【課題】仕切弁の構造のコンパクト化を図るとともに、弁体の開閉動作を単純化する。
【解決手段】開口部６３を開閉する弁体５１と、開口部６３を有する弁座６０と、を備える。弁体５１には、弁座６０に当接される第１シール面部５６が設けられている。弁座６０には、弁体５１の第１シール面部５６が当接される第２シール面部５７が、開口部６３を通過する基板の搬送方向にほぼ平行に設けられている。 （もっと読む）

【課題】汚水に含まれる土砂等が内部に滞留してしまうことを有効に防止可能なゲートバルブを提供すること。
【解決手段】長尺状の一対のバルブスペーサー３の上部を挿通孔５を有する取付板４で連通し、挿通孔５にスクリューナット６を装着し、上方部分に流路８を有するとともに流路８の周辺に取り付け用カラー９を有する固定プレート７を、バルブスペーサー３の長手方向中央部近傍から下端近傍にかけてバルブスペーサー３を連通しつつバルブスペーサー３の表裏面に装着して弁箱２を構成し、貫通孔１１を有するスライド板１０を前記一対のバルブスペーサー３間に上下動自在に挿装するとともに、前記スクリューナット６に螺合させたスクリューネジ１２の下端部分をスライド板１０に回動自在に連結し、スクリューネジ１２を回動することでスライド板１０を上下動させて前記流路８を開閉自在とした。 （もっと読む）

【課題】直線作動型のゲートバルブを、バルブプレートを駆動する駆動装置がハウジングから該バルブプレートの移動方向に大きく突出することがないように構成する。
【解決手段】ガス通路３を開閉するバルブプレート２と、このバルブプレート２をハウジング１の主ハウジング部分６と収納ハウジング部分７とに直線的に移動させるエアシリンダ２９及びシャフト２８とを有し、上記エアシリンダ２９は、ハウジング１の第１側面１ａ側の位置に上記バルブプレート２の移動方向と平行に配設され、上記シャフト２８は、上記バルブプレート２と重なる位置に上記移動方向に配設されていて、該シャフト２８の先端が、上記バルブプレート２の移動方向前端部寄りの位置に連結されている。 （もっと読む）

【課題】 真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図る。
【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備えている。閉軌道において弾性シール(4)がシール面(35)に当接する位置(p)およびその際の閉塞部材(3)の速度(v)のうち一方または両方が制御装置(9)に必要なパラメータとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】 真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図る。
【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備えている。制御装置(9)により閉塞部材(3)の閉位置において弾性シール(4)に作用する圧力が調節される。ユーザにより入力されうる少なくとも１つのパラメータの関数としてシール部材(4)に作用する圧力が制御される。 （もっと読む）

【課題】媒体の計量に於ける、正確さの高い要求を満たし、計量頻度ないし度数が多い場合でも正確に運転するバルブを提供する。
【解決手段】バルブは計量用開口部を有するバルブエレメント１２、計量用開口部の開閉のために平行移動可能であるバルブゲート１４、可傾移動を行うように構成されたアクチュエータ１６、レバーアーム１８とを含み、レバーアームは、アクチュエータに連結されており、計量用開口部の開閉のためにアクチュエータの可傾移動をバルブゲートの平行ストローク移動に転換する。 （もっと読む）

【課題】改善された密閉能力を有するプロセスチャンバのためのバルブアセンブリの実施形態が提供される。
【解決手段】いくつかの実施形態において、プロセスチャンバのためのバルブアセンブリは、基板が搬送される、壁に設けられた開口を有する筐体と、開口を選択的に密閉するために、筐体の壁にほぼ平行な平面内において筐体に移動可能に接続されるドアと、ドアが閉じた位置にあるときに、壁にほぼ垂直な方向における、圧縮可能なシーリング部材の圧縮によって、その間の密閉を形成するためにドアの上側表面と筐体の対応する表面との間で少なくとも部分的に設けられた圧縮可能なシーリング部材と、筐体のプロセスチャンバの側において、圧縮可能なシーリング部材の環境への露出を制限するためのメカニズムを含む。 （もっと読む）

【課題】揺動形のゲートバルブにおけるバルブプレートを揺動させるための揺動装置を、構造が簡単で耐久性に勝れると共にハウジングに省スペース的に付設することができるようにする。
【解決手段】バルブプレート２を揺動させる揺動装置８を、ハウジング１の側面に配設されたアクチュエータ２８と、該アクチュエータ２８から延出して先端部が上記ハウジング１の内部に進入し、上記アクチュエータ２８でバルブプレート２と平行な方向に直線的に往復駆動される操作ロッド３３と、上記バルブプレート２に形成されたカム溝３８と、上記操作ロッド３３に取り付けられて該カム溝３８内に変位自在なるように嵌合し、該カム溝３８と協同して上記操作ロッド３３の直線運動をバルブプレート２の揺動運動に変換するカム軸３９とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の処理を行うチャンバーに用いられる圧力制御バルブにおいて、シール部材の長寿命化を達成することができる圧力制御バルブを提供すること。
【解決手段】 チャンバー１１側と排気装置５３，５４側とを連通する開口６１ｂを備えた弁ボディ６１と、前記開口を閉止する封止用弁体６２と、該封止用弁体に設けられたシール部材６２ａ及びその外側の保護シール６２ｂと、前記開口６１ｂを所定の開度だけ開口するシール部材を持たない制御用弁体６３と、を設け、プラズマ処理をする場合は、開口を制御用弁体で所定の開度にし、封止用弁体６２は、弁退避部に退避させておく。弁退避部では、保護シールの内側にシール部材が密封されるので、シール部材はプラズマやラジカルに曝されない。 （もっと読む）

【課題】ロータの耐久性を向上させる。
【解決手段】流路切換えバルブは、接触平面１３をもつステータ１１と接触平面１７をもつロータ１５を備えている。ステータ１１は複数の流路のそれぞれに接続される流通口１９をその接触平面１３にもち、ロータ１５はステータ１１の流通口１９の内の２つを連通させる少なくとも１つの溝２１をもち、ステータ１１の接触平面１３に付勢され、連通すべきステータ１１の流通口１９を切り換えるように回転摺動する。本発明では、ステータ１１とロータ１５の接触平面の一方は樹脂製であり、他方には窒化クロム膜が被膜されている。 （もっと読む）