互いに向かい合って位置する２つの当付け面を、閉じられた輪郭に沿ってシールするためのシール部材（１６０）であって、弾性的なシールエレメント（２１０）が設けられており、該シールエレメント（２１０）が、前記輪郭の領域で前記当付け面（１７０）に当て付けられる、互いに反対の側に位置する２つのシール面（２４０）を有しており、さらに２つのばねエレメント（２２０，２３０）が設けられており、該ばねエレメントが、前記シール面（２４０）の一方にそれぞれ対応配置されており、前記ばねエレメント（２２０，２３０）の間に配置された支持エレメント（２５０）が設けられており、各ばねエレメントが、２つの脚部（２６０，２７０）を有しており、２つの脚部のうちそれぞれ一方の脚部が、ばねエレメント（２２０，２３０）に対応配置されたシール面（２４０）を当付け面（１７０）に対して押圧し、それぞれ他方の脚部（２６０，２７０）が、支持エレメント（２５０）に支持されている。
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【課題】接続管の連結フランジと作業用仕切弁の弁ケース内の流路を通して装着される流体機器の連結部との固定連結操作を外部から能率良く容易に行うことのできる作業用仕切弁を提供する。
【解決手段】接続管の連結フランジに対して管軸芯方向から外装可能な連結筒部３２Ｃを備えた弁ケース３２に、管軸芯に対して直交方向に移動自在な弁体３１と、弁体３１を移動操作する弁操作手段３０とが備えられ、弁ケース３２の連結筒部３２Ｃには、弁ケース３２を連結フランジに引き寄せ固定する引き寄せ固定手段が設けられ、弁ケース３２の連結筒部３２Ｃには、連結フランジと弁ケース３２内の流路を通して接合される流体機器とを固定連結する締結具を連結フランジの背面側から操作するための操作凹部３２Ｊが形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体処理槽の開閉を行うバルブにおいて、バルブ前後の圧力差が大きくなっても問題なく操作可能なバルブを提供する。
【解決手段】開口を封止するように適合され、かつ第１の壁と、該第１の壁に形成された第１の開口１１５と、第２の壁と、該第２の壁に形成された第２の開口１１７とを有するバルブハウジング１０５を含むスリットバルブ１０１ａを基本とし、該スリットバルブかつ該第２の開口を封止するように適合された封止部１０７と、該封止部１０７に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材１０９とを有する閉鎖部材１０３を含むスリットバルブ。 （もっと読む）

【課題】量産に適しかつ圧力損失を極小化することができるスライド式バルブを提供すること。
【解決手段】２方弁は、固定流路構成部材１と組付部材５と可動流路構成部材７とスライドシール部材２１とコイルばね１８とアクチュエータとを備える。可動流路構成部材７は、収容孔６の形状に略合致する外形形状を有し、収容孔６内に第１端面３と垂直な方向へ摺動可能に収容される。スライドシール部材２１は、第１端面３及び第２端面９に対し摺動可能である。コイルばね１８は、可動流路構成部材７の第２端面９がスライドシール部材２１の第２シール摺動面２３に圧接されるよう可動流路構成部材７を押圧する。 （もっと読む）

【課題】使い勝手が良好でメンテナンス性に優れると共に、容易に且つ安価に製作することのできる真空ゲート弁及びこれを備えた真空処理装置を提供する。
【解決手段】一対の開口部４ａ、４ｂが対向して設けられる弁箱１と、前記開口部４ａ、４ｂの何れか一方を開閉すべく前記弁箱１内に設けられる弁体５とを有する真空ゲート弁Ａであって、前記一方の開口部４ａに着脱自在に装着される弁座６と、前記弁体５が着座する弁座６の着座面６ａに設けられるシール部材７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ラジカルの攻撃によるシール部材の劣化を防止すると同時に、かつ電磁波（マイクロ波）の漏洩を防止することができるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】第１弁座３６と第２弁座３８とを有し、開口部２８が形成された弁箱２６と、開口部２８を閉塞したときに、第１弁座３６に接触して開口部２８をシールするシール部材４６を有する弁体３０と、を備えたゲートバルブ装置１０であって、弁体３０に、当該弁体３０が開口部２８を閉塞したときに、第２弁座３８に接触して撓み変形し、開口部２８とシール部材４６との間の空間を遮断する遮蔽部材５８を設け、常温環境下及び高温環境下において、弁体３０が開口部を閉塞している状態で遮蔽部材５８が撓み変形しており、遮蔽部材５８と第２弁座３８との接触状態を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

ゲートバルブは一対の対向する筺体部材、ゲート、一次シールスリーブ、および二次シール部材を含む。一次シールスリーブは筺体部材の各々に配設される。ゲートは筺体が互いに接合されるとき画定される横断方向のゲートチャンバを通って滑動可能に通過するように構成される。二次シール部材は筺体部材の間に固定され、潤滑流体が、筺体部材の少なくとも１つを通り、二次シール部材を通ってゲートに塗布されるのを可能にするように構成された少なくとも１つの通路または開口部を含む。
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ゲートバルブは、支持部材を有する。これらの支持部材は、バルブゲート開口部に隣接するゲートバルブの本体構造に取り付けられる。これらの支持部材は、前記バルブゲート開口部の両側上においてゲートスリーブの周囲に放射状に固定される。
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【課題】 保守維持費の増大を抑制することが可能な真空装置を提供すること。
【解決手段】 被処理基板Ｇを真空状態下におくことが可能な、気密に構成された容器本体５０と、容器本体５０に設けられた、被処理基板Ｇを出し入れする開口部５１と、開口部５１を開閉する弁体６１と、開口部５１を囲むように枠状に形成され、容器本体側表面７１ａ、及びこの容器本体側表面７１ａに相対する弁体側表面７１ｂの双方に枠状シール部材７２ａ、７２ｂを備えた、開口部５１の周囲に着脱自在に取り付けられるシール板７０と、を具備する。 （もっと読む）

弁アッセンブリは、凹部及びフランジ面を有するハウジングと、凹部の中に配置される弁スリーブと、を含んでいれば望ましい。スリーブは、中心軸の周囲に通路を画定する、外面及び内面を有する環を含んでいれば望ましく、外面及び内面は、壁を画定するために互いから半径方向に間隔を空けて配置されている。壁は、第１の端部分及び第１の端部分から軸方向に間隔を空けて配置される第２の端部分と、第１の端部分から第２の端部分まで均等な材料特性と、を有している。第１の端部分は、凹部の中の環を支持するリップを画定し、更に第１の支持部材の少なくとも一部を包み込む第１の室を画定すれば望ましい。第２の端部分は、フランジと係合する外面に沿ってフランジ部分を画定し、更に第２の支持部材の少なくとも一部を包み込む第２の室を画定すれば望ましい。
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