【課題】流体膜軸受と組み合わせた磁気軸受を用いて流体膜軸受の不安定性を制御する方法の提供。
【解決手段】流体膜軸受１８が主耐荷軸受として作用し、磁気軸受アッセンブリ１２がこの流体膜軸受の不安定性を制御する。この効果的な組み合わせによって、安定性の問題も信頼性の問題もなく高速で使用できる軸受が提供される。流体膜軸受の不安定性を制御する代替の方法は、軸方向におけるフローを妨害することである。例えば、スリーブ（ジャーナル）軸受は、軸受軸をシャフト軸に対して傾けて製造することができ、あるいは、可変ジオメトリの軸受は、軸受の角度ミスアラインメントを作るように製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 テーブル移動時のピッチングが極めて小さい静圧水軸受直動案内装置の提供。
【解決手段】 テーブル３１底面の前後側の少なくとも一方にガイドウエイ２に設けたコイル２４に対向して磁気バランサー３００を非磁性体支持板を介して付属させた静圧水軸受直動案内装置１。 （もっと読む）

【課題】エアの消費が抑制されるとともに、供給されるエアの圧力が低下してもエアスピンドルユニットにカジリ現象が生じないエアスピンドルユニットを提供する。
【解決手段】スラストエアベアリング４２とラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂを画成するスピンドルハウジング３８と、スピンドル２６に連結されてスピンドル２６を回転するモータ４４と、を備えたエアスピンドルユニット３６であって、スラストエアベアリング４２及び第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂに高圧エアを分配するエア分配弁５６を具備している。エア分配弁５６は、エア供給源５８から供給されるエア圧が所定圧以上の場合は、第２のラジアルエアベアリング４０ｂのみにエアを供給し、供給されるエア圧が該所定圧未満の場合は、第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂにエアを供給する。 （もっと読む）

【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール２、ガイドレール２の延出方向に沿って往復移動可能な可動体４(垂直方向受板４２、水平方向受板４４)、圧縮空気を噴出して可動体４をガイドレール２に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)６、磁気吸引力により可動体４をガイドレール２に引き寄せる吸引部８(磁気吸引部材８ａ、永久磁石８ｂ)を備え、静圧気体軸受部６からの圧縮空気による可動体４のガイドレール２に対する浮上力と、可動体４をガイドレール２へ引き寄せる吸引部８からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体４をガイドレール２に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部６をガイドレール２に配し、可動体４へ向けて圧縮空気を噴出させる。 （もっと読む）

【課題】 可動体の位置補正機能をより向上させた静圧スライダを提供する。
【解決手段】
静圧スライダ（１）は、固定体（２）と可動体（３）とを備え、可動体（３）は、該可動体（３）と固定体（２）との間の隙間（４）に供給される流体を介して固定体（２）に沿って相対移動可能である。固定体（２）および可動体（３）の一方は、隙間（４）に供給される流体が通過する貫通孔（５）を有する。貫通孔（５）の少なくとも一部は、隙間（４）における流体の圧力に応じて径が変化する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部６ｇが同一向きに整列するようにレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２には、一方向に沿って延出した第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂが直交配置され、可動体４は、第１のガイド面６ｃに対向する第１の軸受パッド４ａ、第２のガイド面６ｂに対向する第２の軸受パッド４ｂを備え、各軸受パッド４ａ、４ｂの気体噴出部８から加圧気体を噴射すると共に、各軸受パッド４ａ、４ｂの磁石部１０とガイドレール２の磁性材Ｍとが互いに吸引し合って磁気吸引力を発生させることで、可動体４は、ガイドレール２に対して所定量浮上しつつ非接触で支持された状態で移動可能となる。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、当該ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする静圧気体軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部６ｇが同一向きに整列するようにレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２には、一方向に沿って延出した第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂが直交配置され、可動体４は、第１のガイド面６ｃに対向する第１の軸受パッド４ａと、第２のガイド面６ｂに対向する第２の軸受パッド４ｂとを備え、各軸受パッド４ａ、４ｂに設けられた気体噴出部８から可動体４とガイドレール２との間に加圧気体を噴射して導入することで、可動体４は、ガイドレール２に沿って非接触で移動可能となる。 （もっと読む）

【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体２は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部３と線状の非有効通気部４とを有する。複数の有効通気部３は、それぞれ非有効通気部４によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部４を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】自動補償静圧ジャーナル軸受の提供。
【解決手段】この自動補償静圧ジャーナル軸受は、軸を取り付ける座体を有し、座体に軸を取り付ける孔が穿たれて円周面が形成され、軸と円周面の間に液圧液体を流通させる間隙があり、座体に少なくとも二つの注油孔が設けられ、円周面上に相互に対向するように設けられた少なくとも二つの第１チェンバ一がそれぞれ一つの注油孔に連通し、且つ各第１チェンバ一に隣接するようにそれぞれ第２チェンバ一が設けられ、座体に少なくとも二つのチャンネルが設けられ、各チャンネルの第２端はそれぞれ第１端と対向する第２チェンバ一に２連通する。これにより、軸受力が偏る時、その偏り方向とその対向の間隙を変更して、液圧液体に各通路をとおり、対向する第１チェンバ一と第２チェンバ一間で流量自動補償作用を発生させる。 （もっと読む）