【課題】製造過程で発生する熱の影響によるシール部材のシール座面への当たりの偏りを改善することでシール部材の劣化の防止、及びゲートバルブの遮断性能の向上を図る。
【解決手段】ゲート開口部９ａ，９ｂが設けられた弁箱１と、ゲート開口部９ａ，９ｂを一方向からスライド往復移動させることによって開閉する弁体５とからなり、弁体５をスライド移動させて弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂを閉じたとき、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａ及び左側弁体部５６の周端面５６ａに装着されているシール部材１３が、弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂの周端面である右シール座面１１及び左シール座面１６に当接することによってゲート開口部９ａ，９へが遮断されるように構成されたゲートバルブ１において、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａと弁箱２の右シール座面１１との間に、シール部材１３の圧潰量を規制するスペーサ部材２１を設けている。 （もっと読む）

【課題】プラズマを安定させ、シール部材の劣化を防止することができるプラズマ処理装置のシール構造を提供する。
【解決手段】プラズマ発生室２の開口部をシールするゲートバルブは、バルブ弁体１６と、バルブステム１７と、バルブ弁体１６とプラズマ発生室２の隙間を密封する環状のシール部材１１、１２と、を備える。シール部材１１はプラズマ発生室２側にあり、直接プラズマ雰囲気に触れる。シール部材１１とシール部材１２とは接しておらず、間隙Ｓが存在する。バルブ弁体１６は、シール部材１１の長手方向に沿って複数のガス溝１３がある。ガス溝１３は、シール部材１１の長手方向にほぼ直交する方向にあり、間隙Ｓとプラズマ発生室２を連通している。プラズマ発生室２の壁に、間隙Ｓにガスを注入するガス注入通路１４が設けられる。シール部材１１の長手方向に沿って連続する凹部１５を備え、ガス注入通路１４のガス排出口と凹部１５を連結する。 （もっと読む）

ゲートバルブは、バルブ本体内部で開放位置と閉鎖位置との間を移動可能なゲートと、ゲートの互いに反対側の外側シール面間のイコライザポートを規定する、ゲートに設けられた壁と、を有している。イコライザポートは、ゲートの作動によって、閉鎖位置と開放位置との間、および開放位置と閉鎖位置との間を移動できるように構成および配置されている。
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【課題】本発明は、弁体加熱用ヒータを真空処理雰囲気と隔離して大気雰囲気中に置くとともに交換可能な構造とすることにより、伝熱効率が良く、弁体の温度制御が十分に可能であり、パーティクルの発生がなく、かつ、ヒータ部分の交換が可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、真空処理装置における真空処理室の開口部を開閉するゲートバルブにおいて、弁体と、該弁体を加熱するための弁体加熱用ヒータと、一方の面に弁体を支持し、他方の面に弁体加熱用ヒータを収納するヒータ収納部を有する弁体支持部材と、該弁体支持部材のヒータ収納部を密閉する蓋と、弁体支持部材を支持するとともに内部に大気と連通する挿通孔を有する弁ロッドとを備え、蓋をＯリングを介して弁体支持部材に着脱可能に固定し、弁体支持部材のヒータ収納部と弁ロッドの挿通孔とを連通する接続通路を弁体支持部材に設けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構を簡単化したゲートバルブを提供する。
【解決手段】 弁体が、支持アームに、回転軸を中心とした回転方向に移動可能に支持される。弁体が開口の正面からずれた位置から、開口の正面まで移動するように、回転軸支持体が、回転軸を昇降させる。移動部材が、昇降可能に支持されている。弾性体が、移動部材と回転軸支持体とを弾性的に接続し、上下方向に関する両者の相対位置関係が変化すると弾性変形する。駆動機構が移動部材を昇降させる。変換機構が、回転軸支持部材と移動部材との相対位置関係の変化を、回転軸の回転方向の運動に変換する。回転軸支持体を昇降させて弁体を開口の正面に位置させたとき、ストッパが、回転軸支持体のさらなる上昇を禁止する。駆動機構は、回転軸支持体の上昇が禁止されている状態で、移動部材をさらに上昇させる。変換機構は、移動部材のさらなる上昇を、弁体が前記開口を塞ぐように回転軸を回転させる回転力に変換する。 （もっと読む）

【課題】 両連結フランジ部に対して遮断作業カバーを適正な装着位置に能率良く容易に取付けることができるとともに、仕切板弁の先端部の変形を抑制する。
【解決手段】 シール材４を介装した状態で締結具５にて締付け連結されている両管部２，３に、両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周を密封状態で囲繞可能で、両管部２，３の流路を遮断可能な薄板状の仕切板弁１０が抜き差し操作自在に設けられている遮断作業カバーＢを装着し、これの仕切板弁１０を、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間Ｓを通して流路遮断位置にまで差し入れることにより、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間において流路を遮断する。両管部１，２に遮断作業カバーＢが装着されたとき、流路開放位置にある仕切板弁１０の先端部１０ｂが両連結フランジ部２Ａ，３Ａの対向面間の外周側に形成されている環状空隙２６内に入り込んだ状態に設定している。 （もっと読む）

第１の開口のアレイを形成する第１の部分（４０１）と第２の開口のアレイを形成する第２の部分（２）とを備えるバルブ（５０）であって、第１の部分（４０１）が、バルブを通る流体の通過を実質上防止するために第１の開口と第２の開口のアレイが一致しない閉鎖構造と、流体を通過させるために第１の開口と第２の開口のアレイが一致する開放構造との間で、第２の部分（２）に対して横方向に移動可能であり、第１および第２の部分（４０１、２）がバルブ全体にわたる圧力差（５０）に応じて、閉鎖構造で係止するように構成されたバルブ。一実施形態では、第１および第２の部分（４０１、２）が閉鎖構造で係止されると、第１の部分（４０１）はバルブ全体にわたる圧力差によって第２の部分（２）に押し当てられ封止されるように構成することができる。
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【課題】 長手のまたはスリット形状のバルブ開口部のための、簡単な構造を有する真空バルブを提供する。
【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(6)およびバルブ開口部(6)を取り囲むバルブシートを有する壁部(1)と、バルブプレート(7)とを備えている。真空バルブの閉塞に際して、バルブプレート(7)が開位置から閉軌道の主要部分を経て、バルブプレート(7)に対して平行かつシール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面に対して平行な主要閉方向に動かされる。閉軌道の前記主要部分に続いて、バルブプレート(7)は、バルブプレート(7)に対して傾斜しているとともに、シール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面に対して傾斜している閉軌道の終端部分を通じて動かされる。バルブプレート(7)に設けられている案内要素(17)(18)と相互作用して、閉軌道の終端部分を経てバルブプレート(7)を案内する少なくとも１つの案内要素(15)(16)が壁部(1)に設けられている。シール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面(45)に対して傾斜している案内面(19)(20)(21)(22)によって、閉軌道の終端部分を通じてバルブプレート(7)が案内される。バルブプレート(7)の案内要素(17)(18)または壁部(1)に設けられている案内要素(15)(16)に、当該案内面のうち少なくとも１つが設けられている。 （もっと読む）

【課題】弁体の閉鎖時における粉体の噛み込みをほぼ完全に防止することができるようにした粉体流路用の開閉弁を提供することである。
【解決手段】円筒形のバルブボディ１１の内側に形成された粉体の流路１３内に、その流路開閉用の円形の弁体１４を組込み、その弁体１４の回動により、その弁体１４の外周部をバルブボディ１１の流路内周面に沿って設けられたシートリング１２に接触させて流路１３を閉鎖する粉体流路用の開閉弁において、弁体１４に、径方向に延びて弁棒の端面で開口するエア供給孔１８と、弁体１４の中心から放射状に延びてエア供給孔に連通する複数のエア噴射孔１９とを形成する。弁体１４の閉鎖時にエア供給孔１８に圧縮エアを供給し、その圧縮エアをエア噴射孔１９から弁体１４の径方向外方に噴射し、その噴射エアにより粉体を吹き飛ばして、粉体が弁体１４とシートリング１２の当接部に噛み込むのを防止する。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２のバルブ本体半部によって形成されたバルブ本体を含むナイフゲートバルブを提供する。
【解決手段】バルブ半部が組み立てられて流路、ナイフゲートチャンネル、及び弁座チャンネルを形成する。ナイフゲートが本体半部間に配置され、ゲートチャンネルを横切るようになっている。ナイフゲートは、開放位置において、バルブを通してプロセス流を流すことができ、閉鎖位置において、バルブを通るプロセス流を阻止するように形成されている。弁座組立体がチャンネルガイド内に位置決めされる。弁座組立体は、水平セグメント、一対の垂直セグメント、及び下セグメントによって形成されている。弁座組立体は、第１及び第２のバルブ本体半部間で圧縮される。ナイフゲートが弁座組立体を横切るときにその剛性を維持するように、少なくとも一つの強化プレートが水平セグメントの一部内に配置される。
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