【課題】基板の平面度調整を行うために、基板を保持する保持手段の裏面を支持する支持手段と前記裏面とに隙間が生じないようにするステージ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】保持手段の裏面と支持手段との間に空気を供給し、前記保持手段を前記支持手段から浮上させる軸受手段と、前記軸受手段から供給される気体の流量を検出する検出手段と、前記支持手段の駆動を制御する制御手段とを有し、前記制御手段は、前記軸受手段により前記保持手段を浮上させたときに、前記検出手段によって検出される流量が、所定の流量の範囲内になるように前記支持手段の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】定盤上の塵を簡単な構造で容易に除去する。
【解決手段】重量キャンセル装置４０のベース４１ａの下面に取り付けられたベースパッド１００では、軸受面１０６ａから定盤１２に向けて噴出する加圧空気が、コアンダ効果により軸受面１０６ａに連続して形成された傾斜面１０７に沿って流れる。この際、定盤１２上の塵Ｄがベルヌーイ効果により加圧気体に引きつけられ、その加圧気体とともに、定盤１２から離れる方向に案内される。加圧気体は、フィルタ部材１２６で濾過されてベースパッド１００外に排気される。ベースパッド１００は、特別な吸引装置などを用いることなく、定盤上１２の塵Ｄを吸引できるので構造が簡単である。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

【課題】所望の精度を保持し、かつスラスト負荷容量を高める。
【解決手段】エアスピンドル１では、ハウジング２にスラスト方向エア噴出手段及びラジアル方向エア噴出手段としてのステータ３が固定される。このステータ３の上面、下面、内径面には上エア噴出し面３ａ、下エア噴出し面３ｂ、内径エア噴出し面３ｃが形成されている。上エア噴出し面３ａの外周周りには、外周側負荷容量生成手段としての複数、例えば６個のパッド型エアベアリング１１〜１６が均等に配置されて構成される。このパッド型エアベアリング１１〜１６は、スラスト板上６と同一平面を受けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】高精度の機械加工を行うため、静圧軸受等に供給する圧油に脈動を生じることなく圧送することができる精密加工機の油圧供給装置を提供する。
【解決手段】本願発明の油圧供給装置は、コンプレッサ（第一圧縮空気供給機）３０と、このコンプレッサ３０で得られた圧縮空気を増圧する増圧弁（ブースターシリンダ）３１と、増圧弁３１で得られた圧縮空気を第二圧縮空気として供給装置貯蔵するレシーバタンク（第二圧縮空気供給機）３２と、レシーバタンク３２で得られた圧縮空気を介して圧力を有する油圧に変換して圧力変動を吸収するアキュムレータ３３と、静圧軸受に使用された作動油を回収する圧油タンク３５と、を備えて構成し、油圧の脈動や変動を防止・減少させている。また、さらに湯の温度を安定にするための油温調節ユニットを備え、油温についても安定に供給している。 （もっと読む）

【課題】熱の発生や熱伝達を効果的に低減できる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドルＡは、主軸１を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、前記主軸１にモータロータ８を固定してなり主軸１を回転駆動するモータ６とを備える。主軸１の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部１ａとする。この被回転体設置部１ａの材料として、主軸１の被回転体設置部１ａを除く主軸本体部１ｂよりも熱伝導率の低いジルコニアセラミックスを用いる。 （もっと読む）

【課題】回転モータの停止時にハンチング現象が生じないロータリエンコーダ制御式エアスピンドルを提供する。
【解決手段】回転軸３に固定されたディスク１３にパッド１８、１９が当接するため、回転モータ９の停止時における回転軸３の回転方向での振動が防止され、ハンチング現象が生じない。パッド１８はディスク１３の外縁部１３ｂに小さいな力で当接し且つ外縁部１３ｂが回転軸３の軸方向で変形可能なため、ディスク１３とパッド１８との当接が回転軸の本来の回転に影響を与えることはない。 （もっと読む）

【課題】流体軸受の負荷容量を増大し、且つ軸受の作動に必要となる流体の流量を低減する。
【解決手段】軸５０が挿通される軸受孔７と、流体軸受２の外周面に開口し、外部から流体が流入する流体流入孔９，１０と、流体軸受２内で軸受孔７を外囲し、流体流入孔９，１０に連通する流体流路１１と、流体流路１１を軸受孔７に連通させる流体絞り１４，１５と、を有し、流体流入孔９，１０が複数設けられ、流体流路１１が流体流入孔９，１０に対応して複数の分割流体流路１２，１３に仕切られ、分割流体流路１２，１３にはそれぞれ少なくとも１つの流体絞り１４，１５が連通している。 （もっと読む）

【課題】可変絞り手段を有する静圧流体軸受装置において、絞り開度を増減させた際に発生する流体の流出層の厚さ（２部材の間隔）の変動を適切に抑制し、加工精度をより向上させることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受ポケットと、流体を圧送する流体供給手段と、流体流路と、絞り量を変更可能な可変絞り手段と、を備え、絞り量を直接的または間接的に検出可能な絞り量検出手段と、可変絞り手段５６Ｖから軸受ポケット５６Ｐまでの経路における、可変絞り手段５６Ｖまたは流体流路５６Ｈまたは軸受ポケット５６Ｐの少なくとも一部に設けられて流体が充填されている部分の体積を増減可能な体積可変手段５６Ｅと、絞り量検出手段にて検出した絞り量に応じた体積変化量を算出するとともに、算出した体積変化量を相殺するように体積可変手段５６Ｅの体積を増減させる制御手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】流体軸受けにおける作動流体の利用効率を向上させる。
【解決手段】第一部材および第一部材の表面に沿って移動する第二部材の間隙３０１に気体を供給する圧送部３４０と、間隙３０１から気体を圧送部３４０に帰還させる帰還部３９４とを備える。上記帰還部３９４は、圧送部３４０から間隙３０１に供給された気体が、間隙３０１から外部に向かって流れる過程で、間隙３０１から気体を帰還させてもよい。上記圧送部３４０および上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて、第二部材と共に移動してもよい。上記圧送部３４０は、加圧された気体を収容したタンクを含んでもよい。上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて第二部材と共に移動しつつ、第一部材および第二部材の間から漏れ出す気体を吸引して回収する回収部を更に有してもよい。 （もっと読む）