【課題】窒化ガリウム基板を製造するための窒化ガリウム結晶体および基板の側面に形成される窒化物堆積物を効率よく除去して、窒化ガリウム結晶体を製造する方法および窒化ガリウム基板を製造する方法が提供される。
【解決手段】窒化ガリウムと異なる材料から成る基板９上に気相成長法で成長された窒化ガリウム結晶体２４から窒化ガリウム基板を製造する方法であって、成長によって、窒化ガリウム結晶体２４の側面および基板９の側面上に窒化物堆積物２６が形成される。この方法は、窒化物堆積物２６を外周加工により除去する工程と、この外周加工の後に、基板９をエッチングにより除去する。エッチング後に残余の窒化物堆積物２６ｅを除去する工程とを備える。 （もっと読む）

ニオブ酸リチウムおよびタンタル酸リチウムの結晶をプリコンディショニングするための方法および装置。結晶の表面の少なくとも一部を、１もしくは複数の活性な化学物質を含有する凝縮された材料により被覆する（１１０）。該結晶を非酸化性環境中で、活性な化学物質が被覆された表面部分の下の結晶を還元することに貢献する活性化温度より高い温度に加熱する（１２０）。該結晶を、活性化温度より高い温度から、活性な化学物質が結晶を還元するためにほぼ不活性になるような急冷温度より低い温度に冷却する（１３０）。
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