筒状体であり、前記一対の電極１０，２０のうちの一方の電極１０が前記洗浄対象物６０を保持して該洗浄対象物６０と電気的に接続し、前記一対の電極１０，２０のうちの他方の電極２０が洗浄対象部位６１と間隔をあけて配置され、且つ、前記洗浄対象部位６１の少なくとも一部と対向するような構成となることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対象物内に孔を形成する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、対象物内にスタート孔を形成する段階と、それを実質的に囲む少なくとも１つの絶縁セクションと少なくとも１つの非絶縁セクションとを有する電解加工電極を準備する段階と、第１の断面積を有する少なくとも１つの第１のセクションと第２の断面積を有する少なくとも１つの第２のセクションとによって形成された孔を形成するのを可能にするようにスタート孔内に電極を挿入する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】電極の下部絶縁部材の側面に堆積する中性塩のスラッジに起因して、当該電極とそれを受ける電極座間の絶縁抵抗が下がるのを効果的に阻止することができ、電極周りに配置される絶縁部材の交換周期を延長できるステンレス鋼帯の電解設備における電極の絶縁装置を提供する。
【解決手段】電解槽に固定した電極座上に電極周りの絶縁部材を介して電極を載せる絶縁構造と、当該電極を受ける電極座よりも大きい非導電性の仕切り板を有し、この非導電性の仕切り板を当該電極の下部絶縁部材の下面に配置して絶縁装置としてなる。 （もっと読む）

【課題】 治具を使うことなく電解研磨処理を行なうことができ、しかも、処理のたびに化学研磨のように溶液（電解液）を入れ替える必要がないという電解研磨装置は存在していなかったという点である。
【解決手段】 電解研磨装置は一対の相対向する支持板間に、駆動モータと伝動されるギア機構で回転される断面正多角形としたバレルを有し、そのバレルの回転中心部分に固定された軸状カソードを備え、かつ、バレルの多面体とされた壁板の略中心部分に、バレルと同期して回転する帯状アノードを備えていることとする。 （もっと読む）

【課題】金属材料の分析用試料を調製するのに適した電解研磨方法を提供する。
【解決手段】研磨対象物Ｐの表面を電解研磨するにあたり、電解槽１３に一対の電極１４，１５を設けるとともに、電解槽内に電解液を入れ、回転子２５の回転によって電解液を攪拌し、一対の電極の一方を籠状電極１５とし、この籠状電極に研磨対象物を搭載し、籠状電極を電解液中で上下動させながら、一対の電極間に通電して電解研磨を行う。電解槽の周囲を冷却水によって冷却するのがよい。また、一対の電極に対する通電の方向を所定の時間間隔で切り換えるのがよい。 （もっと読む）

【課題】電解処理によりめっき前処理を行う場合に、被処理材と給電部とを接触させることなく被処理材に給電し得るめっき前処理方法を提供すること。
【解決手段】プリント配線板製造工程で、被処理材３を水平または垂直に搬送しつつ陽極１および陰極２を有する電極の対を用いて連続的に処理するめっき前処理工程において、処理槽４内に、１以上の前記電極の対を配置し、前記電極と前記被処理材との距離を前記陰極と前記陽極との間の距離の１／４以下とし、前記電極の対間に直流電流を流すことにより、前記被処理材に電極を直接接触することなく、前記被処理材を電解処理することを特徴とするめっき前処理方法。 （もっと読む）

【課題】試料と電解棒との間に電解液を浸して電圧を印加し当該試料の表面を電解研磨する電解研磨方法、電解研磨装置およびその電極棒に関し、電解液の発熱による沸騰を低減し、簡易かつ確実に試料の表面の研磨を行うと共に電解液を簡易かつ確実に自動補給し、平面のみならず、小さな穴の内部も研磨することを目的とする。
【解決手段】パルス状のパルス電圧を発生し、休止期間を経過した後にパルス状のパルス電圧を発生することを繰り返すステップと、発生したパルス電圧を、電極棒の先端と試料との間に供給するステップとを有する。電極棒として、支持部１１の先端に、種々の形状に加工したスポンジ状の先端部１２，１３を交換可能に装着する。また支持部の内部に電解液を含んだカートリッジあるいはスポンジ状部材を設け、電解液を先端部に補給する。先端部に電解液を含ませて試料面に軽く接し、擦ることにより研磨を行う。 （もっと読む）

【課題】ルテニウム膜の表面の不動態層（酸化ルテニウム）を除去した後、連続して電解めっきを行うことができ、しかもルテニウム膜の表面の不動態層（酸化ルテニウム）を除去する時のターミナルエフェクトを改善できるようにする。
【解決手段】基板上のルテニウム膜をカソードとした電解処理により該ルテニウム膜表面に形成された不動態層を電気化学的に除去する電解処理装置２２と、基板上のルテニウム膜の表面に電解銅めっきを行う電解銅めっき装置２４と、電解前処理部２２と電解銅めっき装置２４とを収容する装置フレーム１２とを有する。 （もっと読む）