処理チャンバの開口を封止するための方法および装置
【課題】半導体処理槽の開閉を行うバルブにおいて、バルブ前後の圧力差が大きくなっても問題なく操作可能なバルブを提供する。
【解決手段】開口を封止するように適合され、かつ第１の壁と、該第１の壁に形成された第１の開口１１５と、第２の壁と、該第２の壁に形成された第２の開口１１７とを有するバルブハウジング１０５を含むスリットバルブ１０１ａを基本とし、該スリットバルブかつ該第２の開口を封止するように適合された封止部１０７と、該封止部１０７に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材１０９とを有する閉鎖部材１０３を含むスリットバルブ。
【解決手段】開口を封止するように適合され、かつ第１の壁と、該第１の壁に形成された第１の開口１１５と、第２の壁と、該第２の壁に形成された第２の開口１１７とを有するバルブハウジング１０５を含むスリットバルブ１０１ａを基本とし、該スリットバルブかつ該第２の開口を封止するように適合された封止部１０７と、該封止部１０７に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材１０９とを有する閉鎖部材１０３を含むスリットバルブ。
【発明の詳細な説明】
【発明の内容】
【０００１】
本出願は、２００３年５月１３日に出願された米国仮特許出願第６０／４７０，１４０号の優先権を主張するものであり、その全体を参照として本明細書に組み入れる。
【技術分野】
【０００２】
本発明は概して半導体デバイス製造に関し、より具体的には処理チャンバの開口を封止するための方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
基板処理チャンバは通常、広くかつ比較的短い封止可能な開口を介して基板転送チャンバと連通して、水平に配向された基板の挿入および除去を受け入れる。このような開口を封止するためにスリットバルブを使用することが知られている。例えば、スリットバルブの封止プレートは、開口を封止するために延長されたり、開口を介して基板の通過を許容するために後退されたりしてもよい。（１）摩擦による粒子の生成、および（２）弾性封止要素の不均一な圧縮という問題を回避するスリットバルブ設計が好ましい。
【０００４】
あるタイプの基板処理ステップ時に、処理チャンバ内の高圧力がスリットバルブの封止プレートを外側に押圧するように、処理チャンバと転送チャンバとの間に圧力差が存在することがある。それによってスリットバルブにストレスと疲労がかかり、その量は圧力差によって増加する。フラットパネルディスプレイに用いられているような大きな基板に関する場合に（例えば、より大きな基板が処理チャンバと転送チャンバとの間のより大きな開口と、このような開口を封止するためのより大きな封止プレートとを必要とするなど）、圧力差の効果は悪化する。従来のスリットバルブは通常、大きな圧力差を受け入れるように設計されていない。従って、とりわけ大きな圧力差が用いられている場合に、処理チャンバの開口を封止するための方法および装置の改良が必要となる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の実施形態において、開口を封止するように適合されたスリットバルブが提供されている。該スリットバルブは、（１）第１の壁と、（２）該第１の壁に形成された第１の開口と、（３）第２の壁と、（４）該第２の壁に形成された第２の開口とを有するバルブハウジングを含む。該スリットバルブはまた、該第２の壁に接触して該第２の開口を封止するように適合された封止部を有する閉鎖部材と、該封止部に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材とを含む。該スリットバルブはさらに、（１）該封止部を該第２の壁に向かって、かつ該第２の壁に接触して移動させ、（２）該第２の壁に対して封止部を支持するために、該支持部材を該封止部から離して、かつ該第１の壁に接触して移動させるように適合されている少なくとも１つの作動機構を含む。
【０００６】
本発明の第２の実施形態において、開口を封止するための方法が提供されている。該方法は、（１）第１の壁と、（２）該第１の壁に形成された第１の開口と、（３）第２の壁と、（４）該第２の壁に形成された第２の開口とを有するバルブハウジングを提供するステップを含む。該方法はさらに、該第２の壁に接触して、該第２の開口を封止するように適合された封止部を有する閉鎖部材と、該封止部に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材とを提供するステップを含む。該方法はまた、（１）該封止部を該第２の壁に向かって、かつ該第２の壁に接触して移動させるステップと、（２）該封止部を該第２の壁に対して支持するために、該支持部材を該封止部から離して、かつ該第１の壁に接触して移動させるステップとを含む。多数の他の態様が提供されている。
【０００７】
本発明の他の特徴および態様は、以下の詳細な説明、添付の請求項および添付の図面からより完全に明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１Ａ】チャンバ分離バルブを備える、本発明に従った装置の実施形態を図示している。
【図１Ｂ】チャンバ分離バルブを備える、本発明に従った装置の実施形態を図示している。
【図１Ｃ】チャンバ分離バルブを備える、本発明に従った装置の実施形態を図示している。
【図２】図１Ａ〜図１Ｃのチャンバ分離バルブの例示的実施形態を表す本発明のチャンバ分離バルブの斜視分解組み立て図である。
【図３Ａ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｂ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｃ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｄ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｅ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｆ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図４】図２のチャンバ分離バルブの第１の開口を封止するための例示的プロセスを図示するフローチャートである。
【図５】図３Ｆに示された閉鎖部材の長手方向後退位置に、図２のチャンバ分離バルブの閉鎖部材を置くための例示的プロセスを図示するフローチャートである。
【図６】図２のチャンバ分離バルブと、チャンバ分離バルブの機能を動作および／または調整するように適合されたスリットバルブコントロールモジュールとを含むスリットバルブシステムの概略図である。
【図７】図６のスリットバルブシステムの具体的実施形態の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１Ａ〜図１Ｃは、チャンバ分離バルブ１０１を備える、本発明に従った装置の実施形態を図示する。また、以下の説明に鑑みると、図１Ａ〜１Ｃは、その中に含有されている基板の処理のために処理チャンバＰの加圧を許容するために、チャンバ分離バルブ１０１を使用して、（図１Ａに仮想線で示されている）開口１０２を（図１Ａに仮想線で示されている）隣接する処理チャンバＰに封止するための本発明の方法の実施形態を図示している。
【００１０】
チャンバ分離バルブ１０１は処理チャンバ開口１０２を封止するための閉鎖部材１０３を含んでいてもよい。加えて、チャンバ分離バルブ１０１は、その中に閉鎖部材１０３の少なくとも一部が移動可能に配置されているバルブハウジング１０５を備えていてもよい。チャンバ分離バルブ１０１を処理チャンバの開口と連動して使用可能にするために、チャンバ分離バルブ１０１のバルブハウジング１０５は、例えばシール（図示せず）がバルブハウジング１０５と、封止する処理チャンバ開口周辺の処理チャンバとの間に形成されるように、処理チャンバに対して置かれてもよい。
【００１１】
閉鎖部材１０３は処理チャンバ開口１０２を封止するための封止部１０７を含んでいてもよい。例えば、封止部１０７を利用して、例えば処理チャンバ開口１０２と整列されているバルブハウジング１０５に開口を封止することによって、処理チャンバ開口１０２を間接的に封止してもよい。あるいは、封止部１０７は、封止部１０７が処理チャンバ開口１０２周辺を封止するように、処理チャンバＰと直接接触（図示せず）して置かれてもよい。
【００１２】
閉鎖部材１０３は、封止部１０７に対して移動可能なブレース部材１０９をさらに含んでいてもよい。例えば、ブレース部材１０９は、封止部１０７に対して延長したり、後退したりするように適合されてもよい。さらに、ブレース部材１０９は、例えば封止部１０７が上記の処理チャンバ開口１０２を封止するのに適切な場所にある場合に、封止部１０７を支持したり強化したりするように適合されてもよい。このような配置は、特に一般的なカンチレバー配置（図示せず）と比較して、処理チャンバＰ内の正圧に抵抗するのに必要な力量を削減および／または最小化してもよい点において本質的に効率的である。
【００１３】
処理チャンバ開口１０２に対して閉鎖部材１０３の便宜的な移動を提供するために、閉鎖部材１０３はまた、封止部１０７から延びる延長部１１１を備えていてもよい。このような実施形態において、封止部１０７から間隔をあけられている延長部１１１の一端は、（例えば封止部１０７とブレース部材１０９の両方を延長部１１１を介して共に移動させることによって）閉鎖部材１０３が一体として移動させられるように、例えばバルブハウジング１０５の内部または外部に配置されているアクチュエータ（図２参照）によって把握および／または操作されるように適合されてもよい。例えば、閉鎖部材１０３は、（図１Ｂおよび１Ｃに示されているチャンバ分離バルブ１０１のそれぞれの構成間を横方向に、または図１Ａおよび１Ｂに示されているチャンバ分離バルブ１０１のそれぞれの構成間を長手方向に）処理チャンバ開口１０２に対して、および／または処理チャンバ開口１０２から離れて延長部１１１を介して移動されてもよい。
【００１４】
好ましくは、閉鎖部材１０３の延長部１１１は閉鎖部材１０３の封止部１０７に対して固定される。例えば、封止部１０７と延長部１１１は図１Ａに示された一体型構造であってもよい。あるいは、延長部１１１は封止部１０７に固定的に結合されてもよい。
【００１５】
バルブハウジング１０５は、エンクロージャ１１３と、エンクロージャ１１３への第１の開口１１５と、エンクロージャ１１３への第２の開口１１７とを画成してもよい。好ましくは、第１の開口１１５およびエンクロージャ１１３は処理チャンバ開口１０２との共通軸に沿って整列されて、またバルブハウジング１０５を介して、かつ処理チャンバＰの内外に基板の通過を許容するようにサイズ設定される。例えば、第１の開口１１５は処理チャンバ開口１０２から間隔をあけられていてもよく、第２の開口１１７は、エンクロージャ１１３の他方の側に、処理チャンバ開口１０２と隣接して、共通軸で配置されてもよい。１つ以上の実施形態において、第２の開口１１７は、第２の開口１１７が本質的に処理チャンバ開口１０２の延長部を備えるように、処理チャンバ開口１０２と空気圧で連通して置かれてもよい。
【００１６】
バルブハウジング１０５はさらに、その中に第１の開口１１５が形成された後部プレート１１９を備えていてもよい。後部プレート１１９は、（以下にさらに説明するように）封止時に閉鎖部材１０３の封止部１０７を支持するために、ブレース部材１０９が後部プレート１１９に接触して、かつ後部プレートを１１９を押圧することができるように適合され、また適切に設置されてもよい。
【００１７】
バルブハウジング１０５はさらに、その中に第２の開口１１７が形成された前部プレート１２１を備えていてもよい。前部プレート１２１は、閉鎖部材１０３の封止部１０７が前部プレート１２１に接触して、かつ第２の開口１１７周辺を封止することができるように適合され、また適切に設置されてもよい。あるいは、上述のように、封止部１０７は処理チャンバＰに直接接触して開口１０２を封止してもよい。
【００１８】
動作において、図１Ａに示されているように、チャンバ分離バルブ１０１の閉鎖部材１０３は、第１および第２の開口１１５、１１７に対する後退位置となるように適合され、閉鎖部材１０３は第１および第２の開口１１５、１１７から離れて（例えば下方に）間隔をあけられる。このような構成によって基板は、バルブハウジング１０５を介して、また処理チャンバＰの内外に通過させられる。
【００１９】
図１Ａに示されているように、少なくとも一実施形態において、バルブハウジング１０５のエンクロージャ１１３は、依然としてバルブハウジング１０５を介する基板の通過を許容しつつ、閉鎖部材１０３の封止部１０７を取り囲んでもよい。また図１Ａに示されているように、バルブハウジング１０５のエンクロージャ１１３は、例えば第１の間隙１２３をブレース部材１０９と後部プレート１１９の間に、第２の間隙１２５を封止部１０７と前部プレート１２１の間に提供するために、封止部１０７とブレース部材１０９を間隔をあけて取り囲んでもよい。
【００２０】
閉鎖部材１０３は、図１Ｂに示されるように第１および第２の開口１１５、１１７に対する展開位置となるようにバルブハウジング１０５に対して移動されてもよく、封止部１０７は第１および第２の開口１１５、１１７の間に配置されている。好ましくは、このような展開中に、第１および第２の間隙１２３、１２５は、閉鎖部材１０３とバルブハウジング１０５の間に生じる恐れのある粒子生成摩擦および／または擦れを削減および／または排除するように維持される。閉鎖部材１０３が経路をブロックするために、基板（図示せず）がもはやバルブハウジング１０５を介して通過できないことは明らかである。
【００２１】
図１Ｂにおいてバルブハウジング１０５の第２の開口１１７に対する後退位置に示されている閉鎖部材１０３は、図１Ｃに示されているように第２の開口１１７に対する展開位置に移動されてもよい。図１Ｃに示されているように、閉鎖部材１０３の封止部１０７は前部プレート１２１と接触しており、またバルブハウジング１０５の第２の開口１１７を封止させられてもよい。好ましくは、また図１Ｂおよび１Ｃに示されたチャンバ分離バルブ１０１によって明示されているように、閉鎖部材１０３の封止部１０７と、第２の開口１１７の封止につながるバルブハウジング１０５の前部プレート１２１との間の相対的運動は、摩擦による粒子生成の可能性を削減および／または排除するために、前部プレート１２１の法線となる方向に制限される。
【００２２】
図１Ｃと図１Ｂを比較することによっても分かるように、チャンバ分離バルブ１０１は、ブレース部材１０９を処理チャンバ開口１０２から離して、かつバルブハウジング１０５の後部プレート１１９に接触して移動させるように、封止部１０７に対してブレース部材１０９を移動させる分離力を生成するように適合されてもよい。あるいは、ブレース部材１０９は、転送チャンバ（図示せず）の一部や別の構造的部材に接触させられてもよい。チャンバ分離バルブ１０１は、場合によっては、バルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して、または処理チャンバＰ（図１）に対して閉鎖部材１０３の封止部１０７を支持または補強するために、支持力を生成し、またブレース部材１０９を封止部１０７から離して付勢しようとしてもよい。このような支持力は任意の方法で、また閉鎖部材１０３に対する任意の場所で生成されてもよい。例えば、支持力は、ブレース部材１０９と封止部１０７の間に、例えばこれらの間に配置または形成された空気圧アクチュエータ（図２参照）によって生成および直接印加されてもよい。本発明の少なくとも一実施形態において、ブレース部材１０９は第１の開口１１５を封止しないという点に注目すべきである。
【００２３】
図２は、図１Ａ〜図１Ｃのチャンバ分離バルブ１０１の例示的実施形態を表す本発明のチャンバ分離バルブ１０１ａの斜視分解組み立て図である。図３Ａ〜図３Ｆは、チャンバ分離バルブ１０１ａの長さに沿った種々の場所についてのチャンバ分離バルブ１０１ａの、かつチャンバ分離バルブ１０１ａの構造的かつ動作的態様を説明する断面組み立て側面図である。従って、チャンバ分離バルブ１０１を参照した上記の構造的かつ機能的説明はチャンバ分離バルブ１０１ａにも適用し、同様の参照番号は図面において（例えば、構造の）対応する態様を示すのに使用される。
【００２４】
図２および図３Ａを参照すると、バルブハウジング１０５は、上部１２７と、上部１２７に結合された下部１２９とを備えていてもよい。上部１２７は、バルブハウジング１０５の後部プレート１１９が、転送チャンバ（図示せず）のバルブインタフェース部などの外部の対応する構造に対して封止されるように、弾性要素１３０（図３Ａ）を含んでもよい。下部１２９は、バルブハウジング１０５の下部１２９をバルブハウジング１０５の上部１２７に対して封止するための弾性要素１３１（図３Ａ）を含んでもよい。下部１２９はさらに、閉鎖部材１０３の延長部１１１がバルブハウジング１０５の外側に延長し、またバルブハウジング１０５に対する閉鎖部材１０３の長手方向（例えば縦方向）および横方向（例えば水平方向）の両方の移動を可能にするように適合された第１および第２のポート１３３（図２および３Ｄ）を含んでもよい。多少のポート１３３が必要または所望ならば特定されてもよい。
【００２５】
図２を参照すると、閉鎖部材１０３は２つの延長部１１１を含んでおり、各延長部１１１は封止部１０７に結合されており、チャンバ分離バルブ１０１ａは、各延長部１１１がポート１３３を介して延長するように構成されている。多少の延長部１１１が必要または所望ならば特定されてもよい。
【００２６】
図２および図３Ａ〜図３Ｆを参照すると、チャンバ分離バルブ１０１ａは、例えばバルブハウジング１０５および／または処理チャンバ開口１０２（図１Ａ）に対して閉鎖部材１０３を移動させるための展開機構１３４を備えていてもよい。例えば、展開機構１３４は、図３Ｆと３Ｄにそれぞれ示された、閉鎖部材１０３の長手方向後退位置と長手方向展開位置との間に閉鎖部材１０３を移動させるための１つ以上の第１のアクチュエータ１３５（図２および３Ａ）を含んでもよい。第１のアクチュエータ１３５は多数の異なるタイプの適切なデバイスの１つであってもよい。例えば、図２および３Ａの第１のアクチュエータ１３５によって具現化される空気圧駆動線形アクチュエータのようなものが、ベルトまたはスクリュー駆動アクチュエータであれば適切である。
【００２７】
展開機構１３４はさらに、バルブハウジング１０５のエンクロージャ１１３（図３Ｄ）をポート１３３を介する汚れの侵入から保護するための１つ以上の外部ベローズ１３７（図２）を備えていてもよい。各外部ベローズ１３７は、閉鎖部材１０３の個別延長部１１１に対応しており、またこれを囲むように適合されている。多少の延長部１１１が存在する場合、外部ベローズ１３７の数はそれに応じて増減してもよい。各外部ベローズ１３７は、対応する延長部１１１が延長するポート１３３周辺のバルブハウジング１０５に搭載された第１の搭載フランジ１３９を含んでもよい。
【００２８】
展開機構１３４はさらに、図３Ｄと図３Ｅにそれぞれ示された、閉鎖部材１０３の横方向後退位置と横方向展開位置との間に閉鎖部材１０３を移動させるための１つ以上の第２のアクチュエータ１４１（図２および３Ｃ）を含んでもよい。各第２のアクチュエータ１４１は、第１のアクチュエータ１３５を介してバルブハウジング１０５に移動可能に搭載されてもよい第１のサポートプレート１４３に搭載されてもよい。各第２のアクチュエータ１４１は多数の異なる適切なデバイスの１つであってもよい。例えば、図２および３Ｃの第２のアクチュエータ１４１によって具現化されたような、空気圧駆動線形アクチュエータは、ベルトまたはスクリュー駆動アクチュエータであれば、適切である。
【００２９】
展開機構１３４は、第１のアクチュエータ１３５が第１のサポートプレート１４３をバルブハウジング１０５に対して長手方向に移動させると、第１のサポートプレート１４３を案内するように適合されてもよい。例えば、第１および第２のサポート１４９はバルブハウジング１０５に固定され、またこれから延長されてもよく、また第１のサポートプレート１４３は、例えば、好ましくは各サポート１４９に固定的に結合されたレール１５１と、第１および第２の対のトラック１５３とを介して、各サポート１４９にスライド可能に結合されてもよい。各対のトラック１５３は、第１のサポートプレート１４３の長手方向の移動を可能にするために、第１のサポートプレート１４３に固定的に結合されてもよく、またレール１５１に移動可能に結合されてもよい。
【００３０】
図２、図３Ｃおよび図３Ｄを参照すると、展開機構１３４はさらに１つ以上のブラケット１４５を含んでもよく、各ブラケット１４５は、閉鎖部材１０３の封止部１０７から間隔をあけられた延長部１１１の一端に固定されている。展開機構１３４はまた第２のサポートプレート１４７を含んでもよく、第２のサポートプレート１４７は第２のアクチュエータ１４１を介して第１のサポートプレート１４３（および／またはバルブハウジング１０５）に移動可能に搭載されている。各ブラケット１４５は第２のサポートプレート１４７に結合されて、展開機構１３４が（例えば、長手方向や、横方向や、またはこれらの組み合わせで）閉鎖部材１０３を操作および／または移動させることができる手段を提供してもよい。
【００３１】
展開機構１３４は、第２のアクチュエータ１４１が第１のサポートプレート１４３およびバルブハウジング１０５に対して横方向に第２のサポートプレート１４７を移動させると第２のサポートプレート１４７を案内するように、また（例えば、バルブハウジング１０５に対して閉鎖部材１０３の円滑な横方向変換を容易にするために）閉鎖部材１０３と、第２のサポートプレート１４７とブラケット１４５との結合重量によって表された鉛直力から、横方向に動作する第２のアクチュエータ１４１を分離するように適合されてもよい。例えば、図２および図３Ｂに示されているように、展開機構１３４はさらに第１のサポートプレート１４３の側部から延びる軸受１５５を備えてもよく、各ブラケット１４５は、軸受１５５のうちの１つのローラ部１５９を受け入れるように適合されたガイドスロット１５７を備えてもよい。従って、第２のサポートプレート１４７が第１のサポートプレート１４３に対して横方向に移動している間、軸受１５５と第１のサポートプレート１４３は、依然としてそのサブアセンブリを、軸受のローラ部１５９とブラケットのガイドスロット１５７との間の転倒（転回）連通を介して円滑に変換させつつ、閉鎖部材１０３と、ブラケット１４５と第２のサポートプレート１４７との重量の実質的にすべてを担持させられてもよい。
【００３２】
図２のチャンバ分離バルブ１０１ａの場合のように、バルブハウジング１０５の第１の開口１１５が相対的に長い場合について、ブレース部材１０９は、同様に伸張されたブレースプレート１６１を含んでもよい。ブレースプレート１６１は封止部１０７に面する第１のサイド１６３（図３Ｃ）を備えていてもよく、この上に複数の搭載ボス１６５（図３Ｂ）が提供されてもよい。複数の搭載ボス１６５の各々は、封止部１０７の非封止サイド１６９（図２）内に形成された複数のポケット（図２、図３Ｂも参照）のそれぞれの１つに延長するように適合されてもよい。同数の駆動プレート１７１（図２）のそれぞれ１つは各ポケット１６７（図３Ｄ参照）内に配置され、その中に延びるブレースプレート１６１の搭載ボス１６５に結合され、好ましくは固定されてもよい。それによって、ブレースプレート１６１と、搭載ボス１６５を介してブレースプレート１６１に結合された各駆動プレート１７１とを備えるサブアセンブリが形成されてもよい。
【００３３】
閉鎖部材１０３は、ブレース部材１０９を、図３Ｄに示された（横方向）後退位置と、図３Ｅに示された展開つまり延長位置との間で前後に移動させるように適合されてもよい。例えば、作動デバイスは、（例えば、閉鎖部材１０３のサイズ全体を最小限大きくするためだけに）ブレース部材１０９および／または閉鎖部材１０３の封止部１０７内で用いられてもよい。例えば、閉鎖部材１０３は、図２および３Ｂ〜３Ｆを参照して後述するように少なくとも１つのブレースアクチュエータ１７３（図２および３Ｅ）を備えてもよい。
【００３４】
図２のチャンバ分離バルブ１０１ａの場合のように、第１の開口１１５が相対的に長い場合、（例えば、ポケット１６７を形成するために、ブレース部材１０９および／または封止部１０７の非封止サイド１６９で使用可能な部屋を介して封止部１０７に印加される必要のある支持力の大きさに応じて）閉鎖部材１０３は複数のブレースアクチュエータ１７３を含んでもよい。各ブレースアクチュエータ１７３は、上記の閉鎖部材１０３のコンポーネントのいくつか（例えば、封止部１０７のポケット１６７と、ブレース部材１０９の駆動プレート１７１）の部分から構成されるように、閉鎖部材１０３内に構築され、かつ／またはこの中に一体化されてもよい。加えて、各ブレースアクチュエータ１７３は、（例えば封止部１０７のポケットの１６７周辺の）封止部１０７の非封止サイド１６９に結合された搭載フランジ１７７を含む駆動プレートベローズ１７５（図３Ｄ）と、搭載フランジ１７７に取り付けられ、かつポケット１６７に延びている延長可能な壁部１７９とを備えていてもよく、この中で延長可能な壁部１７９は駆動プレート１７１に取り付けられている。
【００３５】
図３Ｅを参照すると、各ブレースアクチュエータ１７３は、封止部１０７のポケット１６７（図３Ｂ参照）と、ブレース部材１０９の駆動プレート１７１と、駆動プレートベローズ１７５の延長可能な壁部１７９と、駆動プレートベローズ１７５の搭載フランジ１７７（図３Ｄ）とを備える圧力セル１８１を備えていてもよい。圧力セル１８１は、後部プレート１１９に対してブレース部材１０９を向けるために加圧ガスの外部ソース（図示せず）を介して膨張されてもよい。例えば、図３Ｅは、閉鎖部材１０３の封止部１０７がバルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して展開され、閉鎖部材１０３のブレース部材１０９がバルブハウジング１０５の後部プレート１１９に対して展開され、各駆動プレートベローズ１７５の延長可能な壁部１７９が相対的に圧縮されて、圧力セル１８１の体積が相対的に大きいというチャンバ分離バルブ１０１ａの構成を図示している。
【００３６】
あるいは、圧力セル１８１は減圧の外部ソースを介して収縮されてもよい。例えば、図３Ｄは、ブレース部材１０９が封止部１０７のポケット１６７（図３Ｂ）内に後退し、駆動プレートベローズ１７５の延長可能な壁部１７９が相対的に延長され、圧力セル１８１の体積（図３Ｅ）が相対的に小さいというチャンバ分離バルブ１０１ａの構成を図示している。以下にさらに説明されるように、各ブレースアクチュエータ１７３はこのような圧力セル１８１を１つ備えていてもよく、また圧力セル１８１の体積および／または圧力セル１８１内の圧力（例えば空気圧や流体圧）の変化によって作動してもよい（例えばブレース部材１０９を移動させる／位置決めする／付勢する）。
【００３７】
各ブレースアクチュエータ１７３は空気圧で活性化されてもよい。例えば、各ポケット１６７は、ポケット１６７の各々の壁を貫通する導管１８３（図３Ｂ）を介して空気圧で結合されてもよい。従って、閉鎖部材１０３のブレースアクチュエータ１７３の１つの圧力セル１８１に、膨張のための空気または流体圧、または場合によっては収縮のための減圧がかけられると、各ブレースアクチュエータ１７３の圧力セル１８１は同様に活性化される傾向がある。ブレースアクチュエータ１７３によって及ぼされたこのような総力は、導管１８３に存在する圧力によって、封止部１０７に対して（例えばこれに向かって、またはこれから離れて）ブレース部材１０９を移動させてもよい。
【００３８】
例えば、閉鎖部材１０３が図３Ｆの長手方向後退位置にある場合、またはこの内外に移動中である場合にブレース部材１０９とバルブハウジング１０５間の接触を防止するために、閉鎖部材１０３は、ブレース部材１０９を封止部１０７内に後退させるために減圧ソース（図示せず）に導管１８３を暴露するように適合されてもよい。（閉鎖部材１０３の封止部１０７は前部プレート１２１から同様に後退されてもよい）。閉鎖部材１０３はまた、ブレース部材１０９を封止部１０７から離して延長させるために加圧ガスソース（図示せず）に導管１８３を暴露するように、および／または、完全に延長された場合には、封止部１０７を図３Ｅに示されたようにバルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して支持するために、ブレース部材１０９にバルブハウジング１０５の後部プレート１１９を押圧させるように適合されてもよい。
【００３９】
減圧または加圧ガスのソースへの導管１８３の暴露は多数の方法のうちのいずれかで遂行可能である。例えば、ブラケット１４５の一方または両方とも、圧力フィッティング（図示せず）、例えば圧力ホースの端部フィッティングを受け取るように適合されたソケット１８５（図２）を含むことができる。圧力フィッティング（図示せず）は、これもまた延長部１１１内に形成され、かつ延長部１１１の封止部インタフェース１９１（図３Ｃ）につながる延長導管１８９（図３Ｃ）と連通している閉鎖部材１０３の延長部１１１内に形成された圧力ポート１８７（図３Ｅ）と合わさるように適合されてもよい。封止部インタフェース１９１は、封止部１０７の延長部インタフェース１９３を封止するように作られてもよい。弾性要素１９５は２つのインタフェース間のシールを提供してもよい。封止部１０７内のフィーダ導管１９７は延長部インタフェース１９３から封止部１０７の導管１８３につながってもよい。このような配置は、閉鎖部材１０３のブレースアクチュエータ１７３を空気圧で作動させ、（例えば常に）封止部１０７に対するブレース部材１０９の位置に正（ｐｏｓｉｔｉｖｅ）コントロールを行使する（例えば、必要ならば減圧または加圧ガスのいずれかを印加する）ための便宜的な手段を提供する。ブレースアクチュエータ１７３に減圧または加圧ガスを印加するための他の構成もまた用いられてもよい。
【００４０】
駆動プレートベローズ１７５の各々の延長可能な壁部１７９が圧力セル１８１の膨張時に圧縮されることもまた注目されるべきである。このような配置によって、延長可能な壁部１７９は、延長可能な壁部１７９が圧力セルの膨張時に膨張されるならば、その場合よりもストレスおよび疲労が小さいことがあるために、駆動プレートベローズ１７５の使用寿命を増加させる。反対の配置もまた用いられてもよい。
【００４１】
一実施形態において、閉鎖部材１０３の延長部１１１の各々は、閉鎖部材１０３の封止部１０７がバルブハウジング１０５の前部プレート１２１に接触すると、外部ベローズ１３７の第１の搭載フランジ１３９の内面１５４（図３Ｄ）に接触してもよい（図３Ｅ参照）こともさらに注目される。このような配置は、閉鎖部材１０３が（下記の）バルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して移動する程度まで正の（ｐｏｓｉｔｉｖｅ）自己整列制限を提供するアシストをしてもよい。例えば、延長部１１１と第１の搭載フランジ１３９が接触する場合のバルブハウジング１０５内の閉鎖部材１０３の位置は、閉鎖部材１０３の封止部１０７と前部プレート１２１間の弾性封止要素（図示せず）の所望の初期圧縮度に対応してもよく、必要とされる更なる圧縮は、封止部１０７を前部プレート１２１に支持するブレース部材１０９によって提供されてもよい。他の実施形態において、延長部１１１は、閉鎖部材１０３の封止部１０７が前部プレート１２１に接触する場合には、ベローズ１３７の内面１５４と接触していないままでもよい。
【００４２】
図４は、チャンバ分離バルブ１０１ａの第１の開口１１５を封止するための例示的プロセス４００を図示するフローチャートである。図４を参照すると、プロセス４００はステップ４０１で開始してもよい。ステップ４０２において、プロセス４００は、閉鎖部材１０３（図２）の長手方向位置に応じてステップ４０３またはステップ４０４のいずれかに進む。閉鎖部材１０３が図３Ｆに図示された長手方向後退位置にある場合は、プロセス４００はステップ４０３に進む。
【００４３】
ステップ４０３において、閉鎖部材１０３は、図３Ｆの長手方向後退位置から、図３Ｄで図示された閉鎖部材１０３の長手方向展開位置に移動される。例えば、展開機構１３４の第１のアクチュエータ１３５は、図３Ｆの長手方向後退位置から、図３Ｄの長手方向展開位置に閉鎖部材１０３を上昇させられてもよい。本発明の方法の１つ以上の実施形態において、閉鎖部材１０３の上記上昇の前、その最中および／またはその後に、展開機構１３４は第２の間隙１２５（図１Ａ）を維持し、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は第１の間隙１２３（図１Ａ）を閉鎖部材１０３とバルブハウジング１０５間に維持し、閉鎖部材１０３の移動中の擦れおよび／または粒子生成から保護する。従って、いくつかのこのような実施形態において、展開機構１３４の第２のアクチュエータ１４１は、バルブハウジング１０５の前部プレート１２１から離れた横方向後退位置に閉鎖部材１０３を保持するように作動される。
【００４４】
ステップ４０３の終わりに、閉鎖部材１０３は図３Ｄの縦方向展開位置にある。従って、プロセス４００はステップ４０４に進む。
【００４５】
ステップ４０４において、閉鎖部材１０３は横方向に展開される、例えば図３Ｄの閉鎖部材１０３の横方向後退位置から、図３Ｅに図示された閉鎖部材１０３の横方向展開位置に移動される。例えば、展開機構１３４の１つ以上の第２のアクチュエータ１４１（および／または１つ以上のブレースアクチュエータ１７３）は、図３Ｄの閉鎖部材１０３の横方向後退位置から図３Ｅの横方向展開位置まで閉鎖部材１０３を移動させられてもよい。第２のアクチュエータ１４１を作動解除（例えば減圧）することによって、延長部１１１は横方向に移動可能であってもよく、また１つ以上のブレースアクチュエータ１７３の膨張、延長部１１１や閉鎖部材１０３のスプリングバイアスなどが封止部１０７を前部プレート１２１に対して移動させてもよい。本発明の方法の１つ以上の実施形態において、閉鎖部材１０３の上記横方向展開によって、閉鎖部材１０３の封止部１０７が、バルブハウジング１０５の前部プレート１２１と接触して移動されることになる。いくつかのこのような実施形態および／または他の実施形態において、閉鎖部材１０３の上記横方向展開によって、閉鎖部材１０３の延長部１１１が外部ベローズ１３７の第１の搭載フランジ１３９の対応する内面１５４に接触することになる。
【００４６】
プロセス４００のステップ４０５に進んで、閉鎖部材１０３のブレース部材１０９は横方向に展開される、例えば図３Ｅに図示されたブレース部材１０９の横方向展開位置に移動される。例えば、閉鎖部材１０３の１つ以上のブレースアクチュエータ１７３（図２）は、（例えば図３Ｄに図示されたような）封止部１０７に対する、かつ／またはこの中のブレース部材１０９の横方向後退位置から、図３Ｅの横方向展開位置にブレース部材１０９を移動させられてもよい。
【００４７】
本発明の方法の１つ以上の実施形態において、ステップ４０５は、ステップ４０４が完了した後にのみ開始する。他の実施形態において、ステップ４０５およびステップ４０４は同時に実行され、かつ／または両ステップは、いずれかが完了する前に開始される。さらに別の実施形態において、ステップ４０４は、ステップ４０５が開始された後にのみ開始する。加えて、本発明の方法の１つ以上の実施形態において、閉鎖部材１０３および閉鎖部材１０３のブレース部材１０９の上記横方向展開の前、その最中および／またはその後に、展開機構１３４は、閉鎖部材１０３（図３Ｅ）の長手方向展開位置に閉鎖部材１０３を維持するために用いられる。例えば、第１のアクチュエータ１３５は、閉鎖部材１０３を上昇させた後に作動されたままであってもよい（ステップ４０２参照）。
【００４８】
プロセス４００のステップ４０６に進んで、封止部１０７は前部プレート１２１対して支持されて、その中に形成された第１の開口１１５を封止する。例えば、各ブレースアクチュエータ１７３の圧力セル１８１の圧力は、ブレース部材１０９を後部プレート１１９に対する場所に移動させるのには十分な比較的低圧であったものから（ステップ４０５参照）、加圧チャンバＰが及ぼす圧力の予想大きさと同じ比較的高圧まで増加されてもよい。あるいは、ステップ４０５において圧力セル１８１を膨張させるために使用された圧力は予想圧力に抵抗するほど十分高く、または圧力がステップ４０５時に徐々にまたは段階的に適度な高圧に増加されていたら、その圧力は、支持力が必要とされる限り維持されてもよい。
【００４９】
閉鎖部材１０３は長手方向および横方向の両方に展開され、ブレース部材１０９は横方向に展開され、封止部１０７は第１の開口１１５を封止するために前部プレート１２１に対して支持されることによって、プロセス４００はステップ４０７で終了する。
【００５０】
あるいは、プロセス４００は１つ以上のステップで開始して、閉鎖部材１０３とバルブハウジング１０５間の第１および第２の間隙１２３、１２５は、展開機構１３４の第１のアクチュエータ１３５によって閉鎖部材１０３が長手方向に展開される（例えば、上昇される）前に存在することを保証してもよい。例えば、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は、例えば減圧の印加によって支持方向と反対方向に用いられて、ブレース部材１０９が、閉鎖部材１０３の長手方向展開時に封止部１０７に対しておよび／またはこの中に（かつバルブハウジング１０５の後部プレート１１９から離れて）後退したままであることを保証してもよい。さらに、１つ以上の第２のアクチュエータ１４１は、（例えば、コイルスプリング（図示せず）などのバイアス要素の力によって、または圧力セル１８１の膨張によって生じる封止方向の移動による）例えば正圧の印加によって封止方向と反対方向に用いられて、閉鎖部材１０３の封止部１０７が、閉鎖部材１０３の長手方向展開時にバルブハウジング１０５の前部プレート１２１から離れて後退したままであることを保証してもよい。
【００５１】
図５は、図３Ｆに示された閉鎖部材１０３の長手方向後退位置にチャンバ分離バルブ１０１ａの閉鎖部材１０３を置くための例示的プロセス５００を図示するフローチャートである。図５を参照すると、プロセス５００はステップ５０１で開始する。ステップ５０２において、プロセス５００は、ブレース部材１０９（図２）の横方向位置に応じてステップ５０３またはステップ５０４のいずれかに進む。ブレース部材１０９が横方向後退位置にない場合、プロセス５００はステップ５０３に進む。
【００５２】
ステップ５０３において、ブレース部材１０９は横方向に後退される、例えば、図３Ｄに示されているような横方向後退位置に移動される。例えば、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は、図３Ｅに示されているようなブレース部材１０９の横方向展開位置から図３Ｄに示された横方向後退位置にブレース部材１０９を移動させられてもよい。
【００５３】
ステップ５０４に進むと、プロセス５００は、閉鎖部材１０３（図２）の横方向位置に応じて、ステップ５０５またはステップ５０６のいずれかに進む。閉鎖部材１０３が横方向後退位置にない場合、プロセス５００はステップ５０５に進む。
【００５４】
ステップ５０５において、閉鎖部材１０３は横方向に後退される、例えば図３Ｄに示されたような横方向後退位置に移動される。例えば、１つ以上の第２のアクチュエータ１４１は、図３Ｅに示されたような閉鎖部材１０３の横方向展開位置から図３Ｄに示された横方向後退位置に閉鎖部材１０３を移動させられてもよい。
【００５５】
プロセス５００の１つ以上の実施形態において、ステップ５０２、５０３、５０４および５０５のうちの２つ以上は同時に、または異なる順序で生じてもよい。加えて、ステップ５０５は、ステップ５０３が完了した後のみに開始する必要はない。また、プロセス５００の１つ以上の実施形態において、ブレース部材１０９および閉鎖部材１０３のいずれかまたは両方の後退の前、その最中かつその後で、展開機構１３４は、閉鎖部材１０３（図３Ｅ）の縦方向展開位置に閉鎖部材１０３をアクティブに保持するために用いられてもよい。例えば、展開機構１３４の第１のアクチュエータ１３５はこのために連続的に起動されてもよい。
【００５６】
ステップ５０６に進むと、閉鎖部材１０３は、図３Ｆに示されるように閉鎖部材１０３の長手方向後退位置に移動される。例えば、展開機構１３４の第１のアクチュエータ１３５は、図３Ｄに示されたような長手方向展開位置から図３Ｆに示された長手方向後退位置に閉鎖部材１０３を移動させられてもよい。プロセス５００の１つ以上の実施形態において、閉鎖部材１０３の上記後退の前、その最中および／またはその後に、展開機構１３４および１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は第１および第２の間隙１２３、１２５（図１Ａ）を、閉鎖部材１０３とバルブハウジング１０５の間に維持して、閉鎖部材１０３の長手方向移動時の擦れおよび／または粒子生成から保護してもよい。例えば、いくつかのこのような実施形態において、第２のアクチュエータ１４１は閉鎖部材１０３をバルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して横方向に移動させること阻止されてもよい。加えて、１つ以上の実施形態において、ブレースアクチュエータ１７３は、バルブハウジング１０５の後部プレート１１９に対して横方向にブレース部材１０９を移動させることを阻止されてもよい。その上、１つ以上の実施形態において、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は、例えば減圧の印加によって起動されて、閉鎖部材１０３の長手方向後退時にブレース部材１０９の後退位置を封止部１０７に対して／この中に維持してもよい。
【００５７】
閉鎖部材１０３は長手方向および横方向の両方に後退されるために、チャンバ分離バルブ１０１ａは次に、チャンバ分離バルブ１０１ａのバルブハウジング１０５を介して基板の通過を前後に許容するように構成され、プロセス５００はステップ５０７で終了する。好都合または所望である場合には、追加ステップを採用して、後退時でも移動中でなくても、閉鎖部材１０３がバルブハウジング１０５から間隔をあけられたままであることを保証してもよい。例えば、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３および／または１つ以上の第２のアクチュエータ１４１は第１および／または第２の間隙１２３、１２５（図１Ａ）を維持するために連続的に起動されてもよい。
【００５８】
図４および図５のプロセス４００、５００に関するように、チャンバ分離バルブ１０１ａのいくつかの実施形態において、第１のアクチュエータ１３５は、閉鎖部材１０３の長手方向展開および長手方向後退の両方の時に正圧の印加によって作動するように適合される。チャンバ分離バルブ１０１ａのいくつかの他の実施形態において、第１のアクチュエータ１３５は、縦方向後退に用いられている重力による長手方向展開時に正圧によって作動するように適合されてもよい。チャンバ分離バルブ１０１ａのさらなる実施形態において、各ブレースアクチュエータ１７３は閉鎖部材１０３の横方向展開時にスプリングデフォルトによって作動するように適合されてもよく、またいくつかのこのような実施形態において、各第２のアクチュエータ１４１は、（例えば、閉鎖部材１０３の長手方向移動時の閉鎖部材１０３の横方向後退の維持を保証するために）閉鎖部材１０３の横方向後退時に正圧によって作動するように適合されてもよい。チャンバ分離バルブ１０１ａのさらに別の実施形態において、各ブレースアクチュエータ１７３は、（例えば、ブレース部材１０９を展開する場合にスプリングデフォルトの力を回復する必要を回避するために）ブレース部材１０９の横方向展開時に正圧によって、またブレース部材１０９の横方向後退時に減圧（例えばスプリングデフォルトなし）によって作動するように適合されてもよい。他の構成が用いられてもよい。
【００５９】
図６は、図２のチャンバ分離バルブ１０１ａと、チャンバ分離バルブ１０１ａの機能を動作および／または調整するように適合されたスリットバルブコントロールモジュール６０１とを含むスリットバルブシステム６００の概略図である。例えば、スリットバルブコントロールモジュール６０１は、図４のフローチャートに図示されたプロセス４００および／または図５のフローチャートに図示されたプロセス５００を実行するために、チャンバ分離バルブ１０１ａと相互作用するように適合されてもよい。
【００６０】
スリットバルブコントロールモジュール６０１は、信号を生成および／または受け取るように適合された入力／出力モジュール６０３を備えていてもよい。例えば、入力／出力モジュール６０３は、
（１）図３Ｆに図示されたような長手方向後退位置に閉鎖部材１０３があるか否かを判断し；
（２）図３Ｆの長手方向後退位置にある閉鎖部材１０３に対応する第１の信号コンダクタ６０５に沿って電気信号を生成および送信し；
（３）図３Ｆの長手方向後退位置にある閉鎖部材１０３に対応するインジケータライト（例えば、緑Ｌ．Ｅ．Ｄ．）を照射し；
（４）図３Ｄに図示されたような長手方向展開位置に閉鎖部材１０３があるか否かを判断し；
（５）図３Ｄの長手方向展開位置にある閉鎖部材１０３に対応する第２の信号コンダクタ６０７に沿って電気信号を生成および送信し；
（６）図３Ｄの長手方向展開位置にある閉鎖部材１０３に対応するインジケータライト（例えば、赤Ｌ．Ｅ．Ｄ．）を照射し；
（７）図３Ｅに図示されたような横方向展開位置にブレース部材１０９があるか否かを判断し；
（８）図３Ｅの横方向展開位置にあるブレース部材１０９に対応する第３の信号コンダクタ６０９に沿って電気信号を生成および送信し；
（９）上記（７）のようにブレース部材１０９が横方向展開位置にあると判断されるまで、上記（５）の信号が生成および送信され、上記（６）のインジケータライトが照射されることを阻止し；
（１０）例えば、図４を参照して上記のプロセス４００を実行する（例えば、図３Ｅに図示されたようなチャンバ分離バルブ１０１ａの第１の開口１１５を封止する）ために、スリットバルブコントロールモジュール６０１にチャンバ分離バルブ１０１ａを動作させる、かつ／またはこれを許容するために、第４の信号コンダクタ６１１に沿って電気信号を受け取り；
（１１）例えば、図５を参照して上記のプロセス５００を実行する（例えば、図３Ｆに図示されたように閉鎖部材１０３の長手方向後退位置に閉鎖部材１０３を置く）ために、スリットバルブコントロールモジュール６０１にチャンバ分離バルブ１０１ａを動作させる、かつ／またはこれを許容するために、第５の信号コンダクタ６１３に沿って電気信号を受け取り；
（１２）スリットバルブコントロールモジュール６０１への接続を有する複数の空気圧導管、例えば
（ａ）減圧ソース導管６１５；
（ｂ）加圧ガスソース導管６１７；
（ｃ）環境（大気）排気導管６１９；
（ｄ）ブレース作動導管６２１；
（ｅ）クランプ作動導管６２３；
（ｆ）閉鎖部材低下導管６２５；
（ｇ）閉鎖部材上昇導管６２７；の間の、かつ／またはこれらのうちの接続を選択的に再構成するように適合されたスリットバルブコントロールモジュール６０１（図示せず）の１つ以上の空気圧スイッチをコントロールし、これらに電力を送り；
（１３）ブレース作動導管６２１の上昇圧（例えば、加圧）の存在を検出し；
（１４）上記（１３）の機能によって少なくとも部分的に上記（７）の機能を実行し、および／または
（１５）ブレース作動導管６２１の低下圧（例えば、減圧）の存在を検出するように適合されてもよい。
【００６１】
スリットバルブコントロールモジュール６０１はまた、以下の機能を実行するように適合されてもよい：
（１６）例えば、各ブレースアクチュエータ１７３を作動させることによって、ブレース部材１０９を図３Ｅに図示された横方向展開位置に移動させるために、加圧ガスソース導管６１７をブレース作動導管６２１に選択的に接続すること；
（１７）例えば、各ブレースアクチュエータ１７３を作動させることによって、ブレース部材１０９を図３Ｄに図示された横方向後退位置に移動させるために、減圧ソース導管６１５をブレース作動導管６２１に選択的に接続すること；
（１８）上記（１６）の空気圧接続が存在する間に上記（１７）の機能が生じることを積極的に阻止すること；
（１９）上記（１７）の空気圧接続が存在する間に上記（１６）の機能が生じることを積極的に阻止すること；
（２０）例えば、展開機構１３４の各第２のアクチュエータ１４１を作動させることによって、（例えば閉鎖部材１０３を展開させることを意図するスプリングデフォルトを無効化することによって）図３Ｄに図示された横方向後退位置に閉鎖部材１０３を移動させるために、加圧ガスソース導管６１７をクランプ作動導管６２３に選択的に接続すること；
（２１）例えば、展開機構１３４の各第２のアクチュエータ１４１の作動を停止させて、（例えば、各展開機構１３４に構築された）スプリングデフォルトやブレースアクチュエータ１７３の活動を優先させることによって、図３Ｅに図示された横方向展開位置に閉鎖部材１０３を移動させるために、環境排気導管６１９をクランプ作動導管６２３に選択的に接続すること；
（２２）例えば、第１のアクチュエータ１３５（図３Ａ）を作動させることによって、図３Ｆに図示された長手方向後退位置に閉鎖部材１０３を移動させるために、加圧ガスソース導管６１７を閉鎖部材低下導管６２５に選択的に接続すること；
（２３）例えば、上記（２２）の機能を容易にするために、環境排気導管６１９を閉鎖部材上昇導管６２７に選択的に接続すること；
（２４）例えば、第１のアクチュエータ１３５（図３Ａ）を作動させることによって、図３Ｄに図示された長手方向展開位置に閉鎖部材１０３を移動させるために、加圧ガスソース導管６１７を閉鎖部材上昇導管６２７に選択的に接続すること；
（２５）例えば、上記（２４）の機能を容易にするために、環境排気導管６１９を閉鎖部材低下導管６２５に選択的に接続すること；
（２６）上記（２２）および（２３）を同時に実行すること；
（２７）上記（２４）および（２５）を同時に実行すること；
（２８）上記（２６）から上記（２７）に選択的に切り替えること；
（２９）上記（２７）から上記（２６）に選択的に切り替えること；
（３０）上記（１７）および（２０）を同時に実行すること；
（３１）上記（１６）および（２１）を同時に実行すること；
（３２）上記（３０）から上記（３１）に選択的に切り替えること；
（３３）上記（３１）から上記（３０）に選択的に切り替えること；
（３４）（２２）の空気圧接続が存在する間に（１６）および（２１）が生じることを積極的に阻止すること；
（３５）閉鎖部材１０３が図３Ｄに図示された縦方向展開位置にない場合に（１６）および（２１）が生じることを積極的に阻止すること；
（３６）上記（１７）の空気圧接続が存在しない場合に上記（２８）および（２９）が生じることを積極的に阻止すること；
（３７）スリットバルブコントロールモジュール６０１への電力の損失の際に（３１）をデフォルト設定すること；
（３８）上記（２８）、（２７）、（３５）、（１６）、（２１）および（３６）を実行することによって図４のプロセス４００を実行すること；
（３９）上記（２８）、（２７）、（３５）、（１６）、（２１）、（３６）、（３２）および（３１）を実行することによって図４のプロセス４００を実行すること；
（４０）上記（３６）、（２０）、（１７）、（２９）、（２２）、（２３）、（２６）および（３４）を実行することによって図５のプロセス５００を実行すること；および／または
（４１）上記（３６）、（３３）、（２０）、（１７）、（２９）、（２３）、（２６）、（３４）および（３０）を実行することによって図５のプロセス５００を実行すること。
【００６２】
多数の他の機能もさらに、または代替的に実行されてもよい。
【００６３】
図７は、図２のチャンバ分離バルブ１０１ａを備える図６のスリットバルブシステム６００の具体的実施形態６００ａおよびスリットバルブコントロールモジュール６０１の具体的実施形態６０１ａの概略図であり、ここでスリットバルブコントロールモジュール６０１ａはより詳細に示されている。図７を参照すると、スリットバルブコントロールモジュール６０１ａは上記の機能１〜４１を実行するように適合されている。これらの機能を実行するように適合されたスリットバルブコントロールモジュール６０１ａの態様／構造を、機能の一般的な順序で導入および説明する。
【００６４】
機能１〜３は、第１の位置スイッチ６２９と、第１のインジケータライト６３１と第１の信号コンダクタ６０５において包含されてもよい。第１の位置スイッチ６２９は正常に開くように構成されてもよく、また閉鎖部材１０３が図３Ｆの長手方向後退位置に達する場合に作動または閉じられるように、チャンバ分離バルブ１０１ａの内部またはこれに隣接してインストールされてもよい。第１のインジケータライト６３１はオペレータへの信号でありうる。第１の信号コンダクタ６０５は信号を遠隔コントローラ（図示せず）に搬送することができる。第１のインジケータライト６３１および／または第１の信号コンダクタ６０５に対する他の使用も可能である。
【００６５】
機能４〜６は、第２の位置スイッチ６３５と、第２のインジケータライト６３７と第２の信号コンダクタ６０７において包含されてもよい。第２の位置スイッチ６３５は正常に開くように構成されてもよく、また閉鎖部材１０３が図３Ｄの長手方向展開位置に達する場合に作動または閉じられるように、チャンバ分離バルブ１０１ａの内部またはこれに隣接してインストールされてもよい。第２のインジケータライト６３７および第２の信号コンダクタ６０７は第１のインジケータライト６３１および第１の信号コンダクタ６０５と同様に機能してもよい。
【００６６】
機能７は圧力スイッチ６４１に包含されてもよい。圧力スイッチ６４１は正常に開くように構成されてもよく、また、ブレース作動導管６２１が環境圧と比較して正圧である場合に作動または閉じられるように、（例えば、オリフィス６４３の一方の側で圧力をゆっくりと均等にするように適合されたオリフィス６４３を介して）ブレース作動導管６２１に空気圧で結合されてもよい。ブレース作動導管６２１の正圧は各ブレースアクチュエータ１７３の作動によってブレース部材１０９の横方向展開につながり、オリフィス６４３は、ブレース部材１０９が展開した後のみ圧力を均等にするように作動されてもよいために、圧力スイッチ６４１は機能７を実行してもよい。
【００６７】
機能８および９は、第３の信号コンダクタ６０９と、圧力スイッチ６４１はライトアップする第２のインジケータライト６３７および電力を受け取る第３の信号コンダクタ６０９に対して閉じられなければならないという事実とによって包含されてもよい。
【００６８】
機能１０および１１は第４の信号コンダクタ６１１と第５の信号コンダクタ６１３とによってそれぞれ包含されてもよい。
【００６９】
機能１２は第４の信号コンダクタ６１１および第５の信号コンダクタ６１３によって包含されてもよく、これらは後述のように、（例えば＋２４Ｖや別の電力レベル信号の形態の）信号を受け取るように適合されてもよい。
【００７０】
機能１３は圧力スイッチ６４１に包含されてもよく、また機能１４は一目瞭然である。
【００７１】
機能１５は減圧スイッチ６５１に包含されてもよい。減圧スイッチ６５１は正常に開くように構成されてもよく、また、ブレース作動導管６２１が環境に比較して減圧である場合に作動または閉じられるように、（例えば、オリフィス６４３を介して）ブレース作動導管６２１に空気圧で結合されてもよい。
【００７２】
機能１６はマスター圧力ソースバルブ６５３に包含されてもよい。マスター圧力ソースバルブ６５３は正常に閉じるように構成されてもよく、また加圧ガスソース導管６１７にブレース作動導管６２１を接続させてもよい。マスター圧力ソースバルブ６５３はさらに、空気圧導管６５５を介して作動ポートで正圧に暴露された場合に作動または開かれるように構成されてもよい。空気圧導管６５５は、第１の流れ調整器６５７を介して（ならびに後述するような１対の空気圧切り替えコネクタを介して）加圧ガスソース導管６１７または環境排気導管６１９のいずれかに選択的に接続されてもよい。
【００７３】
機能１７はマスター減圧ソースバルブ６５９に包含されてもよい。マスター減圧ソースバルブ６５９は正常に閉じられるように構成されてもよく、またブレース作動導管６２１を減圧ソース導管６１５に接続してもよい。マスター減圧ソースバルブ６５９はさらに、空気圧導管６６１を介して作動ポートで正圧に暴露された場合に作動または開かれるように構成されてもよい。空気圧導管６６１は、第２の流れ調整器６３３を介して（ならびに後述するような空気圧切り替えコネクタを介して）加圧ガスソース導管６１７または環境排気導管６１９のいずれかに選択的に接続されてもよい。
【００７４】
スリットバルブコントロールモジュール６０１ａは、すべてが上記機能１２で説明されたインタフェースに関与するように適合された第１の空気圧切り替えコネクタ６６５と、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７と、第３の空気圧切り替えコネクタ６６９とを備えていてもよい。第１の空気圧切り替えコネクタ６６５および第２の空気圧切り替えコネクタ６６７は５つの個別空気圧導管（このうちの２つは常に環境排気導管６１９と共通であり、またこれらのうちの１つは常に加圧ガスソース導管６１７と共通である）の間に、かつ／またはこれらのうちに空気圧接続構成を確立し、かつこれを選択的に変更するように適合されており、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７は、３つの個別空気圧導管（これらのうちの１つは常に環境排気導管６１９と共通である）の間に空気圧接続構成を確立し、かつこれを選択的に変更するように適合される。
【００７５】
第２の空気圧切り替えコネクタ６６７はデフォルトによって空気圧構成Ａとなるように適合されており、ここで、デフォルト機構は、例えばスプリングであってもよく、また、例えば図７に示された構成Ａによって占められた位置に空気圧構成Ｂをシフトさせるように適合された作動コイルに印加されるハイサイド電圧を介して選択的に空気圧構成Ｂとなるように適合される。第３の空気圧切り替えコネクタ６６９はデフォルトによって空気圧構成Ｃとなるように適合されており、ここでデフォルト機構は例えばスプリングであってもよく、また、例えば空気圧作動機構６７１に印加された正圧を介して選択的に図７に示された空気圧構成Ｄとなることによって、空気圧構成Ｄを示されている位置にシフトさせるように作動する（例えば、構成Ｃを外に移動させ、構成Ｄを中に移動させる）ように適合される。第１の空気圧切り替えコネクタ６６５は、例えば、構成Ｅから構成Ｆへ、または場合によっては構成Ｆから構成Ｅに第１の空気圧切り替えコネクタ６６５を移動させるように適合されたそれぞれの作動コイルに適用された（例えば＋２４Ｖの）２つの異なるハイサイドコンダクタを介して、選択的に図７に示されたような空気圧構成Ｅまたは空気圧構成Ｆのいずれかになるように適合される。
【００７６】
スリットバルブコントロールモジュール６０１ａはさらに、追加ハイサイド電圧コンダクタ６７３、６７５および６７７と、リターンつまり接地コンダクタ６７９、６８１、６８３および６８５と、第３の位置スイッチ６８７とを含んでもよい。第３の位置スイッチ６８７は正常に閉じられるように構成されてもよく、また、閉鎖部材１０３が図３Ｄの長手方向展開位置に達する場合に作動または開かれるように、チャンバ分離バルブ１０１ａ内にまたはこれに隣接してインストールされてもよい。
【００７７】
本出願を読み、また本出願の図面、特に図７を見れば、スリットバルブコントロールモジュール６０１ａは、第４の信号コンダクタ６１１または第５の信号コンダクタ６１３に沿ったハイサイド電圧信号を選択的に受け取り、またスリットバルブコントロールモジュール６０１ａの残りの要素が図７の概略に従って上述されたように機能するのを可能にすることによって、上記機能１６〜４１を実行するように適合されることが、当業者には明らかである。例えば、マスター減圧ソースバルブ６５９およびマスター圧力ソースバルブ６５３は、相互排他的に開いて、ブレース作動導管６２１および各ブレースアクチュエータ１７３への減圧および正圧の同時印加を阻止するように適合される。その上、第４の信号コンダクタ６１１とリターンつまり接地コンダクタ６８３との間、かつ第５の信号コンダクタ６１３とリターンつまり接地コンダクタ６８３との間の回路は、ブレース作動導管６２１がマスター減圧ソースバルブ６５９を介して減圧に暴露され、また減圧スイッチ６５１がそれによって閉じられない場合かつこのようになるまで（これによって、第１の空気圧切り替えコネクタ６６５において構成Ｅから構成Ｆへ、またはこの反対の切り替えが可能になる）閉じられることはできない。加えて、第３の空気圧切り替えコネクタ６６９は、正圧が空気圧作動機構６７１で受け取られなければ構成Ｄとなることはなく、また後者は、第１の空気圧切り替えコネクタ６６５が示されたような構成Ｅになければ可能ではない。さらにまた、図７では開いて示されている第３の位置スイッチ６８７は正常に閉じられ、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７に、閉鎖部材１０３が図３Ｄの長手方向展開位置に達するまで構成Ｂにとどまらせ（減圧がブレース作動導管６２１およびブレース部材１０９に印加されることになり、図３Ｆの横方向後退位置にとどまる）、この時点で、第３の位置スイッチ６８７は開き、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７のスプリングデフォルトをトリガし、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７を構成Ａに切り替えさせる。本発明のバルブ１０１、１０１ａをコントロールするための他の構成／システムが用いられてもよい。
【００７８】
上記説明は本発明の例示的実施形態のみを開示している、本発明の範囲内にある上記の開示された装置および方法の修正は当業者には容易に明らかである。例えば、１つ以上の実施形態によると、封止部１０７を処理チャンバＰから離して押圧しようとする処理チャンバＰ内の圧力は、ブレースアクチュエータ１７３によって生成された支持力によってのみ対抗されてもよい。他の実施形態において、支持力の大きさは処理チャンバＰ内の圧力に対抗するのに必要な大きさより小さくてもよく、また他のソースからの追加の力がそれに付加されて、処理チャンバ開口１０２に対するシールを維持してもよい。
【００７９】
本発明の少なくとも一実施形態において、封止部１０７の本体はアルミニウムなどの金属から形成されてもよい。このような実施形態において、封止部１０７は、（例えば、粒子生成が金属間接触することを阻止するために）前部プレート１２１に接触して、かつ封止部１０７の金属部分が前部壁１２１に接触するのを阻止する弾性部材１９８（図３Ｅ）を含んでもよい。弾性部材１９８は、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）や、（例えばＯリングや類似の封止部材の形態の）別の適切な材料を含んでもよい。同様に、少なくとも一実施形態において、ブレース部材１０９の本体はアルミニウムや別の適切な金属などの金属から形成されてもよく、（粒子生成の金属間接触を阻止するために）後部プレート１１９に接触する弾性部材１９９（図３Ｅ）を含んでもよい。弾性部材１９９は、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）や（Ｏリングや類似の封止部材の形態の）別の適切な材料を含んでもよい。本明細書で使用されているように、封止部１０７の弾性部材１９８や他の部分が前部プレート１２１に接触すれば、封止部１０７は前部プレート１２１に接触していると言われてもよいことが理解される。同様に、ブレース部材１０９の弾性部材１９９や他の部分が後部プレート１１９に接触すれば、ブレース部材１０９は後部プレート１１９に接触していると言われてもよい。
【００８０】
本発明の少なくとも一実施形態において、ベローズ１３７および／または延長可能な壁部１７９はステンレス鋼から形成されてもよい。任意の他の類似の材料が用いられてもよい。
【００８１】
従って、本発明はその例示的実施形態と関連して開示されているのに対して、他の実施形態は、以下の請求項によって定義されるように本発明の主旨および範囲内にあるであろうことが理解されるべきである。
【符号の説明】
【００８２】
１０１、１０１ａ…チャンバ分離バルブ、１０２…処理チャンバ開口、１０３…閉鎖部材、１０５…バルブハウジング、１０７…封止部、１０９…支持部材、１１１…延長部、１１３…エンクロージャ、１１５…第１の開口、１１７…第２の開口、１１９…後部プレート、１２１…前部プレート、１２７…上部、１２９…下部、１３０…弾性要素、１３４…展開機構、１３５…第１のアクチュエータ、１３７…外部ベローズ、１３９…第１の搭載フランジ、１４１…第２のアクチュエータ、１４５…ブラケット、１６７…ポケット、１７１…駆動プレート、１７３…支持アクチュエータ、１７５…駆動プレートベローズ、１７９…延長可能な壁部、１８１…圧力セル、１８３…導管、１８５…ソケット、１９３…延長部インタフェース、１９５…弾性要素、１９７…フィーダ導管、６００…スリットバルブシステム、６０１…スリットバルブコントロールモジュール、６０５…第１の信号コンダクタ、６０７…第２の信号コンダクタ、６０９…第３の信号コンダクタ、６１１…第４の信号コンダクタ、６１３…第５の信号コンダクタ、６１５…減圧ソース導管、６１７…加圧ガスソース導管、６１９…環境排気導管、６２１…支持作動導管、６２３…クランプ作動導管、６２５…閉鎖部材低下導管、６２７…閉鎖部材上昇導管、６２９…第１の位置スイッチ、６３１…第１のインジケータライト、６３３…第２の流れ調整器、６３５…第２の位置スイッチ、６３７…第２のインジケータライト、６４１…圧力スイッチ、６４３…オリフィス、６５１…減圧スイッチ、６５３…マスター圧力ソースバルブ、６５５…空気圧導管、６５７…第１の流れ調整器、６６５…第１の空気圧切り替えコネクタ、６６７…第２の空気圧切り替えコネクタ、６６９…第３の空気圧切り替えコネクタ、６８３…接地コンダクタ、６８７…第３の位置スイッチ。
【発明の内容】
【０００１】
本出願は、２００３年５月１３日に出願された米国仮特許出願第６０／４７０，１４０号の優先権を主張するものであり、その全体を参照として本明細書に組み入れる。
【技術分野】
【０００２】
本発明は概して半導体デバイス製造に関し、より具体的には処理チャンバの開口を封止するための方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
基板処理チャンバは通常、広くかつ比較的短い封止可能な開口を介して基板転送チャンバと連通して、水平に配向された基板の挿入および除去を受け入れる。このような開口を封止するためにスリットバルブを使用することが知られている。例えば、スリットバルブの封止プレートは、開口を封止するために延長されたり、開口を介して基板の通過を許容するために後退されたりしてもよい。（１）摩擦による粒子の生成、および（２）弾性封止要素の不均一な圧縮という問題を回避するスリットバルブ設計が好ましい。
【０００４】
あるタイプの基板処理ステップ時に、処理チャンバ内の高圧力がスリットバルブの封止プレートを外側に押圧するように、処理チャンバと転送チャンバとの間に圧力差が存在することがある。それによってスリットバルブにストレスと疲労がかかり、その量は圧力差によって増加する。フラットパネルディスプレイに用いられているような大きな基板に関する場合に（例えば、より大きな基板が処理チャンバと転送チャンバとの間のより大きな開口と、このような開口を封止するためのより大きな封止プレートとを必要とするなど）、圧力差の効果は悪化する。従来のスリットバルブは通常、大きな圧力差を受け入れるように設計されていない。従って、とりわけ大きな圧力差が用いられている場合に、処理チャンバの開口を封止するための方法および装置の改良が必要となる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の実施形態において、開口を封止するように適合されたスリットバルブが提供されている。該スリットバルブは、（１）第１の壁と、（２）該第１の壁に形成された第１の開口と、（３）第２の壁と、（４）該第２の壁に形成された第２の開口とを有するバルブハウジングを含む。該スリットバルブはまた、該第２の壁に接触して該第２の開口を封止するように適合された封止部を有する閉鎖部材と、該封止部に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材とを含む。該スリットバルブはさらに、（１）該封止部を該第２の壁に向かって、かつ該第２の壁に接触して移動させ、（２）該第２の壁に対して封止部を支持するために、該支持部材を該封止部から離して、かつ該第１の壁に接触して移動させるように適合されている少なくとも１つの作動機構を含む。
【０００６】
本発明の第２の実施形態において、開口を封止するための方法が提供されている。該方法は、（１）第１の壁と、（２）該第１の壁に形成された第１の開口と、（３）第２の壁と、（４）該第２の壁に形成された第２の開口とを有するバルブハウジングを提供するステップを含む。該方法はさらに、該第２の壁に接触して、該第２の開口を封止するように適合された封止部を有する閉鎖部材と、該封止部に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材とを提供するステップを含む。該方法はまた、（１）該封止部を該第２の壁に向かって、かつ該第２の壁に接触して移動させるステップと、（２）該封止部を該第２の壁に対して支持するために、該支持部材を該封止部から離して、かつ該第１の壁に接触して移動させるステップとを含む。多数の他の態様が提供されている。
【０００７】
本発明の他の特徴および態様は、以下の詳細な説明、添付の請求項および添付の図面からより完全に明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１Ａ】チャンバ分離バルブを備える、本発明に従った装置の実施形態を図示している。
【図１Ｂ】チャンバ分離バルブを備える、本発明に従った装置の実施形態を図示している。
【図１Ｃ】チャンバ分離バルブを備える、本発明に従った装置の実施形態を図示している。
【図２】図１Ａ〜図１Ｃのチャンバ分離バルブの例示的実施形態を表す本発明のチャンバ分離バルブの斜視分解組み立て図である。
【図３Ａ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｂ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｃ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｄ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｅ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図３Ｆ】チャンバ分離バルブの長さに沿った種々の場所についての、図２のチャンバ分離バルブの断面組み立て側面図である。
【図４】図２のチャンバ分離バルブの第１の開口を封止するための例示的プロセスを図示するフローチャートである。
【図５】図３Ｆに示された閉鎖部材の長手方向後退位置に、図２のチャンバ分離バルブの閉鎖部材を置くための例示的プロセスを図示するフローチャートである。
【図６】図２のチャンバ分離バルブと、チャンバ分離バルブの機能を動作および／または調整するように適合されたスリットバルブコントロールモジュールとを含むスリットバルブシステムの概略図である。
【図７】図６のスリットバルブシステムの具体的実施形態の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１Ａ〜図１Ｃは、チャンバ分離バルブ１０１を備える、本発明に従った装置の実施形態を図示する。また、以下の説明に鑑みると、図１Ａ〜１Ｃは、その中に含有されている基板の処理のために処理チャンバＰの加圧を許容するために、チャンバ分離バルブ１０１を使用して、（図１Ａに仮想線で示されている）開口１０２を（図１Ａに仮想線で示されている）隣接する処理チャンバＰに封止するための本発明の方法の実施形態を図示している。
【００１０】
チャンバ分離バルブ１０１は処理チャンバ開口１０２を封止するための閉鎖部材１０３を含んでいてもよい。加えて、チャンバ分離バルブ１０１は、その中に閉鎖部材１０３の少なくとも一部が移動可能に配置されているバルブハウジング１０５を備えていてもよい。チャンバ分離バルブ１０１を処理チャンバの開口と連動して使用可能にするために、チャンバ分離バルブ１０１のバルブハウジング１０５は、例えばシール（図示せず）がバルブハウジング１０５と、封止する処理チャンバ開口周辺の処理チャンバとの間に形成されるように、処理チャンバに対して置かれてもよい。
【００１１】
閉鎖部材１０３は処理チャンバ開口１０２を封止するための封止部１０７を含んでいてもよい。例えば、封止部１０７を利用して、例えば処理チャンバ開口１０２と整列されているバルブハウジング１０５に開口を封止することによって、処理チャンバ開口１０２を間接的に封止してもよい。あるいは、封止部１０７は、封止部１０７が処理チャンバ開口１０２周辺を封止するように、処理チャンバＰと直接接触（図示せず）して置かれてもよい。
【００１２】
閉鎖部材１０３は、封止部１０７に対して移動可能なブレース部材１０９をさらに含んでいてもよい。例えば、ブレース部材１０９は、封止部１０７に対して延長したり、後退したりするように適合されてもよい。さらに、ブレース部材１０９は、例えば封止部１０７が上記の処理チャンバ開口１０２を封止するのに適切な場所にある場合に、封止部１０７を支持したり強化したりするように適合されてもよい。このような配置は、特に一般的なカンチレバー配置（図示せず）と比較して、処理チャンバＰ内の正圧に抵抗するのに必要な力量を削減および／または最小化してもよい点において本質的に効率的である。
【００１３】
処理チャンバ開口１０２に対して閉鎖部材１０３の便宜的な移動を提供するために、閉鎖部材１０３はまた、封止部１０７から延びる延長部１１１を備えていてもよい。このような実施形態において、封止部１０７から間隔をあけられている延長部１１１の一端は、（例えば封止部１０７とブレース部材１０９の両方を延長部１１１を介して共に移動させることによって）閉鎖部材１０３が一体として移動させられるように、例えばバルブハウジング１０５の内部または外部に配置されているアクチュエータ（図２参照）によって把握および／または操作されるように適合されてもよい。例えば、閉鎖部材１０３は、（図１Ｂおよび１Ｃに示されているチャンバ分離バルブ１０１のそれぞれの構成間を横方向に、または図１Ａおよび１Ｂに示されているチャンバ分離バルブ１０１のそれぞれの構成間を長手方向に）処理チャンバ開口１０２に対して、および／または処理チャンバ開口１０２から離れて延長部１１１を介して移動されてもよい。
【００１４】
好ましくは、閉鎖部材１０３の延長部１１１は閉鎖部材１０３の封止部１０７に対して固定される。例えば、封止部１０７と延長部１１１は図１Ａに示された一体型構造であってもよい。あるいは、延長部１１１は封止部１０７に固定的に結合されてもよい。
【００１５】
バルブハウジング１０５は、エンクロージャ１１３と、エンクロージャ１１３への第１の開口１１５と、エンクロージャ１１３への第２の開口１１７とを画成してもよい。好ましくは、第１の開口１１５およびエンクロージャ１１３は処理チャンバ開口１０２との共通軸に沿って整列されて、またバルブハウジング１０５を介して、かつ処理チャンバＰの内外に基板の通過を許容するようにサイズ設定される。例えば、第１の開口１１５は処理チャンバ開口１０２から間隔をあけられていてもよく、第２の開口１１７は、エンクロージャ１１３の他方の側に、処理チャンバ開口１０２と隣接して、共通軸で配置されてもよい。１つ以上の実施形態において、第２の開口１１７は、第２の開口１１７が本質的に処理チャンバ開口１０２の延長部を備えるように、処理チャンバ開口１０２と空気圧で連通して置かれてもよい。
【００１６】
バルブハウジング１０５はさらに、その中に第１の開口１１５が形成された後部プレート１１９を備えていてもよい。後部プレート１１９は、（以下にさらに説明するように）封止時に閉鎖部材１０３の封止部１０７を支持するために、ブレース部材１０９が後部プレート１１９に接触して、かつ後部プレートを１１９を押圧することができるように適合され、また適切に設置されてもよい。
【００１７】
バルブハウジング１０５はさらに、その中に第２の開口１１７が形成された前部プレート１２１を備えていてもよい。前部プレート１２１は、閉鎖部材１０３の封止部１０７が前部プレート１２１に接触して、かつ第２の開口１１７周辺を封止することができるように適合され、また適切に設置されてもよい。あるいは、上述のように、封止部１０７は処理チャンバＰに直接接触して開口１０２を封止してもよい。
【００１８】
動作において、図１Ａに示されているように、チャンバ分離バルブ１０１の閉鎖部材１０３は、第１および第２の開口１１５、１１７に対する後退位置となるように適合され、閉鎖部材１０３は第１および第２の開口１１５、１１７から離れて（例えば下方に）間隔をあけられる。このような構成によって基板は、バルブハウジング１０５を介して、また処理チャンバＰの内外に通過させられる。
【００１９】
図１Ａに示されているように、少なくとも一実施形態において、バルブハウジング１０５のエンクロージャ１１３は、依然としてバルブハウジング１０５を介する基板の通過を許容しつつ、閉鎖部材１０３の封止部１０７を取り囲んでもよい。また図１Ａに示されているように、バルブハウジング１０５のエンクロージャ１１３は、例えば第１の間隙１２３をブレース部材１０９と後部プレート１１９の間に、第２の間隙１２５を封止部１０７と前部プレート１２１の間に提供するために、封止部１０７とブレース部材１０９を間隔をあけて取り囲んでもよい。
【００２０】
閉鎖部材１０３は、図１Ｂに示されるように第１および第２の開口１１５、１１７に対する展開位置となるようにバルブハウジング１０５に対して移動されてもよく、封止部１０７は第１および第２の開口１１５、１１７の間に配置されている。好ましくは、このような展開中に、第１および第２の間隙１２３、１２５は、閉鎖部材１０３とバルブハウジング１０５の間に生じる恐れのある粒子生成摩擦および／または擦れを削減および／または排除するように維持される。閉鎖部材１０３が経路をブロックするために、基板（図示せず）がもはやバルブハウジング１０５を介して通過できないことは明らかである。
【００２１】
図１Ｂにおいてバルブハウジング１０５の第２の開口１１７に対する後退位置に示されている閉鎖部材１０３は、図１Ｃに示されているように第２の開口１１７に対する展開位置に移動されてもよい。図１Ｃに示されているように、閉鎖部材１０３の封止部１０７は前部プレート１２１と接触しており、またバルブハウジング１０５の第２の開口１１７を封止させられてもよい。好ましくは、また図１Ｂおよび１Ｃに示されたチャンバ分離バルブ１０１によって明示されているように、閉鎖部材１０３の封止部１０７と、第２の開口１１７の封止につながるバルブハウジング１０５の前部プレート１２１との間の相対的運動は、摩擦による粒子生成の可能性を削減および／または排除するために、前部プレート１２１の法線となる方向に制限される。
【００２２】
図１Ｃと図１Ｂを比較することによっても分かるように、チャンバ分離バルブ１０１は、ブレース部材１０９を処理チャンバ開口１０２から離して、かつバルブハウジング１０５の後部プレート１１９に接触して移動させるように、封止部１０７に対してブレース部材１０９を移動させる分離力を生成するように適合されてもよい。あるいは、ブレース部材１０９は、転送チャンバ（図示せず）の一部や別の構造的部材に接触させられてもよい。チャンバ分離バルブ１０１は、場合によっては、バルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して、または処理チャンバＰ（図１）に対して閉鎖部材１０３の封止部１０７を支持または補強するために、支持力を生成し、またブレース部材１０９を封止部１０７から離して付勢しようとしてもよい。このような支持力は任意の方法で、また閉鎖部材１０３に対する任意の場所で生成されてもよい。例えば、支持力は、ブレース部材１０９と封止部１０７の間に、例えばこれらの間に配置または形成された空気圧アクチュエータ（図２参照）によって生成および直接印加されてもよい。本発明の少なくとも一実施形態において、ブレース部材１０９は第１の開口１１５を封止しないという点に注目すべきである。
【００２３】
図２は、図１Ａ〜図１Ｃのチャンバ分離バルブ１０１の例示的実施形態を表す本発明のチャンバ分離バルブ１０１ａの斜視分解組み立て図である。図３Ａ〜図３Ｆは、チャンバ分離バルブ１０１ａの長さに沿った種々の場所についてのチャンバ分離バルブ１０１ａの、かつチャンバ分離バルブ１０１ａの構造的かつ動作的態様を説明する断面組み立て側面図である。従って、チャンバ分離バルブ１０１を参照した上記の構造的かつ機能的説明はチャンバ分離バルブ１０１ａにも適用し、同様の参照番号は図面において（例えば、構造の）対応する態様を示すのに使用される。
【００２４】
図２および図３Ａを参照すると、バルブハウジング１０５は、上部１２７と、上部１２７に結合された下部１２９とを備えていてもよい。上部１２７は、バルブハウジング１０５の後部プレート１１９が、転送チャンバ（図示せず）のバルブインタフェース部などの外部の対応する構造に対して封止されるように、弾性要素１３０（図３Ａ）を含んでもよい。下部１２９は、バルブハウジング１０５の下部１２９をバルブハウジング１０５の上部１２７に対して封止するための弾性要素１３１（図３Ａ）を含んでもよい。下部１２９はさらに、閉鎖部材１０３の延長部１１１がバルブハウジング１０５の外側に延長し、またバルブハウジング１０５に対する閉鎖部材１０３の長手方向（例えば縦方向）および横方向（例えば水平方向）の両方の移動を可能にするように適合された第１および第２のポート１３３（図２および３Ｄ）を含んでもよい。多少のポート１３３が必要または所望ならば特定されてもよい。
【００２５】
図２を参照すると、閉鎖部材１０３は２つの延長部１１１を含んでおり、各延長部１１１は封止部１０７に結合されており、チャンバ分離バルブ１０１ａは、各延長部１１１がポート１３３を介して延長するように構成されている。多少の延長部１１１が必要または所望ならば特定されてもよい。
【００２６】
図２および図３Ａ〜図３Ｆを参照すると、チャンバ分離バルブ１０１ａは、例えばバルブハウジング１０５および／または処理チャンバ開口１０２（図１Ａ）に対して閉鎖部材１０３を移動させるための展開機構１３４を備えていてもよい。例えば、展開機構１３４は、図３Ｆと３Ｄにそれぞれ示された、閉鎖部材１０３の長手方向後退位置と長手方向展開位置との間に閉鎖部材１０３を移動させるための１つ以上の第１のアクチュエータ１３５（図２および３Ａ）を含んでもよい。第１のアクチュエータ１３５は多数の異なるタイプの適切なデバイスの１つであってもよい。例えば、図２および３Ａの第１のアクチュエータ１３５によって具現化される空気圧駆動線形アクチュエータのようなものが、ベルトまたはスクリュー駆動アクチュエータであれば適切である。
【００２７】
展開機構１３４はさらに、バルブハウジング１０５のエンクロージャ１１３（図３Ｄ）をポート１３３を介する汚れの侵入から保護するための１つ以上の外部ベローズ１３７（図２）を備えていてもよい。各外部ベローズ１３７は、閉鎖部材１０３の個別延長部１１１に対応しており、またこれを囲むように適合されている。多少の延長部１１１が存在する場合、外部ベローズ１３７の数はそれに応じて増減してもよい。各外部ベローズ１３７は、対応する延長部１１１が延長するポート１３３周辺のバルブハウジング１０５に搭載された第１の搭載フランジ１３９を含んでもよい。
【００２８】
展開機構１３４はさらに、図３Ｄと図３Ｅにそれぞれ示された、閉鎖部材１０３の横方向後退位置と横方向展開位置との間に閉鎖部材１０３を移動させるための１つ以上の第２のアクチュエータ１４１（図２および３Ｃ）を含んでもよい。各第２のアクチュエータ１４１は、第１のアクチュエータ１３５を介してバルブハウジング１０５に移動可能に搭載されてもよい第１のサポートプレート１４３に搭載されてもよい。各第２のアクチュエータ１４１は多数の異なる適切なデバイスの１つであってもよい。例えば、図２および３Ｃの第２のアクチュエータ１４１によって具現化されたような、空気圧駆動線形アクチュエータは、ベルトまたはスクリュー駆動アクチュエータであれば、適切である。
【００２９】
展開機構１３４は、第１のアクチュエータ１３５が第１のサポートプレート１４３をバルブハウジング１０５に対して長手方向に移動させると、第１のサポートプレート１４３を案内するように適合されてもよい。例えば、第１および第２のサポート１４９はバルブハウジング１０５に固定され、またこれから延長されてもよく、また第１のサポートプレート１４３は、例えば、好ましくは各サポート１４９に固定的に結合されたレール１５１と、第１および第２の対のトラック１５３とを介して、各サポート１４９にスライド可能に結合されてもよい。各対のトラック１５３は、第１のサポートプレート１４３の長手方向の移動を可能にするために、第１のサポートプレート１４３に固定的に結合されてもよく、またレール１５１に移動可能に結合されてもよい。
【００３０】
図２、図３Ｃおよび図３Ｄを参照すると、展開機構１３４はさらに１つ以上のブラケット１４５を含んでもよく、各ブラケット１４５は、閉鎖部材１０３の封止部１０７から間隔をあけられた延長部１１１の一端に固定されている。展開機構１３４はまた第２のサポートプレート１４７を含んでもよく、第２のサポートプレート１４７は第２のアクチュエータ１４１を介して第１のサポートプレート１４３（および／またはバルブハウジング１０５）に移動可能に搭載されている。各ブラケット１４５は第２のサポートプレート１４７に結合されて、展開機構１３４が（例えば、長手方向や、横方向や、またはこれらの組み合わせで）閉鎖部材１０３を操作および／または移動させることができる手段を提供してもよい。
【００３１】
展開機構１３４は、第２のアクチュエータ１４１が第１のサポートプレート１４３およびバルブハウジング１０５に対して横方向に第２のサポートプレート１４７を移動させると第２のサポートプレート１４７を案内するように、また（例えば、バルブハウジング１０５に対して閉鎖部材１０３の円滑な横方向変換を容易にするために）閉鎖部材１０３と、第２のサポートプレート１４７とブラケット１４５との結合重量によって表された鉛直力から、横方向に動作する第２のアクチュエータ１４１を分離するように適合されてもよい。例えば、図２および図３Ｂに示されているように、展開機構１３４はさらに第１のサポートプレート１４３の側部から延びる軸受１５５を備えてもよく、各ブラケット１４５は、軸受１５５のうちの１つのローラ部１５９を受け入れるように適合されたガイドスロット１５７を備えてもよい。従って、第２のサポートプレート１４７が第１のサポートプレート１４３に対して横方向に移動している間、軸受１５５と第１のサポートプレート１４３は、依然としてそのサブアセンブリを、軸受のローラ部１５９とブラケットのガイドスロット１５７との間の転倒（転回）連通を介して円滑に変換させつつ、閉鎖部材１０３と、ブラケット１４５と第２のサポートプレート１４７との重量の実質的にすべてを担持させられてもよい。
【００３２】
図２のチャンバ分離バルブ１０１ａの場合のように、バルブハウジング１０５の第１の開口１１５が相対的に長い場合について、ブレース部材１０９は、同様に伸張されたブレースプレート１６１を含んでもよい。ブレースプレート１６１は封止部１０７に面する第１のサイド１６３（図３Ｃ）を備えていてもよく、この上に複数の搭載ボス１６５（図３Ｂ）が提供されてもよい。複数の搭載ボス１６５の各々は、封止部１０７の非封止サイド１６９（図２）内に形成された複数のポケット（図２、図３Ｂも参照）のそれぞれの１つに延長するように適合されてもよい。同数の駆動プレート１７１（図２）のそれぞれ１つは各ポケット１６７（図３Ｄ参照）内に配置され、その中に延びるブレースプレート１６１の搭載ボス１６５に結合され、好ましくは固定されてもよい。それによって、ブレースプレート１６１と、搭載ボス１６５を介してブレースプレート１６１に結合された各駆動プレート１７１とを備えるサブアセンブリが形成されてもよい。
【００３３】
閉鎖部材１０３は、ブレース部材１０９を、図３Ｄに示された（横方向）後退位置と、図３Ｅに示された展開つまり延長位置との間で前後に移動させるように適合されてもよい。例えば、作動デバイスは、（例えば、閉鎖部材１０３のサイズ全体を最小限大きくするためだけに）ブレース部材１０９および／または閉鎖部材１０３の封止部１０７内で用いられてもよい。例えば、閉鎖部材１０３は、図２および３Ｂ〜３Ｆを参照して後述するように少なくとも１つのブレースアクチュエータ１７３（図２および３Ｅ）を備えてもよい。
【００３４】
図２のチャンバ分離バルブ１０１ａの場合のように、第１の開口１１５が相対的に長い場合、（例えば、ポケット１６７を形成するために、ブレース部材１０９および／または封止部１０７の非封止サイド１６９で使用可能な部屋を介して封止部１０７に印加される必要のある支持力の大きさに応じて）閉鎖部材１０３は複数のブレースアクチュエータ１７３を含んでもよい。各ブレースアクチュエータ１７３は、上記の閉鎖部材１０３のコンポーネントのいくつか（例えば、封止部１０７のポケット１６７と、ブレース部材１０９の駆動プレート１７１）の部分から構成されるように、閉鎖部材１０３内に構築され、かつ／またはこの中に一体化されてもよい。加えて、各ブレースアクチュエータ１７３は、（例えば封止部１０７のポケットの１６７周辺の）封止部１０７の非封止サイド１６９に結合された搭載フランジ１７７を含む駆動プレートベローズ１７５（図３Ｄ）と、搭載フランジ１７７に取り付けられ、かつポケット１６７に延びている延長可能な壁部１７９とを備えていてもよく、この中で延長可能な壁部１７９は駆動プレート１７１に取り付けられている。
【００３５】
図３Ｅを参照すると、各ブレースアクチュエータ１７３は、封止部１０７のポケット１６７（図３Ｂ参照）と、ブレース部材１０９の駆動プレート１７１と、駆動プレートベローズ１７５の延長可能な壁部１７９と、駆動プレートベローズ１７５の搭載フランジ１７７（図３Ｄ）とを備える圧力セル１８１を備えていてもよい。圧力セル１８１は、後部プレート１１９に対してブレース部材１０９を向けるために加圧ガスの外部ソース（図示せず）を介して膨張されてもよい。例えば、図３Ｅは、閉鎖部材１０３の封止部１０７がバルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して展開され、閉鎖部材１０３のブレース部材１０９がバルブハウジング１０５の後部プレート１１９に対して展開され、各駆動プレートベローズ１７５の延長可能な壁部１７９が相対的に圧縮されて、圧力セル１８１の体積が相対的に大きいというチャンバ分離バルブ１０１ａの構成を図示している。
【００３６】
あるいは、圧力セル１８１は減圧の外部ソースを介して収縮されてもよい。例えば、図３Ｄは、ブレース部材１０９が封止部１０７のポケット１６７（図３Ｂ）内に後退し、駆動プレートベローズ１７５の延長可能な壁部１７９が相対的に延長され、圧力セル１８１の体積（図３Ｅ）が相対的に小さいというチャンバ分離バルブ１０１ａの構成を図示している。以下にさらに説明されるように、各ブレースアクチュエータ１７３はこのような圧力セル１８１を１つ備えていてもよく、また圧力セル１８１の体積および／または圧力セル１８１内の圧力（例えば空気圧や流体圧）の変化によって作動してもよい（例えばブレース部材１０９を移動させる／位置決めする／付勢する）。
【００３７】
各ブレースアクチュエータ１７３は空気圧で活性化されてもよい。例えば、各ポケット１６７は、ポケット１６７の各々の壁を貫通する導管１８３（図３Ｂ）を介して空気圧で結合されてもよい。従って、閉鎖部材１０３のブレースアクチュエータ１７３の１つの圧力セル１８１に、膨張のための空気または流体圧、または場合によっては収縮のための減圧がかけられると、各ブレースアクチュエータ１７３の圧力セル１８１は同様に活性化される傾向がある。ブレースアクチュエータ１７３によって及ぼされたこのような総力は、導管１８３に存在する圧力によって、封止部１０７に対して（例えばこれに向かって、またはこれから離れて）ブレース部材１０９を移動させてもよい。
【００３８】
例えば、閉鎖部材１０３が図３Ｆの長手方向後退位置にある場合、またはこの内外に移動中である場合にブレース部材１０９とバルブハウジング１０５間の接触を防止するために、閉鎖部材１０３は、ブレース部材１０９を封止部１０７内に後退させるために減圧ソース（図示せず）に導管１８３を暴露するように適合されてもよい。（閉鎖部材１０３の封止部１０７は前部プレート１２１から同様に後退されてもよい）。閉鎖部材１０３はまた、ブレース部材１０９を封止部１０７から離して延長させるために加圧ガスソース（図示せず）に導管１８３を暴露するように、および／または、完全に延長された場合には、封止部１０７を図３Ｅに示されたようにバルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して支持するために、ブレース部材１０９にバルブハウジング１０５の後部プレート１１９を押圧させるように適合されてもよい。
【００３９】
減圧または加圧ガスのソースへの導管１８３の暴露は多数の方法のうちのいずれかで遂行可能である。例えば、ブラケット１４５の一方または両方とも、圧力フィッティング（図示せず）、例えば圧力ホースの端部フィッティングを受け取るように適合されたソケット１８５（図２）を含むことができる。圧力フィッティング（図示せず）は、これもまた延長部１１１内に形成され、かつ延長部１１１の封止部インタフェース１９１（図３Ｃ）につながる延長導管１８９（図３Ｃ）と連通している閉鎖部材１０３の延長部１１１内に形成された圧力ポート１８７（図３Ｅ）と合わさるように適合されてもよい。封止部インタフェース１９１は、封止部１０７の延長部インタフェース１９３を封止するように作られてもよい。弾性要素１９５は２つのインタフェース間のシールを提供してもよい。封止部１０７内のフィーダ導管１９７は延長部インタフェース１９３から封止部１０７の導管１８３につながってもよい。このような配置は、閉鎖部材１０３のブレースアクチュエータ１７３を空気圧で作動させ、（例えば常に）封止部１０７に対するブレース部材１０９の位置に正（ｐｏｓｉｔｉｖｅ）コントロールを行使する（例えば、必要ならば減圧または加圧ガスのいずれかを印加する）ための便宜的な手段を提供する。ブレースアクチュエータ１７３に減圧または加圧ガスを印加するための他の構成もまた用いられてもよい。
【００４０】
駆動プレートベローズ１７５の各々の延長可能な壁部１７９が圧力セル１８１の膨張時に圧縮されることもまた注目されるべきである。このような配置によって、延長可能な壁部１７９は、延長可能な壁部１７９が圧力セルの膨張時に膨張されるならば、その場合よりもストレスおよび疲労が小さいことがあるために、駆動プレートベローズ１７５の使用寿命を増加させる。反対の配置もまた用いられてもよい。
【００４１】
一実施形態において、閉鎖部材１０３の延長部１１１の各々は、閉鎖部材１０３の封止部１０７がバルブハウジング１０５の前部プレート１２１に接触すると、外部ベローズ１３７の第１の搭載フランジ１３９の内面１５４（図３Ｄ）に接触してもよい（図３Ｅ参照）こともさらに注目される。このような配置は、閉鎖部材１０３が（下記の）バルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して移動する程度まで正の（ｐｏｓｉｔｉｖｅ）自己整列制限を提供するアシストをしてもよい。例えば、延長部１１１と第１の搭載フランジ１３９が接触する場合のバルブハウジング１０５内の閉鎖部材１０３の位置は、閉鎖部材１０３の封止部１０７と前部プレート１２１間の弾性封止要素（図示せず）の所望の初期圧縮度に対応してもよく、必要とされる更なる圧縮は、封止部１０７を前部プレート１２１に支持するブレース部材１０９によって提供されてもよい。他の実施形態において、延長部１１１は、閉鎖部材１０３の封止部１０７が前部プレート１２１に接触する場合には、ベローズ１３７の内面１５４と接触していないままでもよい。
【００４２】
図４は、チャンバ分離バルブ１０１ａの第１の開口１１５を封止するための例示的プロセス４００を図示するフローチャートである。図４を参照すると、プロセス４００はステップ４０１で開始してもよい。ステップ４０２において、プロセス４００は、閉鎖部材１０３（図２）の長手方向位置に応じてステップ４０３またはステップ４０４のいずれかに進む。閉鎖部材１０３が図３Ｆに図示された長手方向後退位置にある場合は、プロセス４００はステップ４０３に進む。
【００４３】
ステップ４０３において、閉鎖部材１０３は、図３Ｆの長手方向後退位置から、図３Ｄで図示された閉鎖部材１０３の長手方向展開位置に移動される。例えば、展開機構１３４の第１のアクチュエータ１３５は、図３Ｆの長手方向後退位置から、図３Ｄの長手方向展開位置に閉鎖部材１０３を上昇させられてもよい。本発明の方法の１つ以上の実施形態において、閉鎖部材１０３の上記上昇の前、その最中および／またはその後に、展開機構１３４は第２の間隙１２５（図１Ａ）を維持し、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は第１の間隙１２３（図１Ａ）を閉鎖部材１０３とバルブハウジング１０５間に維持し、閉鎖部材１０３の移動中の擦れおよび／または粒子生成から保護する。従って、いくつかのこのような実施形態において、展開機構１３４の第２のアクチュエータ１４１は、バルブハウジング１０５の前部プレート１２１から離れた横方向後退位置に閉鎖部材１０３を保持するように作動される。
【００４４】
ステップ４０３の終わりに、閉鎖部材１０３は図３Ｄの縦方向展開位置にある。従って、プロセス４００はステップ４０４に進む。
【００４５】
ステップ４０４において、閉鎖部材１０３は横方向に展開される、例えば図３Ｄの閉鎖部材１０３の横方向後退位置から、図３Ｅに図示された閉鎖部材１０３の横方向展開位置に移動される。例えば、展開機構１３４の１つ以上の第２のアクチュエータ１４１（および／または１つ以上のブレースアクチュエータ１７３）は、図３Ｄの閉鎖部材１０３の横方向後退位置から図３Ｅの横方向展開位置まで閉鎖部材１０３を移動させられてもよい。第２のアクチュエータ１４１を作動解除（例えば減圧）することによって、延長部１１１は横方向に移動可能であってもよく、また１つ以上のブレースアクチュエータ１７３の膨張、延長部１１１や閉鎖部材１０３のスプリングバイアスなどが封止部１０７を前部プレート１２１に対して移動させてもよい。本発明の方法の１つ以上の実施形態において、閉鎖部材１０３の上記横方向展開によって、閉鎖部材１０３の封止部１０７が、バルブハウジング１０５の前部プレート１２１と接触して移動されることになる。いくつかのこのような実施形態および／または他の実施形態において、閉鎖部材１０３の上記横方向展開によって、閉鎖部材１０３の延長部１１１が外部ベローズ１３７の第１の搭載フランジ１３９の対応する内面１５４に接触することになる。
【００４６】
プロセス４００のステップ４０５に進んで、閉鎖部材１０３のブレース部材１０９は横方向に展開される、例えば図３Ｅに図示されたブレース部材１０９の横方向展開位置に移動される。例えば、閉鎖部材１０３の１つ以上のブレースアクチュエータ１７３（図２）は、（例えば図３Ｄに図示されたような）封止部１０７に対する、かつ／またはこの中のブレース部材１０９の横方向後退位置から、図３Ｅの横方向展開位置にブレース部材１０９を移動させられてもよい。
【００４７】
本発明の方法の１つ以上の実施形態において、ステップ４０５は、ステップ４０４が完了した後にのみ開始する。他の実施形態において、ステップ４０５およびステップ４０４は同時に実行され、かつ／または両ステップは、いずれかが完了する前に開始される。さらに別の実施形態において、ステップ４０４は、ステップ４０５が開始された後にのみ開始する。加えて、本発明の方法の１つ以上の実施形態において、閉鎖部材１０３および閉鎖部材１０３のブレース部材１０９の上記横方向展開の前、その最中および／またはその後に、展開機構１３４は、閉鎖部材１０３（図３Ｅ）の長手方向展開位置に閉鎖部材１０３を維持するために用いられる。例えば、第１のアクチュエータ１３５は、閉鎖部材１０３を上昇させた後に作動されたままであってもよい（ステップ４０２参照）。
【００４８】
プロセス４００のステップ４０６に進んで、封止部１０７は前部プレート１２１対して支持されて、その中に形成された第１の開口１１５を封止する。例えば、各ブレースアクチュエータ１７３の圧力セル１８１の圧力は、ブレース部材１０９を後部プレート１１９に対する場所に移動させるのには十分な比較的低圧であったものから（ステップ４０５参照）、加圧チャンバＰが及ぼす圧力の予想大きさと同じ比較的高圧まで増加されてもよい。あるいは、ステップ４０５において圧力セル１８１を膨張させるために使用された圧力は予想圧力に抵抗するほど十分高く、または圧力がステップ４０５時に徐々にまたは段階的に適度な高圧に増加されていたら、その圧力は、支持力が必要とされる限り維持されてもよい。
【００４９】
閉鎖部材１０３は長手方向および横方向の両方に展開され、ブレース部材１０９は横方向に展開され、封止部１０７は第１の開口１１５を封止するために前部プレート１２１に対して支持されることによって、プロセス４００はステップ４０７で終了する。
【００５０】
あるいは、プロセス４００は１つ以上のステップで開始して、閉鎖部材１０３とバルブハウジング１０５間の第１および第２の間隙１２３、１２５は、展開機構１３４の第１のアクチュエータ１３５によって閉鎖部材１０３が長手方向に展開される（例えば、上昇される）前に存在することを保証してもよい。例えば、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は、例えば減圧の印加によって支持方向と反対方向に用いられて、ブレース部材１０９が、閉鎖部材１０３の長手方向展開時に封止部１０７に対しておよび／またはこの中に（かつバルブハウジング１０５の後部プレート１１９から離れて）後退したままであることを保証してもよい。さらに、１つ以上の第２のアクチュエータ１４１は、（例えば、コイルスプリング（図示せず）などのバイアス要素の力によって、または圧力セル１８１の膨張によって生じる封止方向の移動による）例えば正圧の印加によって封止方向と反対方向に用いられて、閉鎖部材１０３の封止部１０７が、閉鎖部材１０３の長手方向展開時にバルブハウジング１０５の前部プレート１２１から離れて後退したままであることを保証してもよい。
【００５１】
図５は、図３Ｆに示された閉鎖部材１０３の長手方向後退位置にチャンバ分離バルブ１０１ａの閉鎖部材１０３を置くための例示的プロセス５００を図示するフローチャートである。図５を参照すると、プロセス５００はステップ５０１で開始する。ステップ５０２において、プロセス５００は、ブレース部材１０９（図２）の横方向位置に応じてステップ５０３またはステップ５０４のいずれかに進む。ブレース部材１０９が横方向後退位置にない場合、プロセス５００はステップ５０３に進む。
【００５２】
ステップ５０３において、ブレース部材１０９は横方向に後退される、例えば、図３Ｄに示されているような横方向後退位置に移動される。例えば、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は、図３Ｅに示されているようなブレース部材１０９の横方向展開位置から図３Ｄに示された横方向後退位置にブレース部材１０９を移動させられてもよい。
【００５３】
ステップ５０４に進むと、プロセス５００は、閉鎖部材１０３（図２）の横方向位置に応じて、ステップ５０５またはステップ５０６のいずれかに進む。閉鎖部材１０３が横方向後退位置にない場合、プロセス５００はステップ５０５に進む。
【００５４】
ステップ５０５において、閉鎖部材１０３は横方向に後退される、例えば図３Ｄに示されたような横方向後退位置に移動される。例えば、１つ以上の第２のアクチュエータ１４１は、図３Ｅに示されたような閉鎖部材１０３の横方向展開位置から図３Ｄに示された横方向後退位置に閉鎖部材１０３を移動させられてもよい。
【００５５】
プロセス５００の１つ以上の実施形態において、ステップ５０２、５０３、５０４および５０５のうちの２つ以上は同時に、または異なる順序で生じてもよい。加えて、ステップ５０５は、ステップ５０３が完了した後のみに開始する必要はない。また、プロセス５００の１つ以上の実施形態において、ブレース部材１０９および閉鎖部材１０３のいずれかまたは両方の後退の前、その最中かつその後で、展開機構１３４は、閉鎖部材１０３（図３Ｅ）の縦方向展開位置に閉鎖部材１０３をアクティブに保持するために用いられてもよい。例えば、展開機構１３４の第１のアクチュエータ１３５はこのために連続的に起動されてもよい。
【００５６】
ステップ５０６に進むと、閉鎖部材１０３は、図３Ｆに示されるように閉鎖部材１０３の長手方向後退位置に移動される。例えば、展開機構１３４の第１のアクチュエータ１３５は、図３Ｄに示されたような長手方向展開位置から図３Ｆに示された長手方向後退位置に閉鎖部材１０３を移動させられてもよい。プロセス５００の１つ以上の実施形態において、閉鎖部材１０３の上記後退の前、その最中および／またはその後に、展開機構１３４および１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は第１および第２の間隙１２３、１２５（図１Ａ）を、閉鎖部材１０３とバルブハウジング１０５の間に維持して、閉鎖部材１０３の長手方向移動時の擦れおよび／または粒子生成から保護してもよい。例えば、いくつかのこのような実施形態において、第２のアクチュエータ１４１は閉鎖部材１０３をバルブハウジング１０５の前部プレート１２１に対して横方向に移動させること阻止されてもよい。加えて、１つ以上の実施形態において、ブレースアクチュエータ１７３は、バルブハウジング１０５の後部プレート１１９に対して横方向にブレース部材１０９を移動させることを阻止されてもよい。その上、１つ以上の実施形態において、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３は、例えば減圧の印加によって起動されて、閉鎖部材１０３の長手方向後退時にブレース部材１０９の後退位置を封止部１０７に対して／この中に維持してもよい。
【００５７】
閉鎖部材１０３は長手方向および横方向の両方に後退されるために、チャンバ分離バルブ１０１ａは次に、チャンバ分離バルブ１０１ａのバルブハウジング１０５を介して基板の通過を前後に許容するように構成され、プロセス５００はステップ５０７で終了する。好都合または所望である場合には、追加ステップを採用して、後退時でも移動中でなくても、閉鎖部材１０３がバルブハウジング１０５から間隔をあけられたままであることを保証してもよい。例えば、１つ以上のブレースアクチュエータ１７３および／または１つ以上の第２のアクチュエータ１４１は第１および／または第２の間隙１２３、１２５（図１Ａ）を維持するために連続的に起動されてもよい。
【００５８】
図４および図５のプロセス４００、５００に関するように、チャンバ分離バルブ１０１ａのいくつかの実施形態において、第１のアクチュエータ１３５は、閉鎖部材１０３の長手方向展開および長手方向後退の両方の時に正圧の印加によって作動するように適合される。チャンバ分離バルブ１０１ａのいくつかの他の実施形態において、第１のアクチュエータ１３５は、縦方向後退に用いられている重力による長手方向展開時に正圧によって作動するように適合されてもよい。チャンバ分離バルブ１０１ａのさらなる実施形態において、各ブレースアクチュエータ１７３は閉鎖部材１０３の横方向展開時にスプリングデフォルトによって作動するように適合されてもよく、またいくつかのこのような実施形態において、各第２のアクチュエータ１４１は、（例えば、閉鎖部材１０３の長手方向移動時の閉鎖部材１０３の横方向後退の維持を保証するために）閉鎖部材１０３の横方向後退時に正圧によって作動するように適合されてもよい。チャンバ分離バルブ１０１ａのさらに別の実施形態において、各ブレースアクチュエータ１７３は、（例えば、ブレース部材１０９を展開する場合にスプリングデフォルトの力を回復する必要を回避するために）ブレース部材１０９の横方向展開時に正圧によって、またブレース部材１０９の横方向後退時に減圧（例えばスプリングデフォルトなし）によって作動するように適合されてもよい。他の構成が用いられてもよい。
【００５９】
図６は、図２のチャンバ分離バルブ１０１ａと、チャンバ分離バルブ１０１ａの機能を動作および／または調整するように適合されたスリットバルブコントロールモジュール６０１とを含むスリットバルブシステム６００の概略図である。例えば、スリットバルブコントロールモジュール６０１は、図４のフローチャートに図示されたプロセス４００および／または図５のフローチャートに図示されたプロセス５００を実行するために、チャンバ分離バルブ１０１ａと相互作用するように適合されてもよい。
【００６０】
スリットバルブコントロールモジュール６０１は、信号を生成および／または受け取るように適合された入力／出力モジュール６０３を備えていてもよい。例えば、入力／出力モジュール６０３は、
（１）図３Ｆに図示されたような長手方向後退位置に閉鎖部材１０３があるか否かを判断し；
（２）図３Ｆの長手方向後退位置にある閉鎖部材１０３に対応する第１の信号コンダクタ６０５に沿って電気信号を生成および送信し；
（３）図３Ｆの長手方向後退位置にある閉鎖部材１０３に対応するインジケータライト（例えば、緑Ｌ．Ｅ．Ｄ．）を照射し；
（４）図３Ｄに図示されたような長手方向展開位置に閉鎖部材１０３があるか否かを判断し；
（５）図３Ｄの長手方向展開位置にある閉鎖部材１０３に対応する第２の信号コンダクタ６０７に沿って電気信号を生成および送信し；
（６）図３Ｄの長手方向展開位置にある閉鎖部材１０３に対応するインジケータライト（例えば、赤Ｌ．Ｅ．Ｄ．）を照射し；
（７）図３Ｅに図示されたような横方向展開位置にブレース部材１０９があるか否かを判断し；
（８）図３Ｅの横方向展開位置にあるブレース部材１０９に対応する第３の信号コンダクタ６０９に沿って電気信号を生成および送信し；
（９）上記（７）のようにブレース部材１０９が横方向展開位置にあると判断されるまで、上記（５）の信号が生成および送信され、上記（６）のインジケータライトが照射されることを阻止し；
（１０）例えば、図４を参照して上記のプロセス４００を実行する（例えば、図３Ｅに図示されたようなチャンバ分離バルブ１０１ａの第１の開口１１５を封止する）ために、スリットバルブコントロールモジュール６０１にチャンバ分離バルブ１０１ａを動作させる、かつ／またはこれを許容するために、第４の信号コンダクタ６１１に沿って電気信号を受け取り；
（１１）例えば、図５を参照して上記のプロセス５００を実行する（例えば、図３Ｆに図示されたように閉鎖部材１０３の長手方向後退位置に閉鎖部材１０３を置く）ために、スリットバルブコントロールモジュール６０１にチャンバ分離バルブ１０１ａを動作させる、かつ／またはこれを許容するために、第５の信号コンダクタ６１３に沿って電気信号を受け取り；
（１２）スリットバルブコントロールモジュール６０１への接続を有する複数の空気圧導管、例えば
（ａ）減圧ソース導管６１５；
（ｂ）加圧ガスソース導管６１７；
（ｃ）環境（大気）排気導管６１９；
（ｄ）ブレース作動導管６２１；
（ｅ）クランプ作動導管６２３；
（ｆ）閉鎖部材低下導管６２５；
（ｇ）閉鎖部材上昇導管６２７；の間の、かつ／またはこれらのうちの接続を選択的に再構成するように適合されたスリットバルブコントロールモジュール６０１（図示せず）の１つ以上の空気圧スイッチをコントロールし、これらに電力を送り；
（１３）ブレース作動導管６２１の上昇圧（例えば、加圧）の存在を検出し；
（１４）上記（１３）の機能によって少なくとも部分的に上記（７）の機能を実行し、および／または
（１５）ブレース作動導管６２１の低下圧（例えば、減圧）の存在を検出するように適合されてもよい。
【００６１】
スリットバルブコントロールモジュール６０１はまた、以下の機能を実行するように適合されてもよい：
（１６）例えば、各ブレースアクチュエータ１７３を作動させることによって、ブレース部材１０９を図３Ｅに図示された横方向展開位置に移動させるために、加圧ガスソース導管６１７をブレース作動導管６２１に選択的に接続すること；
（１７）例えば、各ブレースアクチュエータ１７３を作動させることによって、ブレース部材１０９を図３Ｄに図示された横方向後退位置に移動させるために、減圧ソース導管６１５をブレース作動導管６２１に選択的に接続すること；
（１８）上記（１６）の空気圧接続が存在する間に上記（１７）の機能が生じることを積極的に阻止すること；
（１９）上記（１７）の空気圧接続が存在する間に上記（１６）の機能が生じることを積極的に阻止すること；
（２０）例えば、展開機構１３４の各第２のアクチュエータ１４１を作動させることによって、（例えば閉鎖部材１０３を展開させることを意図するスプリングデフォルトを無効化することによって）図３Ｄに図示された横方向後退位置に閉鎖部材１０３を移動させるために、加圧ガスソース導管６１７をクランプ作動導管６２３に選択的に接続すること；
（２１）例えば、展開機構１３４の各第２のアクチュエータ１４１の作動を停止させて、（例えば、各展開機構１３４に構築された）スプリングデフォルトやブレースアクチュエータ１７３の活動を優先させることによって、図３Ｅに図示された横方向展開位置に閉鎖部材１０３を移動させるために、環境排気導管６１９をクランプ作動導管６２３に選択的に接続すること；
（２２）例えば、第１のアクチュエータ１３５（図３Ａ）を作動させることによって、図３Ｆに図示された長手方向後退位置に閉鎖部材１０３を移動させるために、加圧ガスソース導管６１７を閉鎖部材低下導管６２５に選択的に接続すること；
（２３）例えば、上記（２２）の機能を容易にするために、環境排気導管６１９を閉鎖部材上昇導管６２７に選択的に接続すること；
（２４）例えば、第１のアクチュエータ１３５（図３Ａ）を作動させることによって、図３Ｄに図示された長手方向展開位置に閉鎖部材１０３を移動させるために、加圧ガスソース導管６１７を閉鎖部材上昇導管６２７に選択的に接続すること；
（２５）例えば、上記（２４）の機能を容易にするために、環境排気導管６１９を閉鎖部材低下導管６２５に選択的に接続すること；
（２６）上記（２２）および（２３）を同時に実行すること；
（２７）上記（２４）および（２５）を同時に実行すること；
（２８）上記（２６）から上記（２７）に選択的に切り替えること；
（２９）上記（２７）から上記（２６）に選択的に切り替えること；
（３０）上記（１７）および（２０）を同時に実行すること；
（３１）上記（１６）および（２１）を同時に実行すること；
（３２）上記（３０）から上記（３１）に選択的に切り替えること；
（３３）上記（３１）から上記（３０）に選択的に切り替えること；
（３４）（２２）の空気圧接続が存在する間に（１６）および（２１）が生じることを積極的に阻止すること；
（３５）閉鎖部材１０３が図３Ｄに図示された縦方向展開位置にない場合に（１６）および（２１）が生じることを積極的に阻止すること；
（３６）上記（１７）の空気圧接続が存在しない場合に上記（２８）および（２９）が生じることを積極的に阻止すること；
（３７）スリットバルブコントロールモジュール６０１への電力の損失の際に（３１）をデフォルト設定すること；
（３８）上記（２８）、（２７）、（３５）、（１６）、（２１）および（３６）を実行することによって図４のプロセス４００を実行すること；
（３９）上記（２８）、（２７）、（３５）、（１６）、（２１）、（３６）、（３２）および（３１）を実行することによって図４のプロセス４００を実行すること；
（４０）上記（３６）、（２０）、（１７）、（２９）、（２２）、（２３）、（２６）および（３４）を実行することによって図５のプロセス５００を実行すること；および／または
（４１）上記（３６）、（３３）、（２０）、（１７）、（２９）、（２３）、（２６）、（３４）および（３０）を実行することによって図５のプロセス５００を実行すること。
【００６２】
多数の他の機能もさらに、または代替的に実行されてもよい。
【００６３】
図７は、図２のチャンバ分離バルブ１０１ａを備える図６のスリットバルブシステム６００の具体的実施形態６００ａおよびスリットバルブコントロールモジュール６０１の具体的実施形態６０１ａの概略図であり、ここでスリットバルブコントロールモジュール６０１ａはより詳細に示されている。図７を参照すると、スリットバルブコントロールモジュール６０１ａは上記の機能１〜４１を実行するように適合されている。これらの機能を実行するように適合されたスリットバルブコントロールモジュール６０１ａの態様／構造を、機能の一般的な順序で導入および説明する。
【００６４】
機能１〜３は、第１の位置スイッチ６２９と、第１のインジケータライト６３１と第１の信号コンダクタ６０５において包含されてもよい。第１の位置スイッチ６２９は正常に開くように構成されてもよく、また閉鎖部材１０３が図３Ｆの長手方向後退位置に達する場合に作動または閉じられるように、チャンバ分離バルブ１０１ａの内部またはこれに隣接してインストールされてもよい。第１のインジケータライト６３１はオペレータへの信号でありうる。第１の信号コンダクタ６０５は信号を遠隔コントローラ（図示せず）に搬送することができる。第１のインジケータライト６３１および／または第１の信号コンダクタ６０５に対する他の使用も可能である。
【００６５】
機能４〜６は、第２の位置スイッチ６３５と、第２のインジケータライト６３７と第２の信号コンダクタ６０７において包含されてもよい。第２の位置スイッチ６３５は正常に開くように構成されてもよく、また閉鎖部材１０３が図３Ｄの長手方向展開位置に達する場合に作動または閉じられるように、チャンバ分離バルブ１０１ａの内部またはこれに隣接してインストールされてもよい。第２のインジケータライト６３７および第２の信号コンダクタ６０７は第１のインジケータライト６３１および第１の信号コンダクタ６０５と同様に機能してもよい。
【００６６】
機能７は圧力スイッチ６４１に包含されてもよい。圧力スイッチ６４１は正常に開くように構成されてもよく、また、ブレース作動導管６２１が環境圧と比較して正圧である場合に作動または閉じられるように、（例えば、オリフィス６４３の一方の側で圧力をゆっくりと均等にするように適合されたオリフィス６４３を介して）ブレース作動導管６２１に空気圧で結合されてもよい。ブレース作動導管６２１の正圧は各ブレースアクチュエータ１７３の作動によってブレース部材１０９の横方向展開につながり、オリフィス６４３は、ブレース部材１０９が展開した後のみ圧力を均等にするように作動されてもよいために、圧力スイッチ６４１は機能７を実行してもよい。
【００６７】
機能８および９は、第３の信号コンダクタ６０９と、圧力スイッチ６４１はライトアップする第２のインジケータライト６３７および電力を受け取る第３の信号コンダクタ６０９に対して閉じられなければならないという事実とによって包含されてもよい。
【００６８】
機能１０および１１は第４の信号コンダクタ６１１と第５の信号コンダクタ６１３とによってそれぞれ包含されてもよい。
【００６９】
機能１２は第４の信号コンダクタ６１１および第５の信号コンダクタ６１３によって包含されてもよく、これらは後述のように、（例えば＋２４Ｖや別の電力レベル信号の形態の）信号を受け取るように適合されてもよい。
【００７０】
機能１３は圧力スイッチ６４１に包含されてもよく、また機能１４は一目瞭然である。
【００７１】
機能１５は減圧スイッチ６５１に包含されてもよい。減圧スイッチ６５１は正常に開くように構成されてもよく、また、ブレース作動導管６２１が環境に比較して減圧である場合に作動または閉じられるように、（例えば、オリフィス６４３を介して）ブレース作動導管６２１に空気圧で結合されてもよい。
【００７２】
機能１６はマスター圧力ソースバルブ６５３に包含されてもよい。マスター圧力ソースバルブ６５３は正常に閉じるように構成されてもよく、また加圧ガスソース導管６１７にブレース作動導管６２１を接続させてもよい。マスター圧力ソースバルブ６５３はさらに、空気圧導管６５５を介して作動ポートで正圧に暴露された場合に作動または開かれるように構成されてもよい。空気圧導管６５５は、第１の流れ調整器６５７を介して（ならびに後述するような１対の空気圧切り替えコネクタを介して）加圧ガスソース導管６１７または環境排気導管６１９のいずれかに選択的に接続されてもよい。
【００７３】
機能１７はマスター減圧ソースバルブ６５９に包含されてもよい。マスター減圧ソースバルブ６５９は正常に閉じられるように構成されてもよく、またブレース作動導管６２１を減圧ソース導管６１５に接続してもよい。マスター減圧ソースバルブ６５９はさらに、空気圧導管６６１を介して作動ポートで正圧に暴露された場合に作動または開かれるように構成されてもよい。空気圧導管６６１は、第２の流れ調整器６３３を介して（ならびに後述するような空気圧切り替えコネクタを介して）加圧ガスソース導管６１７または環境排気導管６１９のいずれかに選択的に接続されてもよい。
【００７４】
スリットバルブコントロールモジュール６０１ａは、すべてが上記機能１２で説明されたインタフェースに関与するように適合された第１の空気圧切り替えコネクタ６６５と、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７と、第３の空気圧切り替えコネクタ６６９とを備えていてもよい。第１の空気圧切り替えコネクタ６６５および第２の空気圧切り替えコネクタ６６７は５つの個別空気圧導管（このうちの２つは常に環境排気導管６１９と共通であり、またこれらのうちの１つは常に加圧ガスソース導管６１７と共通である）の間に、かつ／またはこれらのうちに空気圧接続構成を確立し、かつこれを選択的に変更するように適合されており、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７は、３つの個別空気圧導管（これらのうちの１つは常に環境排気導管６１９と共通である）の間に空気圧接続構成を確立し、かつこれを選択的に変更するように適合される。
【００７５】
第２の空気圧切り替えコネクタ６６７はデフォルトによって空気圧構成Ａとなるように適合されており、ここで、デフォルト機構は、例えばスプリングであってもよく、また、例えば図７に示された構成Ａによって占められた位置に空気圧構成Ｂをシフトさせるように適合された作動コイルに印加されるハイサイド電圧を介して選択的に空気圧構成Ｂとなるように適合される。第３の空気圧切り替えコネクタ６６９はデフォルトによって空気圧構成Ｃとなるように適合されており、ここでデフォルト機構は例えばスプリングであってもよく、また、例えば空気圧作動機構６７１に印加された正圧を介して選択的に図７に示された空気圧構成Ｄとなることによって、空気圧構成Ｄを示されている位置にシフトさせるように作動する（例えば、構成Ｃを外に移動させ、構成Ｄを中に移動させる）ように適合される。第１の空気圧切り替えコネクタ６６５は、例えば、構成Ｅから構成Ｆへ、または場合によっては構成Ｆから構成Ｅに第１の空気圧切り替えコネクタ６６５を移動させるように適合されたそれぞれの作動コイルに適用された（例えば＋２４Ｖの）２つの異なるハイサイドコンダクタを介して、選択的に図７に示されたような空気圧構成Ｅまたは空気圧構成Ｆのいずれかになるように適合される。
【００７６】
スリットバルブコントロールモジュール６０１ａはさらに、追加ハイサイド電圧コンダクタ６７３、６７５および６７７と、リターンつまり接地コンダクタ６７９、６８１、６８３および６８５と、第３の位置スイッチ６８７とを含んでもよい。第３の位置スイッチ６８７は正常に閉じられるように構成されてもよく、また、閉鎖部材１０３が図３Ｄの長手方向展開位置に達する場合に作動または開かれるように、チャンバ分離バルブ１０１ａ内にまたはこれに隣接してインストールされてもよい。
【００７７】
本出願を読み、また本出願の図面、特に図７を見れば、スリットバルブコントロールモジュール６０１ａは、第４の信号コンダクタ６１１または第５の信号コンダクタ６１３に沿ったハイサイド電圧信号を選択的に受け取り、またスリットバルブコントロールモジュール６０１ａの残りの要素が図７の概略に従って上述されたように機能するのを可能にすることによって、上記機能１６〜４１を実行するように適合されることが、当業者には明らかである。例えば、マスター減圧ソースバルブ６５９およびマスター圧力ソースバルブ６５３は、相互排他的に開いて、ブレース作動導管６２１および各ブレースアクチュエータ１７３への減圧および正圧の同時印加を阻止するように適合される。その上、第４の信号コンダクタ６１１とリターンつまり接地コンダクタ６８３との間、かつ第５の信号コンダクタ６１３とリターンつまり接地コンダクタ６８３との間の回路は、ブレース作動導管６２１がマスター減圧ソースバルブ６５９を介して減圧に暴露され、また減圧スイッチ６５１がそれによって閉じられない場合かつこのようになるまで（これによって、第１の空気圧切り替えコネクタ６６５において構成Ｅから構成Ｆへ、またはこの反対の切り替えが可能になる）閉じられることはできない。加えて、第３の空気圧切り替えコネクタ６６９は、正圧が空気圧作動機構６７１で受け取られなければ構成Ｄとなることはなく、また後者は、第１の空気圧切り替えコネクタ６６５が示されたような構成Ｅになければ可能ではない。さらにまた、図７では開いて示されている第３の位置スイッチ６８７は正常に閉じられ、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７に、閉鎖部材１０３が図３Ｄの長手方向展開位置に達するまで構成Ｂにとどまらせ（減圧がブレース作動導管６２１およびブレース部材１０９に印加されることになり、図３Ｆの横方向後退位置にとどまる）、この時点で、第３の位置スイッチ６８７は開き、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７のスプリングデフォルトをトリガし、第２の空気圧切り替えコネクタ６６７を構成Ａに切り替えさせる。本発明のバルブ１０１、１０１ａをコントロールするための他の構成／システムが用いられてもよい。
【００７８】
上記説明は本発明の例示的実施形態のみを開示している、本発明の範囲内にある上記の開示された装置および方法の修正は当業者には容易に明らかである。例えば、１つ以上の実施形態によると、封止部１０７を処理チャンバＰから離して押圧しようとする処理チャンバＰ内の圧力は、ブレースアクチュエータ１７３によって生成された支持力によってのみ対抗されてもよい。他の実施形態において、支持力の大きさは処理チャンバＰ内の圧力に対抗するのに必要な大きさより小さくてもよく、また他のソースからの追加の力がそれに付加されて、処理チャンバ開口１０２に対するシールを維持してもよい。
【００７９】
本発明の少なくとも一実施形態において、封止部１０７の本体はアルミニウムなどの金属から形成されてもよい。このような実施形態において、封止部１０７は、（例えば、粒子生成が金属間接触することを阻止するために）前部プレート１２１に接触して、かつ封止部１０７の金属部分が前部壁１２１に接触するのを阻止する弾性部材１９８（図３Ｅ）を含んでもよい。弾性部材１９８は、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）や、（例えばＯリングや類似の封止部材の形態の）別の適切な材料を含んでもよい。同様に、少なくとも一実施形態において、ブレース部材１０９の本体はアルミニウムや別の適切な金属などの金属から形成されてもよく、（粒子生成の金属間接触を阻止するために）後部プレート１１９に接触する弾性部材１９９（図３Ｅ）を含んでもよい。弾性部材１９９は、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）や（Ｏリングや類似の封止部材の形態の）別の適切な材料を含んでもよい。本明細書で使用されているように、封止部１０７の弾性部材１９８や他の部分が前部プレート１２１に接触すれば、封止部１０７は前部プレート１２１に接触していると言われてもよいことが理解される。同様に、ブレース部材１０９の弾性部材１９９や他の部分が後部プレート１１９に接触すれば、ブレース部材１０９は後部プレート１１９に接触していると言われてもよい。
【００８０】
本発明の少なくとも一実施形態において、ベローズ１３７および／または延長可能な壁部１７９はステンレス鋼から形成されてもよい。任意の他の類似の材料が用いられてもよい。
【００８１】
従って、本発明はその例示的実施形態と関連して開示されているのに対して、他の実施形態は、以下の請求項によって定義されるように本発明の主旨および範囲内にあるであろうことが理解されるべきである。
【符号の説明】
【００８２】
１０１、１０１ａ…チャンバ分離バルブ、１０２…処理チャンバ開口、１０３…閉鎖部材、１０５…バルブハウジング、１０７…封止部、１０９…支持部材、１１１…延長部、１１３…エンクロージャ、１１５…第１の開口、１１７…第２の開口、１１９…後部プレート、１２１…前部プレート、１２７…上部、１２９…下部、１３０…弾性要素、１３４…展開機構、１３５…第１のアクチュエータ、１３７…外部ベローズ、１３９…第１の搭載フランジ、１４１…第２のアクチュエータ、１４５…ブラケット、１６７…ポケット、１７１…駆動プレート、１７３…支持アクチュエータ、１７５…駆動プレートベローズ、１７９…延長可能な壁部、１８１…圧力セル、１８３…導管、１８５…ソケット、１９３…延長部インタフェース、１９５…弾性要素、１９７…フィーダ導管、６００…スリットバルブシステム、６０１…スリットバルブコントロールモジュール、６０５…第１の信号コンダクタ、６０７…第２の信号コンダクタ、６０９…第３の信号コンダクタ、６１１…第４の信号コンダクタ、６１３…第５の信号コンダクタ、６１５…減圧ソース導管、６１７…加圧ガスソース導管、６１９…環境排気導管、６２１…支持作動導管、６２３…クランプ作動導管、６２５…閉鎖部材低下導管、６２７…閉鎖部材上昇導管、６２９…第１の位置スイッチ、６３１…第１のインジケータライト、６３３…第２の流れ調整器、６３５…第２の位置スイッチ、６３７…第２のインジケータライト、６４１…圧力スイッチ、６４３…オリフィス、６５１…減圧スイッチ、６５３…マスター圧力ソースバルブ、６５５…空気圧導管、６５７…第１の流れ調整器、６６５…第１の空気圧切り替えコネクタ、６６７…第２の空気圧切り替えコネクタ、６６９…第３の空気圧切り替えコネクタ、６８３…接地コンダクタ、６８７…第３の位置スイッチ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を封止するように適合されたスリットバルブであって、
第１の壁、前記第１の壁に形成された第１の開口、第２の壁、前記第２の壁に形成された第２の開口を有するバルブハウジングと、
前記第２の壁に接触して、かつ前記第２の開口を封止するように適合された封止部と、前記封止部に対して移動可能であり、かつ前記第１の壁に接触するように適合された支持部材（bracing member）とを有する閉鎖部材と、
前記封止部を前記第２の壁に向かって、かつ前記第２の壁と接触して移動させるように、また前記封止部を前記第２の壁に対して支持するために、前記支持部材を前記封止部から離して、かつ前記第１の壁に接触して移動させるように適合された少なくとも１つの作動機構と、
を備え、
前記少なくとも１つの作動機構がベローズを有し、前記ベローズが、前記封止部から離れる前記支持部材の移動が前記ベローズの収縮を発生させるように方向付けられており、
前記第１の壁に面する前記封止部の側面に凹部が形成されており、
前記封止部は、前記凹部の周縁部に結合されるフランジを含み、
前記支持部材は、前記凹部内に配置されるプレートを含み、
前記フランジと前記プレートとの間に前記ベローズが配置されている、
スリットバルブ。
【請求項２】
前記少なくとも１つの作動機構が、前記閉鎖部材の一部を備えており、かつ前記支持部材と前記封止部の間に配置されているアクチュエータを含む、請求項１に記載のスリットバルブ。
【請求項３】
スリットバルブハウジングの開口を封止するための方法であって、
第１の壁、前記第１の壁に形成された第１の開口、第２の壁、前記第２の壁に形成された第２の開口を有するバルブハウジングを提供するステップと、
前記第２の壁に接触して、かつ前記第２の開口を封止するように適合された封止部と、前記封止部に対して移動可能であり、かつ前記第１の壁に接触するように適合された支持部材とを有しており、前記第１の壁に面する前記封止部の側面に凹部が形成されており、前記封止部は前記凹部の周縁部に結合されるフランジを含み、前記支持部材は、前記凹部内に配置されるプレートを含み、前記フランジと前記プレートとの間にベローズが配置されている、閉鎖部材を提供するステップと、
前記封止部を前記第２の壁に向かって、かつ前記第２の壁に接触して移動させるステップと、
前記封止部を前記第２の壁に対して支持するために、前記支持部材を前記封止部から離して、かつ前記第１の壁に接触して移動させるステップと、
を備え、
前記支持部材を前記封止部から離して移動させるステップが、前記ベローズを圧縮する工程を備える、
る方法。
【請求項４】
前記第１および第２の開口が横方向に整列されている、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記封止部を移動させるステップが、前記閉鎖部材を横方向に移動させる工程を備える、請求項４に記載の方法。
【請求項１】
開口を封止するように適合されたスリットバルブであって、
第１の壁、前記第１の壁に形成された第１の開口、第２の壁、前記第２の壁に形成された第２の開口を有するバルブハウジングと、
前記第２の壁に接触して、かつ前記第２の開口を封止するように適合された封止部と、前記封止部に対して移動可能であり、かつ前記第１の壁に接触するように適合された支持部材（bracing member）とを有する閉鎖部材と、
前記封止部を前記第２の壁に向かって、かつ前記第２の壁と接触して移動させるように、また前記封止部を前記第２の壁に対して支持するために、前記支持部材を前記封止部から離して、かつ前記第１の壁に接触して移動させるように適合された少なくとも１つの作動機構と、
を備え、
前記少なくとも１つの作動機構がベローズを有し、前記ベローズが、前記封止部から離れる前記支持部材の移動が前記ベローズの収縮を発生させるように方向付けられており、
前記第１の壁に面する前記封止部の側面に凹部が形成されており、
前記封止部は、前記凹部の周縁部に結合されるフランジを含み、
前記支持部材は、前記凹部内に配置されるプレートを含み、
前記フランジと前記プレートとの間に前記ベローズが配置されている、
スリットバルブ。
【請求項２】
前記少なくとも１つの作動機構が、前記閉鎖部材の一部を備えており、かつ前記支持部材と前記封止部の間に配置されているアクチュエータを含む、請求項１に記載のスリットバルブ。
【請求項３】
スリットバルブハウジングの開口を封止するための方法であって、
第１の壁、前記第１の壁に形成された第１の開口、第２の壁、前記第２の壁に形成された第２の開口を有するバルブハウジングを提供するステップと、
前記第２の壁に接触して、かつ前記第２の開口を封止するように適合された封止部と、前記封止部に対して移動可能であり、かつ前記第１の壁に接触するように適合された支持部材とを有しており、前記第１の壁に面する前記封止部の側面に凹部が形成されており、前記封止部は前記凹部の周縁部に結合されるフランジを含み、前記支持部材は、前記凹部内に配置されるプレートを含み、前記フランジと前記プレートとの間にベローズが配置されている、閉鎖部材を提供するステップと、
前記封止部を前記第２の壁に向かって、かつ前記第２の壁に接触して移動させるステップと、
前記封止部を前記第２の壁に対して支持するために、前記支持部材を前記封止部から離して、かつ前記第１の壁に接触して移動させるステップと、
を備え、
前記支持部材を前記封止部から離して移動させるステップが、前記ベローズを圧縮する工程を備える、
る方法。
【請求項４】
前記第１および第２の開口が横方向に整列されている、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記封止部を移動させるステップが、前記閉鎖部材を横方向に移動させる工程を備える、請求項４に記載の方法。
【図１Ａ】
【図１Ｂ】
【図１Ｃ】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図３Ｄ】
【図３Ｅ】
【図３Ｆ】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図１Ｂ】
【図１Ｃ】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図３Ｄ】
【図３Ｅ】
【図３Ｆ】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１０−２８１４４６（Ｐ２０１０−２８１４４６Ａ）
【公開日】平成２２年１２月１６日（２０１０．１２．１６）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２０１０−１２７０１１（Ｐ２０１０−１２７０１１）
【出願日】平成２２年６月２日（２０１０．６．２）
【分割の表示】特願２００６−５１４３５５（Ｐ２００６−５１４３５５）の分割
【原出願日】平成１６年５月１２日（２００４．５．１２）
【出願人】（３９００４０６６０）アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１２月１６日（２０１０．１２．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１２７０１１（Ｐ２０１０−１２７０１１）
【出願日】平成２２年６月２日（２０１０．６．２）
【分割の表示】特願２００６−５１４３５５（Ｐ２００６−５１４３５５）の分割
【原出願日】平成１６年５月１２日（２００４．５．１２）
【出願人】（３９００４０６６０）アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
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