【課題】高圧気体が長期間にわたり停止される閉塞状態が維持されうる、コンパクトで優れた真空バルブを提供する。
【解決手段】バルブケース（１）を備え、バルブケース（１）の対向する壁（４）（５）には入口開口部（２）および出口開口部（３）が設けられ、入口開口部（２）の周囲にはバルブシート（６）が設けられている。調整ピストン（１５）の出口開口部（３）に対向する側に一または複数のタペット（１８）が取り付けられている。調整ピストン（１５）が待機位置から動作位置に動くとき、タペット（１８）は開閉ユニット（８）の内部空間（１６）から開口部を通じて押し出される。タペット（１８）はバルブプレート（９）をバルブシート（６）に当接させるために出口開口部（３）の近傍領域において直接的または間接的にバルブケース（１）に押し付けられる。 （もっと読む）

本発明は、真空チャンバを有する機器とともに使用されるスライダベアリングであって、一つの側で前記真空チャンバと接するベース板であって、前記真空チャンバと接する第1の貫通孔を有するベース板と、前記ベース板と一方の側で接する第2の板であって、第2の貫通孔を有する第2の板と、を有し、前記ベース板と前記第2の板の相互に面する面は、十分に平滑であり、非エラストマーの真空シールが形成され、前記ベース板および前記第2の板は、第1の相対位置と第2の相対位置の間でスライド可能であり、前記第1の相対位置では、前記第1の貫通孔と前記第2の貫通孔は、重なっておらず、前記第2の相対位置では、前記第1の貫通孔と前記第2の貫通孔は、重なっており、前記第2の板は、可撓性板であり、前記可撓性板の前記ベース板とは反対の面には、キャップに対するシールが設けられ、前記キャップは、サンプルを保持するように装備され、前記ベース板の前記第1の貫通孔は、制御された曲率で、前記可撓性板と面する縁部を有し、前記縁部の前記曲率は、前記ベース板と前記可撓性板の間の所定の輪郭部に、前記真空シールが形成され、ヘルツ接触圧力が、所定の最大接触圧力よりも小さくなるように形成され、前記所定の最大接触圧力は、粒子発生が最小となるように選定されることを特徴とするスライダベアリングに関する。
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【課題】大型の真空用ゲート弁において、シール材を交換するための大きな作業空間を予め確保しておく必要がなく、さらにはシール材の交換作業を容易に行うことができる真空用ゲート弁およびこの真空用ゲート弁におけるシール材の交換方法を提供すること。
【解決手段】弁箱４およびバルブケース２１間を往復移動することにより弁箱４内のゲート開口部１２を閉または開とする弁板１０と、を備えたゲート弁であって、バルブケース２１の下方に、Ｘ、Ｙ両方向に往復移動可能に構成された移動装置３０を着脱自在に取付けし、弁箱４とバルブケース２１との係合を解除した後、移動装置３０を操作することにより、バルブケース２１をＸ方向およびＹ方向に移動させ、シール材２４を交換するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】車両縮小化およびコスト低減に適した排気還流システムを提供する。
【解決手段】冷却手段３０を伴う冷却通路３４と、該冷却通路３４に並列に設けられた非冷却通路３６とを有するＥＧＲ通路２６を介して排気ガスの一部を排気系から吸気系に還流させる排気還流システム１０において、前記ＥＧＲ通路２６を開閉すると共に流量制御可能な回転式制御バルブ３２を備える。この回転式制御バルブ３２の弁体９０は、該弁体９０の回転軸Ｌから偏心した位置に開口部９６を有する。そして、前記冷却通路３４と前記非冷却通路３６との開口部１００、１０２の各々は、前記弁体９０に面すると共に、前記回転軸Ｌから偏心して位置する。 （もっと読む）

本体（１０１）と、流路（１０３）に対して横断方向に少なくとも２つの位置間、すなわち流路（１０３）が開いている第１の位置と流路が閉じている第２の位置との間で本体内で可動であるゲート要素（１０２）と、ゲート要素（１０２）を少なくとも２つの上記位置間で移動させる手段（１０４）とを備える、ゲート弁。ゲート要素（１０２）は、ゲート部分（１０５）及び作動体（１０８）を備え、ゲート部分（１０５）は、本体壁（１０９、１１０）間の空間内で作動体（１０８）とともに移動するように配置される。 （もっと読む）

【課題】弁への負荷を軽減し、弁の開閉動作とシール動作とを独立させて小型化かつ安価なゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁体アッセンブリの長手方向にあって、弁箱に固定された２つの第２の駆動装置を有し、第２の駆動装置と弁体アッセンブリの間に第２の駆動装置によって生成した長手方向の操作力を直角方向の操作力に変換する操作方向変換部を備え、第１の駆動装置によって、弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて弁体アッセンブリを弁座に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持し、第２の駆動装置によって、長手方向の操作力を生成し、操作方向変換部によって、長手方向の操作力をいずれかの直角方向の操作力に変換して中立位置にある弁体アッセンブリをいずれかの直角方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】管路の遮断修理技術に関し、連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を回避し、少ない労力で能率良く確実、容易に行う。
【解決手段】連結フランジ部２Ａ，３Ａに対して、それの外周面側を密封する状態で装着自在な遮断作業カバーＢが、前記両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周面に対して径方向外方から圧接可能なシール材１１と、このシール材１１を径方向外方から締付け固定する分割構造の締付け輪１２とから構成されているとともに、前記締付け輪１２を構成する複数の締付け分割輪１２Ａの一つには、前記締結具５の緩み操作によって発生した前記両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間を通して管内流路を遮断する位置にまで差込み移動自在な薄板状の仕切板弁８と、この仕切板弁８を密封状態で流路遮断位置と流路開放位置とに摺動案内する摺動ガイド手段が設けられている管内流路遮断装置。 （もっと読む）

【課題】弁体の移動の不具合を効率良く防止できる弁装置を提供する。
【解決手段】弁装置７の弁体24の移動位置に関わらず、弁体24の溝部27がハウジング９の給気孔13に連通する。溝部27のうち直線状の溝部29，29間は、曲線状の溝部15，28にて連通される。ハウジング９の給気孔13への空気を供給すると、この空気は、直線状の溝部29，29および曲線状の溝部15，28を経て、ハウジング９および弁体24の摺動面間の隙間に吹き出し、摺動面間に入り込んだ搬送物を押し出して排出する。 （もっと読む）

【課題】両連結フランジ部の接合面間の隙間から外部に噴出する流体の圧力に抗して蔽板弁を差し込み操作する従来方法に比して、両連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を回避しながら少ない労力で能率良く確実、容易に行う。
【解決手段】 両連結フランジ部２Ａ，３Ａの接合面間にシール材４を介装した状態で締結具５にて締付け連結されている両管部２，３に、締結具５の緩み操作を許容する状態で両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周を密封状態で囲繞可能で、かつ、両管部２，３の流路Ｗを遮断可能な薄板状の仕切板弁８が抜き差し操作自在に設けられている遮断作業カバーＢを装着し、この遮断作業カバーＢの仕切板弁８を、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間Ｓを通して流路遮断位置にまで差し入れることにより、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間において流路を遮断することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固定弁体と可動弁体との摺動特性が良好であり、長期間使用しても摩耗等が少なく耐久性が充分であり、かつ安価な弁装置を提供する。
【解決手段】弁孔を有する一対の弁体である可動弁体４と固定弁体５の摺接面を摺動させて弁孔を開閉する弁装置において、少なくとも上記摺接面の一方にセラミックス被膜１０を有し、セラミックス被膜１０は、窒化ケイ素または炭化ケイ素の微粒子をエアロゾル原料として使用したエアロゾルデポジション法により形成される被膜である。 （もっと読む）