【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第１表面を有する固定体と、第１表面に対向する第２表面を有する可動体とを備える。可動体は、第１表面および第２表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第１表面に沿って第１方向に移動可能である。第１表面および第２表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第１表面および第２表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 （もっと読む）

【課題】高速移動可能、かつ移動ストロークの広い静圧気体軸受直線案内装置に適する気体配管の構造を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の静圧気体軸受直線案内装置は、駆動源と直動案内部と気体により直動案内部に浮上して移動可能な移動体とを有する直動案内アクチュエータと、一端が移動体に回転自在に固定され、他端が直動案内アクチュエータ外に回転自在に固定される、マジックハンド構造の支持機構と、支持機構に屈曲可能に固定され、移動体に気体を供給するチューブと、を備えることが特徴とするものである。これにより、気体供給チューブは移動体の直線運動に合わせて回転・伸縮運動をすることができ、高速移動による配管の破損や撓みなどを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 コロガリ軸受および静圧軸受の両者の優れた面、すなわちコロガリ軸受においては、負荷荷重、剛性で優れた特性を発揮し、また静圧軸受においては、アキシャル方向の精度の良いロール軸受とした特性を発揮できるロールの軸受方法を提供することを課題とする。

【解決手段】 ロールの幅方向の両端部にある軸に、それぞれロールの幅方向の中心側から順に、静圧軸受次いでコロガリ軸受を直列に取り付け、回転自在に支承することを特徴とするロールの軸受方法とした。また、ロールの幅方向の両端部にある軸に、それぞれロールの幅方向の中心側から順に、コロガリ軸受次いで静圧軸受を直列に取り付け、回転自在に支承することを特徴とするロールの軸受方法とした。 静圧軸受は、空気静圧軸受であることを特徴とするロールの軸受方法とした。 静圧軸受は、前述の空気軸受に替えて、油静圧軸受としたことを特徴とするロールの軸受方法とした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、而も安価で、又絞り特性の設定が容易な絞り弁を提供する。
【解決手段】流路途中に設けられる絞り弁１であって、該絞り弁はコマ収納部５が形成された弁本体２と、前記コマ収納部に収納される複数の絞りコマ８，９を有し、該コマが該コマの軸心上に穿設された毛細管路１４を有する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受によりラジアル荷重を支持する構成の両吸込横軸ポンプにおいて、締切点付近を含む小流量領域で主軸に作用する動的スラスト荷重を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】両吸込横軸ポンプ１の主軸２のラジアル荷重は静圧軸受８，９で支持される。背静圧軸受８，９には羽根車３の吐出口２１から吐出された圧力水が供給される。主軸３に取り付けられた受圧ディスク４３の主軸３の駆動側の面には静圧軸受８を通過後の圧力水の静圧が作用する。受圧ディスク４３の主軸２の反駆動側の面には、羽根車３の吸込口２０Ａ側の静水圧が作用する。 （もっと読む）

【課題】外乱が作用して、スラスト空気軸受の釣り合い位置から回転軸が上下動した場合でも、回転軸の自励振動を抑制して短時間に釣り合い位置に戻すことができる縦型バランス計測装置を提供する。
【解決手段】シール円板１ｂの下面に向けてスラスト支持用の加圧空気を供給するスラスト給気孔１１ａを有する軸受マウント１０と、スラスト給気孔１１ａに加圧空気を供給する加圧空気源１２と、スラスト給気孔１１ａと加圧空気源１２との間に設けられた空気たまり１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】各種装置に搭載されるスピンドルアセンブリ内に水が侵入するのを防止する。
【解決手段】スピンドルハウジング２１に、エア供給口２３０とエアベアリング連通路２３１との間にウェータエアセパレータ２５を配設し、更に、ウォータエアセパレータ２５からエア排出路２４に連通しウォータエアセパレータ２５内で分離された水を排出する水排出路２５０を備え、エア供給口２３０から供給された高圧エアに含有される水分がウォータエアセパレータ２５内で分離され、分離された水分が水排出路２５０から押し出されエア排出路２４を介して外部へ排出されるように構成することにより、エアベアリング側へ水分が進入するのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 回転精度が高いことに加えて、モータ等で発生した熱が主軸を経由してモータと反対側の回転テーブルへ伝わりにくく、かつ主軸の熱膨張を抑えることができ、さらに、不導体材料を使用しながら静電容量タイプの非接触計での測定を可能にした静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、主軸２と、この主軸２を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、主軸２の一端がモータ軸と２ｃなり主軸２を回転駆動するモータ４と、主軸２の他端に固定された回転テーブル５とを備える。主軸２における静圧気体軸受３により回転自在に支持される部分である主軸被支持部２ａ、および主軸２における主軸被支持部２ａよりも回転テーブル５側の部分である主軸テーブル側部２ｂをセラミックス材で形成し、主軸被支持部２ａにおけるラジアル軸受部３ｂに導電性のメッキを施す。 （もっと読む）

【課題】エア軸受構造１５を備えた形状検出装置１のランニングコスト及び消費エネルギーを低減すること。
【解決手段】荷重作用領域ＦＡに位置する複数の噴出孔２５は、固定軸９の厚み方向ＴＤに対して対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃ側に傾斜し、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも左方側に位置する複数の第１傾斜噴出孔２５Ａと、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも右方側に位置する複数の第２傾斜噴出孔２５Ｂとからなり、荷重作用領域ＦＡから外れた領域に位置する複数の噴出孔２５Ｃは、固定軸９の厚み方向ＴＤに平行になっている。 （もっと読む）