本発明は、連続装置、又はコンベヤーベルトに沿って回転する移送及び接触手段（２）を有する鋼浴装置において、板状材料（１）又はストリップ状材料（１）を電気めっきし且つ電解エッチングするための方法及び装置に関する。従来技術によれば、電解電流は材料（１）の一つの縁から又は両方の縁から供給される。片側供給は、好ましくない層厚分布をもたらす。両側供給によって、移送の方向に対して直角においてのみ、材料の一つの型の生産が可能となる。本発明によれば、電流は、材料（１）の中央において、すなわち有用領域において、材料（１）に供給され、このため、電流が両縁から供給されるときと少なくとも同等に良好な層厚分布が得られる。本発明によって、さらに、任意の型の幅及び異なる外形の材料が任意の順序で電解処理されることが可能となる。
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本発明は、その外側端部中に電気的接点を含む材料(1)を電気メッキするための、殊に、たとえば、カッププレーター中のウエハなどの基板の電気メッキするための方法および装置に関する。均一な電気メッキという結果を得るために、少なくとも2つの部分的な電解セルが、形成され、それらは、個別に調節することができる、それぞれの電気メッキ電流源(9')および(9")によって、電流が給電される。部分的なカソード(12')および関連する部分的なアノード(7')が、直径方向に遠く離れた部分的なカソード(12")の領域中で給電される。逆に、部分的なカソード(12")は、部分的なカソード(12')の基層を介して、給電される。層厚さ分布の要求される平坦化が、とりわけ、2つの部分的なセルへの電気メッキ電流の量を交互に異なるように調節することによって、および電極(7、12)を互いに対して回転させることによって、実施される。
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本発明は、材料が対向する縁部で右側及び左側のコンタクト（３‘，３“）によって電気的に接触接続された状態で連続設備又は浸漬浴設備内の基体を電気化学的に処理することに関する。従来技術では、搬送方向に対して横方向で見て、材料の中央領域に最小値を有する異なる強度の処理が行われる。材料に完全に均一な電気めっきを施すために、本発明によれば、搬送方向に対して横方向で見て、個々のアノード（７‘，７“）及び整流器（６‘，６“）を備えた２つの、好ましくは同じ大きさの電解槽（８‘，８“）が、右側及び左側の要素として配置される。右側の槽（８‘）にはカソード側で左側のコンタクト（３“）を介して電気めっき電流が供給され、左側の槽（８“）には相応に右側のコンタクト（３‘）を介して電気めっき電流が供給される。それぞれの側で時間的に交互に作用する両槽（８‘，８“）における電流が異なる大きさに設定されていることにより、材料（１）の処理は、両側の整流器（６‘，６“）の電流強度を制御し又は調整するだけで、極めて正確に、すなわち一様に調節されることができる。
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複数の被加工品を同時にコーティングするか、又は複数の被加工品から同時にコーティングを除去するための装置であって、複数の被加工品は電解質が貫流する共通の流れダクト内に配置されており、各被加工品は少なくとも１つの構成部品電極と導電接続されていてかつ少なくとも１つの槽電極（５）に対して電気的に絶縁されており、複数の流路と、電解質を複数の流路に分配する流れ分配器とが流れダクト内に配置されており、少なくとも１つの槽電極は複数の流路のうち１つの流路内に配置されている。
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【課題】樹脂層と金属層とを積層してなる複合材料を電解脱脂しても端部からの剥離が生じ難く、十分な脱脂を行うことができる電解脱脂装置及び電解脱脂方法を提供する。
【解決手段】樹脂層２１と金属層２２とを積層してなる複合材料２０の電解脱脂装置１であって、金属層に対向する主電極２と、主電極より複合材料の端部２０ｅ側に位置する補助電極４と、金属層と主電極との間に電流を流すための第１電源６と、主電極にアノード側が接続され、補助電極にカソード側が接続される第２電源７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】タンクを電解処理する浴槽枠の提供。
【解決手段】タンク内周面の電解処理をする浴槽枠を前提とする。そして本発明の浴槽枠は、タンクの内周面の形状に符合する外周形状の部分環状の底板と、底板の外周面に対応する側にタンクの軸方向に立設した枠体と、枠体の上端から底板とタンク周面と間の下方に渡って垂らされたシートと、タンクの中心に立設された支柱と、底板を、支柱に対してタンク内の所定位置に保持する連結バーと、底板の外周面を、支柱に対してタンクの内周面に押圧して、底板の外周面とタンクの内周面の間の液蜜性を保持するプレスバーと、底板と、枠体とで形成される小浴槽枠と、小浴槽枠をタンク周面の全面に渡って配設した浴槽枠。 （もっと読む）

金属製ステントを電解研磨するための装置及び方法が記載される。該装置は、低い熱伝導性の材料から作られた電解研磨用容器を含み得る。該装置は、電解溶液中で溶液の撹拌及び／又は電圧分布を最適化するために、少なくとも１つのらせん状カソードを含み得る。更に、電解溶液が記載される。一貫して滑らかな表面を生じるために改良された研磨方法が記載される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電極と饋電配線との接続部における発熱を効果的に抑止できる給電接続構造、および前記給電接続構造によって電極に饋電配線が接続された電解処理装置の提供。
【解決手段】少なくとも一方の端部が端面に向かって縮径する棒状電極１０と、導体から形成され、饋電配線４が接続されるとともに、側壁面が底面に向かって縮小するように形成された凹陥部である内腔３を有し、棒状電極１０の縮径部１０Ａが内腔３に挿入される給電部材２と、棒状電極１０の縮径部１０Ａに装着された給電部材２を縮径部１０Ａに向かって押圧するコイルバネ１３と、を有し、給電部材２は、棒状電極１０の縮径部１０Ａに装着された状態において、内腔３の側壁面３Ａが縮径部１０Ａの外周面に密着し、内腔３の底面３Ｂと縮径部１０Ａの端面１０Ｂとの間に隙間が生じるように形成されている電極の給電接続構造。 （もっと読む）

【課題】電解研磨における研磨ステップの終了点を検出するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】電解研磨システムは、電解液を通る電流を送出するように構成された電源を有する。電源が供給する電気信号の信号特性を監視して研磨終了点を決定する。例えば、監視信号特性は電流および電圧を含む。別の実施形態では、電流は研磨で除去した材料量に関連付けられ、全時間にわたる電流を監視することによって研磨で除去した材料の全量を決定することが出来る。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの金属膜等を、研磨圧力を低下させても高い研磨速度を維持しながら平坦化して配線形成できる電気化学的機械的研磨用の金属膜の研磨方法及び基板研磨体を提供する。
【解決手段】通電用電解液収容部Ｆ１と研磨用電解液収容部Ｆ２とを連結路Ｆ３で連結し、金属膜Ｄ１とアノード電極６２とが電解液Ｅを介して電気化学的に結合した通電用電解セルＣ１と、金属膜Ｄ１とカソード電極６４とが電解液Ｅを介して電気化学的に結合した研磨用電解セルＣ２とを、連結路Ｆ３内の電解液Ｅを介して電気化学的に接続した。 （もっと読む）