【課題】アルミニウム製のハウジングを有するゲートバルブにおいて、上記ハウジングを鋳造やボールミル等による煩雑な製法を用いることなく簡単に形成できるようにする。
【解決手段】ハウジング２を構成する収納ハウジング部分２Ｂの、収容室５の一側面を覆う第１側壁部２１及び他側面を覆う第２側壁部２２と、該収容室５の外周の主ハウジング部分２Ａに連通する部分を除いたその他の部分を取り囲む周壁部２３とを、独立する壁部材３１，３２及び３３により形成し、この壁部材を相互に当接させ、それらの当接面を摩擦撹拌接合法、電子ビーム溶接法、レーザー溶接法、拡散接合法、ロー付け方の何れかで接合、一体化させることにより、上記収納ハウジング部分２Ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】 摺接部における流体の漏れを抑制し得るスライドバルブ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 内部に流体が移動するための第１の流路２１が形成され、表面に第１の流路２１に連通した試料導入口５を有する第１の部材１１を作製し、第１の部材１１の表面に垂直に切った第１の部材１１の切断面４２に対して摺接し、第１の流路２１に連通可能な第２の流路２２が内部に形成された第２の部材１２を作製し、第２の部材１２と摺接する切断面４２に、第１の流路２１に連通する第１の連通穴３５を有する第１の弾性膜３０を、塗布及び焼成を含むステップにより形成する。第１の弾性膜３０の焼成ステップ中において、第１の部材１１の表面に治具を用いて試料導入口５に接する閉塞された空間を形成し、閉塞された空間に導入された気体を、試料導入口５から第１の流路２１を通して切断面４２に露出した第１の流路２１の開放端より噴出させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な操作で確実に密閉状態とするゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】上部板(11)と下部板(14)の間を滑動可能に配置されたスライド板(10)の閉位置においてスライド板を上部板の方へ押圧してＯリング(12)による密閉状態を形成する押圧手段(2A、2B)が、スライド板と上部板とを貫通して延びる円柱状の可動ピン(22)と、その下端の大径ストッパ部(22b)と、可動ピンを貫挿させた第１管体(24a)の下端を上部板に固定され第１管体の上端に上向きテーパ面(24b)を形成した固定管部(24)と、可動ピンを貫挿させた第２管体(23a)が上向きテーパ面上に載置され第２管体の下面に下向きテーパ面(23b)を形成した可動管部(23)と、可動管部と可動ピンとを互いに固定すると共に可動管部を可動ピンの軸周りに回動させるためのレバー(21a、21b)を設ける。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、真空露光装置、真空検査装置等に使用されるゲートバルブおよびゲートバルブを備えた露光装置に関し、弁体の開閉に伴う振動の発生を低減することを目的とする。
【解決手段】 バルブ本体の開口部を弁体の移動により開閉するゲートバルブにおいて、前記弁体の移動を案内する静圧軸受を有していることを特徴とする。また、前記静圧軸受を、前記バルブ本体に配置してなることを特徴とする。さらに、前記開口部の閉時に前記開口部を遮蔽する差動排気シールを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 両連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を回避しながら少ない労力で能率良く確実、容易に行うことができ、しかも、仕切板弁の幅の合理的な工夫により漏洩構造の簡素化と小型化を図る。
【解決手段】 両管部に対して、それらの両連結フランジ部の外周を密封する状態で装着自在な遮断作業カバーＢに、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部間の隙間を通して管内流路を遮断する位置にまで差込み移動自在な薄板状の弁板８Ａを備えた仕切板弁８と、この仕切板弁８の弁板８Ａを密封状態で流路遮断位置と流路開放位置とに摺動案内する摺動ガイド手段Ｃが設けられ、仕切板弁８の弁板８Ａの幅が、両管部の内径よりも大で、且つ、両管部の管軸芯を挟んで相対向する締結具５の両ボルト５Ａの対向間隔よりも小に構成されている。 （もっと読む）

【課題】摺接部における流体の漏れを抑制し得るスライドバルブ装置を提供する。
【解決手段】流体が移動する第１の流路２１を有する第１の部材１１と、第１の部材１１に対して摺接し、第１の流路２１に連通する第２の流路２２を有する第２の部材１２と、第１の部材１１の第２の部材１２と摺接する摺接面に設けられ、第１の流路２１に連通する第１の連通穴３５を有する第１の弾性膜３０とを備える。第１の流路２１の幅を１００μｍ、第１の弾性膜３５の厚さを４０μｍとし、第１の連通穴３５が、開口量が５０μｍ以下のテーパ形状部を有する。 （もっと読む）

【課題】管継手、バルブ、空気弁等の管接続部材を容易に構築でき、しかも熟練を要することなく、不断流で管接続部材の脱着を行うことができる管接続部材の脱着方法を提供する。
【解決手段】分岐部Ｂと管接続部材とのフランジＦ１、Ｆ２を接続しているボルト・ナットを作業用ボルト・ナット１に交換する工程と、弁体２ｄを有する弁装置２を分岐部Ｂのフランジに水密に取り付ける工程と、作業用ボルト・ナット１を緩めてフランジＦ１，Ｆ２間に間隙を設け、間隙に弁体２ｄを挿入する工程と、弁体２ｄを分岐部ＢのフランジＦ１、Ｆ２の座に押圧して、分岐部Ｂの既設管から管接続部材側への流れを止める工程と、分岐部Ｂが止水された状態で分岐部Ｂより管接続部材を取り外す工程を有し、分岐部Ｂに新たに管接続部材を接続する作業に備えることを特徴とする管接続部材の脱着方法。 （もっと読む）

【課題】ポンピングボリュームがゼロになり、また、装置の小型化、低コスト化、制御の容易化を図ること。
【解決手段】スライド式ソレノイドバルブは、流路構成部材２と、流路構成部材３と、流路構成部材２と流路構成部材３との間に、流路構成部材２、３に対して摺動可能に配されるスライドシール板９であって、流路５、６、７と連通可能な流路開放孔部２５と流路５、６、７を遮断可能な流路遮断壁部２６、２７とを有するスライドシール板９と、スライドシール板９を原点位置に保つ方向の力を常時発生するスプリング２０と、通電時にスプリング２０の力に打ち勝ってスライドシール板９を原点位置から摺動させるソレノイド１４とを備え、スライドシール板９は、ソレノイド１４への通電の有無に応じて、流路開放孔部２５及び流路遮断壁部２６、２７により、流路５、６、７を切替える。 （もっと読む）

【課題】バルブロッドを曲げることなくバルブプレートをバルブシートに動かすことが可能であるにもかかわらず構造が簡単であり、かつ、バルブプレートのバルブシートへの平行な変位調節が実現される真空バルブを提供する。
【解決手段】バルブプレート８は開放位置ではバルブ開口部４を開放し、閉塞位置ではバルブシート６に密接し、中間位置ではバルブ開口部４を覆う一方でバルブシート６から離れている。横変位調節ユニット１２により、バルブプレート８がバルブ開口部４の縦軸１０に対して垂直な横変位方向１６に開放位置と中間位置との間で動かされる。案内装置１８により、横変位調節ユニット１２がバルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位することができる。案内装置１８は、バルブプレート８の中間位置から閉塞位置への変位および閉塞位置から中間位置への変位により、バルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位する。 （もっと読む）

【課題】冷却水中に含まれる異物が冷却手段内に蓄積するのを防止し、冷却機能の低下を防止することが可能な高温用弁を提供する。
【解決手段】冷却水Ｗを流すことで冷却を行う冷却手段を備えた高温用仕切弁であって、冷却手段の冷却水入口１２に冷却用配管３５が接続され、冷却用配管３５は、上流側管部３９と、冷却水入口１２に接続される下流側管部４０と、上流側管部３９から分岐するとともに下流側管部４０に統合される２本の分岐管部４１ａ，４１ｂとを有し、各分岐管部４１ａ，４１ｂにフィルタ３８ａ，３８ｂが設けられ、両分岐管部４１ａ，４１ｂのうちからいずれかを選択して冷却水Ｗを流す切換弁３６ａ，３６ｂが設けられ、上流側管部３９と下流側管部４０との差圧を検出する差圧スイッチ５０が設けられている。 （もっと読む）