【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路１３と、流体流路１３の途中に設けられ、ダイアフラム４３と、弁座４５と、ダイアフラム４３と弁座４５に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部４４ｂを有し、ダイアフラム４３の変形により、ダイアフラム４３と弁座４５との間の絞りの開度Ｄと、絞り空間部４４ｂの体積が変動する可変絞り４０と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム４３を変形させるダイアフラム変形手段５０と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Ｄと絞り空間部４４ｂの体積の変動を制御する制御手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、静圧ポケットの圧力低下を抑制することで、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受面に設けられた静圧ポケット１１と、静圧ポケット１１に加圧流体を供給する流体供給手段Ｐと、流体供給手段Ｐから静圧ポケット１１に至る流体の通路を形成する流体供給流路１３と、流体供給流路１３の途中に設けられた供給側絞り手段４０と、静圧ポケット１１からドレン２３に至る流体の通路を形成する流体排出流路１５と、流体排出流路１５の途中に設けられた排出側絞り手段６０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありながら、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受の機能を併せ持たせることができる永久磁石磁気軸受を提供する。
【解決手段】 永久磁石磁気軸受は、インナー磁石１０とアウター磁石２０とを有し、インナー磁石１０の外周には、軸線から垂直なラジアル方向に略三角形に突出した突出部１２を形成すると共に、中心側と外周側が互いに異なる磁極に着磁される。また、アウター磁石２０は、突出部１２に対向する内周面を有し、突出部１２の頂部に対応する平面で二分割され、中心側と外周側が互いに異なる磁極に着磁される。そして、インナー磁石１０の突出部１２と、この突出部１２に対応するアウター磁石２０の内周面とは同極の磁極を有して、所定間隔で対向配置する。インナー磁石１０の略三角形の突出部１２と、アウター磁石２０の内周面とが同極のため、磁気的な反発力によってインナー磁石１０がアウター磁石２０の内周面に非接触で保持される。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】回転体のナノメートルオーダーの回転精度を向上させる。
【解決手段】本発明の静圧気体軸受は、回転体２４が回転軸２０の径方向へ鍔状に突出するスラスト部１９を有している。スラスト部１９の一方の面および他方の面が回転軸２０と垂直に交わる仮想平面２１と平行である。ハウジング１２には、スラスト部１９の一方の面および他方の面に対向する部位にそれぞれ一方の多孔質体１３および他方の多孔質体１４が配置されている。各多孔質体１３、１４表面の前記仮想平面からの距離の不均一を補償するように各多孔質体１３、１４からの気体の流出量を表面の孔の開口量によって変化させる。 （もっと読む）

【課題】 スピンドルの駆動モータやスピンドル軸受部等から発生した熱を効率よく冷却し、外部の真空環境に対しアウトガス等の発生を抑えて真空環境を所望の清浄度に保つと共に、シール部材の劣化を防止し得る冷却構造を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、回転軸２と、回転軸２を支持しこの軸心回りに回転自在に支持する静圧気体軸受３と、モータ４とを備える。ハウジング本体１Ａ，１Ｂの表面と、同ハウジング本体の表面に重ねられる閉塞部材３２，３４との間に冷却液が循環する流路３３，３５を設け、両者の重なり面に介在して流路３３，３５を密封するシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを流路３３，３５に対して内外に並ぶ２重構造に設ける。２つのシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを互いに材質の異なるものとする。 （もっと読む）

【課題】スラスト給気孔から供給する加圧空気で形成されるスラスト空気軸受のスラスト力を高めて、回転軸の自重をスラスト空気軸受のみで支持することができ、かつスラスト空気軸受及びラジアル空気軸受に供給する加圧空気の圧力を独立に制御してそれぞれの剛性を独立に制御することができる縦型バランス計測装置を提供する。
【解決手段】羽根車１ａがシール円板１ｂより大きい外径の円形端面１ｅをシール円板側に有しており、縦型バランス計測装置が、回転軸１をその軸心を鉛直に保持して支持する軸受マウント１０を備える。軸受マウント１０は、羽根車の円形端面１ｅの下面に加圧空気を供給するスラスト給気孔１２と、ラジアル支持用の円筒部１ｃに加圧空気を供給するラジアル給気孔１４と、スラスト給気孔１２とラジアル給気孔１４の間に位置しその間から加圧空気を排気するスラスト側排気孔１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】エアースライド装置の軽量化を目的とする。
【解決手段】ガイドレール１２と、このガイドレール１２の上面部１２１と対向するパッド取付面１４１を有する可動体１４と、この可動体１４の前記パッド取付面１４１に埋設された複数の静圧気体軸受パッド１６とを備え、前記ガイドレール１２の上面部１２１に向けて前記静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により前記可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置１０において、前記ガイドレール１２と前記可動体１４の少なくともどちらか一方の少なくとも一部を、炭素繊維プリプレグの積層体からなる炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）で形成したことを特徴とするエアースライド装置１０。 （もっと読む）