【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、好ましくは、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に環状シール部材３を介して締結部材４により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】気体の運動エネルギーを高効率で回転駆動力に変換するスピンドル装置及び静電塗装装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置のタービン翼９は、回転方向の前方に向く前方面２１と後方に向き気体を受ける後方面２２とを備えている。後方面２２は、曲率半径Ｒ１を有する凹状円柱面であり、前方面２１は、Ｒ１よりも大きい曲率半径Ｒ２を有する凸状円柱面２１ａと平面２１ｃとの間に、Ｒ１よりも小さい曲率半径Ｒ３を有する凸状円柱面２１ｂを配して滑らかに連続させた面である。前方面２１を構成する３面のうち凸状円柱面２１ａが凸状円柱面２１ｂを挟んで流路の流入口側に配され、平面２１ｃが流路の流出口側に配される。隣接するタービン翼９の対向する前方面２１と後方面２２とに挟まれた空間が、気体の流路を構成し、ノズル１０から噴出された気体が流路の流入口３１から流入し、凹状円柱面の円弧状湾曲に沿う方向に流れて流出口３２から流出する。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受の軸受案内面の精度が不十分であったとしても、移動テーブルの変形が生じにくく移動テーブルを安定姿勢で移動させることができる移動テーブル装置及び露光装置並びにエアパッドを提供する。
【解決手段】ＸＹテーブル装置は、軸受案内面２ａを有するベース２と、ベース２上を直線移動する移動テーブル１と、気体を噴出する噴出口１０ｂが形成された気体軸受面１０ａを備え軸受案内面２ａと気体軸受面１０ａとの間に静圧気体軸受を構成可能なエアパッド６と、を備える。エアパッド６は、気体軸受面１０ａを備える軸受部１０と、気体軸受面１０ａの垂直方向に進退可能に軸受部１０を保持するハウジング部１１と、を備える。さらにエアパッド６は、軸受部１０を気体軸受面１０ａの垂直方向に進退させて、移動テーブル１とベース２との間の垂直方向距離を一定に保つコイルバネ２０を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で動作の確実な２段絞りを構成できる板ばねを用いた可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞ってポケットに流入させる可変絞りを、流体供給室３１ａと突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａの間を突起部３１ｂと所定の隙間を隔てて正対する板ばね３３で仕切り、突起部３１ｂに開口３１ｃを有しポケット２ａに連通する流路を備える構造の可変絞り形静圧軸受において、板ばね３３の突起部３１ｂに対向しない部位に、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を連結する固定絞り３３ａを備える。 （もっと読む）

【課題】シャフトの損傷を防止し、かつコスト低減が可能なエアロールユニットの構造を提供する。
【解決手段】エアロールユニット１は、ロール本体２０に連結されたシャフト２１と、シャフト２１に装着されたカラー３と、カラー３を非接触で支持するエアベアリング４と、スラストプレート５を介してカラー３に取り付けられた回り止め板６と、を備えており、カラー３の内径ｒ２がシャフト２１の外径ｒ１より大きく設定されている。回り止め板６には、内周面６５と外周面６６とを径方向に繋ぐスリット６７が形成されるとともに、外周面６６からスリット６７を跨ぐように深座ぐり付き穴６８が形成され、この深座ぐり付きネジ穴６８にボルト８３を挿入して、ボルト８３を締めたり緩めたりすることで、回り止め板６のシャフト２１への取付および取外しが可能である。 （もっと読む）

【課題】板ばねを用いた可変絞りの構成部材の加工精度が低くても、剛性のばらつきが小さく所望の剛性を容易に得られる可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体供給室３２ａと、中央部に突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａと、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を仕切る板ばね３３により構成される可変絞り３により、静圧軸受のポケット２ａに供給される流体の流量を絞る。ポケット２ａから流体を排出する経路として、ポケット２ａとベース１０の間隔ｔ_１以外に、ポケット２ａの側面から流体を排出するための固定絞り２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】高速回転する部品を、簡易な構造で、より安定して非接触支持するコンパクトなエアベアリングユニットの構造を提供する。
【解決手段】多孔質焼結層１０２からラジアル軸受隙間６０に流体ｔを供給してラジアル軸受隙間６０内に流体膜を形成し、その流体ｔをラジアル軸受隙間６０から、ラジアル軸受隙間６０に繋がるスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに排気させる。この排気ｔ１を利用してスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂ内に流体膜を形成する。ラジアル軸受隙間６０から排気された流体ｔがスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに供給されるため、ラジアル軸受隙間６０からの流体ｔを排気するための溝や、スラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに流体ｔを噴出するスラスト軸受面を別途設ける必要がない。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことがなく、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること
【解決手段】基部４、該基部４の一方の面５から一体的に突設されている環状突出部６、一端７では該環状突出部６の突出端面８で開口している一方、他端９では基部４の外周面１０で開口すると共に環状突出部６及び基部４に設けられた給気通路１１を備えた合成樹脂製の軸受基体２と、基部４の一方の面５に対面している一方の面４１に形成されていると共に軸受基体２の環状突出部６を受容した環状凹所４２、他方の面４３で開口した環状凹溝４４及び一端４５では環状凹溝４４に連通していると共に他端４６では環状凹所４２に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔４７を有した合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】軸受の交換を容易にできるようにする。
【解決手段】ハウジング２と、ハウジング２に収納され、スラストディスク３ａを備えた主軸３と、主軸３のラジアル方向の支持を非接触で行うラジアル軸受部３０Ａ、及び、スラストディスク３ａのスラスト方向の支持を非接触で行うスラスト軸受部３０Ｂを一体的に備えたラジアル・スラスト軸受３０と、スラスト軸受部３０Ｂを主軸３の軸方向に貫通し、ラジアル・スラスト軸受３０とハウジング２とを固定する固定ボルト５０と、主軸３に設けられた回転子４ａ、及び、ハウジング２の内周側に回転子４ａと対向して設けられた固定子４ｂを有するモータ４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でエアスピンドルの回転体を冷却できるようにする。
【解決手段】回転体であるハウジング２の内周面の、固定軸１の突出部１ａと対向する位置に凹部２１を形成する。突出部１ａの両側に静圧気体軸受３を配置する。突出部１ａの軸方向中央位置に、凹部２１と排気路１３を連通する連通路１４を設ける。凹部２１と静圧気体軸受３との間に気体導入隙間５を形成する。ラジアル軸受面３１を通った気体は、積極的に気体導入隙間５から凹部２１に入り、凹部２１に溜まった気体で回転するハウジング２が冷却される。 （もっと読む）