【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部の圧油を供給・吸引するランド圧油供給吸引手段７、８と、を備え、外乱力による軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制するようにランド部へ圧油を供給またはランド部の圧油を吸引することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】流体軸受けにおける作動流体の利用効率を向上させる。
【解決手段】第一部材および第一部材の表面に沿って移動する第二部材の間隙３０１に気体を供給する圧送部３４０と、間隙３０１から気体を圧送部３４０に帰還させる帰還部３９４とを備える。上記帰還部３９４は、圧送部３４０から間隙３０１に供給された気体が、間隙３０１から外部に向かって流れる過程で、間隙３０１から気体を帰還させてもよい。上記圧送部３４０および上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて、第二部材と共に移動してもよい。上記圧送部３４０は、加圧された気体を収容したタンクを含んでもよい。上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて第二部材と共に移動しつつ、第一部材および第二部材の間から漏れ出す気体を吸引して回収する回収部を更に有してもよい。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４、５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのリセス体積を増減する体積増減手段７、８と、を備え、変位センサ９、１０により検出された変位を抑制するように、体積増減手段７、８によりリセス体積を増減することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受にて支持されたスピンドルにベルトを介して回転動力を伝達する回転動力伝達装置において、作業性が良く、より高精度にベルト張力を測定することができる回転動力伝達装置を提供する。
【解決手段】静圧軸受は、スピンドルＳに対向しているハウジングの対向面に形成された、円周方向に並べられた複数の静圧ポケットＰＲ１〜ＰＲ４にて構成され、各静圧ポケットは、回転軸ＴＺを挟んで互いに対向する位置に配置されており、スピンドルは、ベルト２２の張力にてベルト引張り方向に引張られている。回転軸に対してベルト引張り方向に位置している静圧ポケットである増負荷静圧ポケットＰＲ２と、増負荷静圧ポケットに対向する位置の静圧ポケットである対向静圧ポケットＰＲ４と、に加えられている負荷を測定可能な負荷測定手段Ｓ１、Ｓ２を備え、負荷測定手段にて測定した負荷に基づいて、ベルトの張力を算出する張力検出手段５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】主軸装置と工作物とを相対移動させて工作物を加工する工作機械における、衝突時の損傷防止機能を提供する。
【解決手段】主軸２を保持する軸受け４を外輪ケース５により保持し、外輪ケース５は、衝突時の軸方向負荷が所定の値を超えたに場合に、転がり軸受け４主軸２と共に後方へ移動する。衝突検知センサ３により衝突を検知すると、所定時間内に主軸送りモータを停止させる。外輪ケース５の後退ストロークは、衝突開始から主軸送りモータが停止までに要する時間より衝突時の外輪ケース５の後退時間が長くなるように、設定されている。このことにより、主軸２と工作物１１の衝突時に所定の値以上の力が転がり軸受け４に負荷されないので転がり軸受け４を損傷することなく工作機械を停止できる。 （もっと読む）

【課題】制御手段が停止した場合のテーブルの惰性進行をバネの反力により抑制し、テーブルに過度の負荷が発生したエマージェンシーにおいてのみ静圧軸受けを接地させる２段構えのフェールセーフ機構を実現できるようにする。
【解決手段】本体ベース１と、本体ベース１上で静圧軸受け３，４により空気浮上され、リニアモータによりＹ方向に移動し、保持した基盤等を所定の位置まで搬送する位置決めテーブル機構５を備えた基盤搬送装置において、本体ベース１上に設置され、伸縮動作により突出し、テーブル機構５と接触してＹ方向への進行を抑制するよう構成されたリーフスプリング１０と、リーフスプリング１０が一定量以上変位したときに押下されるリミットスイッチ１１と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】自動調心機能を持つ、組立て部品化した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受１を軸の外周面に対向配置される内筒筐体２と、ハウジングＨの内周面に対向配置される外筒筐体３とから成し、内筒筐体又は外筒筐体の互いに対向する面にラジアル軸受面３ａ及びスラスト軸受面３ｂを設け、軸受面を静圧気体軸受の内部に設ける。ラジアル軸受隙間に対して裏側の面にＯリング４を設け、スラスト軸受隙間に対して裏側の面であって、Ｏリングが備えられた筐体にバネ５を設け、Ｏリングとバネに軸とハウジングとの不均一な隙間量を吸収させるとともに、外筒筐体を軸とハウジングとの角度変化に追従して連続的に首を振るように動かす。 （もっと読む）

【課題】従来の静圧軸受よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受および圧力制御ユニットの提供。
【解決手段】軸受面１Ａを有する軸受本体１と、軸受本体１の軸受面１Ａに圧力油を吐出する吐出流路３と、軸受本体１の内部に形成され、吐出流路３に圧力油を供給する圧力油供給室２と、圧力油供給室２内部に収容され、吐出流路３に供給される圧力油の流量を制御する弾性ヒンジ機構１０と、圧力油供給室２に圧力油を供給する給油流路４と、を備え、弾性ヒンジ機構１０は、絞り板１１と、絞り板１１を案内する保持板１２およびリンク板１３と、絞り板１１を付勢して所定の位置に保持する弾性ヒンジ１４と、を備える静圧軸受および圧力制御ユニット。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

静止部材と、静止部材に対して回転可能な回転可能部材と、静止部材と回転可能部材とを相互に接続し、潤滑流体によって分けられる作動面を有するハイドロベアリングとを含み、潤滑流体は、少なくとも１１０の粘度指数を有する少なくとも１つの合成エステルベース流体と、１０から５０００ｐｐｍの少なくとも１つの導電性誘導剤と、潤滑流体の全重量を基準として、０．０１重量％から５重量％の少なくとも１つの酸化防止剤と、潤滑流体の全重量を基準として、０．０１重量％から５重量％の少なくとも１つの耐摩耗添加剤とを含む、ディスクドライブスピンドルモータ。
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