【課題】エア軸受構造１５を備えた形状検出装置１のランニングコスト及び消費エネルギーを低減すること。
【解決手段】荷重作用領域ＦＡに位置する複数の噴出孔２５は、固定軸９の厚み方向ＴＤに対して対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃ側に傾斜し、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも左方側に位置する複数の第１傾斜噴出孔２５Ａと、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも右方側に位置する複数の第２傾斜噴出孔２５Ｂとからなり、荷重作用領域ＦＡから外れた領域に位置する複数の噴出孔２５Ｃは、固定軸９の厚み方向ＴＤに平行になっている。 （もっと読む）

【課題】回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されていると共に一端部２１が転動体２から突出している軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】温度変化を少なくしたい場所への、熱量変動部からの熱の出入りを少なくする。
【解決手段】熱量制御器１９が、第１温度計１６が測定した第２流体の温度と第２温度計１７が測定した第２流体の温度との差と、流量計１８が測定した第２流体の流量とに基づいて第２流体の熱量を算出する。第２流体の熱量が所定値を越えたとき、熱量制御器１９が、第１恒温水循環装置１３とラジアル流路１０ａ，１０ｂとの間で第１流体の流量を調節する制御弁１４ａ，１４ｂを制御して第１流体の流量の増加調整を行う。また、第１恒温水循環装置１３を制御して第１流体の温度の低下調整を行う。この結果、第２流体の熱量の値が所定値以下になる。 （もっと読む）

【課題】潤滑液体の漏洩を防止しやすい構造で、始動トルクを低減するためのリフトポンプを備えたパッド型スラスト軸受、該パッド型スラスト軸受を用いた液中モータ、縦型液中モータポンプを提供すること。
【解決手段】軸受パッド４表面に潤滑液を加圧供給するリフトポンプ１２を備えたパッド型スラスト軸受であって、リフトポンプ１２の羽根車１２ａをスラスト軸受の軸受ハウジング１０内に設けた。また、リフトポンプ１２は、モータハウジング２２の一部が軸受ハウジング１０に挿入された状態で結合されている。 （もっと読む）

【課題】高精度で円滑に移動することを向上させた静圧案内装置を提供することにある。
【解決手段】直線状に延在するガイドレール１２ａ，１２ｂを備えるベッド１１と、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂに沿って移動可能なコラムベッド１３とを具備し、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂと対向するコラムベッド１３の摺動部１３ｃ，１３ｄに当該コラムベッド１３の移動方向に沿って複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６を設け、複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６の内のコラムベッド１３の移動方向にて両端部以外の静圧ポケット３１〜３６を両端部の静圧ポケット２５〜２８よりも小さくした。 （もっと読む）

【課題】減衰特性の高い静圧式の気体軸受を提供する。
【解決手段】気体軸受部は、空気供給口から供給される圧縮空空気を、オリフィスから固定軸受筒と浮動ブッシュとの間の隙間部分に通すことによって、固定軸受筒と浮動ブッシュとの間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第一の軸受部と、空気供給口から供給される圧縮空空気を、ジョイント部を通って浮動ブッシュの管路を経由してオリフィスから浮動ブッシュと回転軸との間の隙間部分に通すことによって、浮動ブッシュと回転軸との間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第二の軸受部とで構成され、フルイドダンパ機構は、磁性流体の粘性または隙間を変えることによって、第一の軸受部の減衰係数およびばね剛性を調整し、回転軸の外乱に対する整定時間を制御する。 （もっと読む）

【課題】加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス、通気溝などを構成することにより、振動の発生を防止できる高精度な静圧軸受装置および静圧軸受装置を備えたステージを実現する。
【解決手段】静圧軸受装置において、加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス１４、通気溝１１及び排気溝１２の形状などの構成を設計したものであり、通気溝１１の幅方向の断面形状が摺動面１０ａから離れる方向に凸の曲線を形成し、また、通気溝１１を、オリフィス１４を囲み環状に形成された環状溝１１ｂと、オリフィス１４を中心に環状溝１１ｂに向かって放射状に延設され、環状溝１１ｂとオリフィス１４とを連通する複数の分配溝１１ａとから、移動体の移動方向に対して対称となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、主軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ１と、従動プーリ２と、両プーリ１，２の間に掛け渡された無端ベルト３と、ガイドレール４と、無端ベルト３に接続されガイドレール４に沿って直線移動する主軸受５と、カウンタガイドレール６と、無端ベルト３に接続されカウンタガイドレールに沿って直線移動するカウンタ軸受７と、を備える。主軸受５は、軸方向に並んだ３個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃが連結部材８により連結されてなる。これら軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃのうち軸受部材５Ｂは、無端ベルト３に接続されるベルト接続用軸受部材であり、軸受部材５Ａ，５Ｃは、搭載物を搭載する搭載物用軸受部材である。連結部材８は、軸方向には変形せず軸方向以外の方向には変形可能である。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、高回転にも耐える回転機器用の流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸孔を区画する内周面に軸方向に所定幅の軸受面１ａを持つ軸孔部材１と、軸孔に回動自在に保持され軸受面に対向する軸面２ａをもつ軸部材２と、軸受面と軸面の間に流体を供給する流体供給手段とを有し、軸受面及び軸面はいずれも円錐台形の側周面状であり、流体供給手段は軸受面及び軸面との間に軸方向に流体を供給する。軸受面と軸面は円錐台形の側周面状であり、それらの間隙に流体が軸方向に供給されるので、軸部材２が軸孔部材１の軸心に付勢され、半径方向の荷重と、軸方向の荷重とを１つの機構で受けることができ、構造が簡単な回転機器が実現できる。軸部材２は軸上にタービン８を有し、軸孔部材１のノズル６からの噴流で回転する。 （もっと読む）