【課題】シール部に作用する荷重が変動しても、ゲート弁の本体がゲートに接触することを防止するとともに、所定のシール性を確保することが可能なゲート弁を提供する。
【解決手段】ゲート弁は、本体部１と、ゲート弁が閉じたときにゲートの周縁部に当接するシール部２とを備える。シール部２は、本体部１の周縁部に沿って延びるように設けられ、ゲート弁が開いたときに主面１Ａから突出する凸状の第１部分２Ａおよび凸状の第２部分２Ｂを含む。第１部分２Ａの主面１Ａからの突出量（Ｈ１）は、第２部分２Ｂの主面１Ａからの突出量（Ｈ２）よりも大きい。第１部分２Ａは、第２部分２Ｂに対して主面１Ａの内周側に設けられる。 （もっと読む）

【課題】弁板による開口の開閉時に弁シールと弁シート面との摺動を生じない簡単な構成の無摺動型ゲートバルブを提供する。
【解決手段】エアシリンダ８の駆動ロッド９と弁シャフト７との間に、ガイド溝及びガイドローラ３１ａ，３１ｂからなる平行移動機構と、カム溝３０及びカムローラ３３からなる垂直移動機構とを介在させ、前記弁シャフト７を、前記平行移動機構で弁シート面１０と平行に移動させたあと、前記垂直移動機構で前記弁シート面１０に対して垂直に移動させることにより、弁板５の弁シール６を前記弁シート面１０に垂直に接離させて前記開口３を開閉する。 （もっと読む）

【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】容器に設けられた連通部の大きさが変わった場合でも、当該連通部を開閉し得る開閉装置を低コストで提供する。
【解決手段】側壁部３と底壁部４とを有して断面がＬ字形状にされ且つ側壁部３に連通部３ａが設けられると共に底壁部４に取付用開口部４ａが設けられてなる真空容器１の連通部３ａを開閉し得るバルブ装置６と、断面がＬ字形状にされてバルブ装置６を真空容器１側に取り付けるためのバルブシート７とを具備する連通部開閉装置であって、バルブシート７に、側壁部３に設けられた連通部３ａに対応する案内用開口部２２ａが形成されたシート部２１と、このシート部２１と直交する方向で設けられてバルブ装置６を取り付けるためのベース部３１とを備え、これらシート部２１とベース部３１とを分離したものである。 （もっと読む）

【課題】流路を気密的に遮断する弁があるが、摩耗による外部漏れ、複数の作動部材のため、メンテナンスが困難であった。耐摩耗性に優れ、メンテナンスが容易な弁を提供する。
【解決手段】弁体８は、外側弁体部９および内側弁体部１１を有す。内側弁体部は、外側弁体部に対して相対的に直線的に移動可能であり、閉鎖設定において弁体への圧力差により、内側弁体部は、弁筺体に押し付けられ、外側弁体に対する差圧力は無くなる。弁座５は、放射状に内側を向いた第１内面１４を有し、外側弁体部は、放射状に外側を向いた第１外面１５を有する。第１外面は、閉鎖設定において、放射状に封止する接触が第１内面との間に存在する配置となる。外側弁体部は、放射状に内側を向いた第２内面１６を有し、内側弁体部は、放射状に外側を向いた第２外面１７を有する。第２外面は、放射状に封止する接触が第２内面との間に存在する配置となる。 （もっと読む）

【課題】 一度に処理する被処理体の枚数が増加したとしても、弁体の昇降距離を短縮することが可能なゲートバルブを提供すること。
【解決手段】 被処理体を出し入れする複数の開口部６１ａ〜６１ｄに押圧される弁体６３と、弁体６３に設けられた押圧部６７と、開口部６１ａ〜６１ｄの開口面に対して平行にスライドするメインスライダー７０と、メインスライダー７０に設けられ、突起部７２と該突起部７２からスロープ状に傾斜する傾斜部７３とを含み、弁体６３を開口部６１ａ〜６１ｄに正対させた状態で、弁体６３の押圧部６７を押圧するカム７１と、を備え、弁体６３は、開口部６１ａ〜６１ｄを開放する開放部として機能する少なくとも１つのスリット状開口６５ａ〜６５ｃを有し、スリット状開口６５ａ〜６５ｃに隣接した部位を、開口部６１ａ〜６１ｄを閉塞する閉塞部６６ａ〜６６ｄとする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が高速度に可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】スライド弁１は、弁箱１０の中空部１１内に配置され第１開口部１２ａを閉塞可能な可動弁部４０を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段とを有し、可動弁部４０の閉塞解除動作と中立弁体３０の回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が高速度に可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】スライド弁１は、可動弁部４０の回転軸２０を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、可動弁部を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段とを有し、復動式エアシリンダがピニオンを駆動する第２ピストンと、弁開度を設定するように第２ピストンの停止位置を規制する第１ピストンとを有し、可動弁部の閉塞解除動作と回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有し、かつ、可動弁部の停止位置を設定するエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備している。 （もっと読む）

【課題】弁体を冷却するための熱交換器を設け、該熱交換器内の冷却水通路と主ロッドの内部の冷却水供給路とを、相対的に変位可能な方法によって簡単にしかも液漏れを生じないように連結する。
【解決手段】開口部２を開閉する弁体５と、弁体５を開口部２に接離させる開閉シリンダ６と、弁体５を開口部２に対向する位置と非対向の位置とに変位させる主シリンダ７と、弁体５を冷却する熱交換器８とを有し、主シリンダ７の主ロッド１３の先端に開閉シリンダ６を取り付け、開閉シリンダ６の開閉ロッド２５に熱交換器８を取り付け、熱交換器８に弁体５を取り付け、熱交換器８内の冷却水通路４８の冷却水入口４８ａ及び冷却水出口４８ｂと、主ロッド１３の内部の冷却水供給路５０及び冷却水排出路５１とを、伸縮自在で液密性を有する供給用及び排出用のベローズ継手５２ａ，５２ｂで接続する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】弁箱１０に回動自在に設けられた回転軸２０を中心として揺動回転する可動弁部４０を設け、可動弁部４０の揺動により開口部を開閉すると共に、回転軸２０を、内部に流体通路を設けたスイベルジョイント構造を採用し、制御流体の制御により可動弁部４０の弁座への圧接分離可能とし、また、回転軸２０をピストンにより駆動可能なラックピニオン機構により揺動回転させる。 （もっと読む）

【課題】弁箱から弁板を取り出し可能にした開口側からの操作で弁板を簡単に着脱でき、弁ロッドの弁板取付部における基端及び先端側で強固に固定し、弁板の姿勢を安定化させたゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁ロッド９の弁板取付部１０に弁板６を固定して開閉動作させるゲートバルブにおいて、弁板に弁ロッドを挿入する取付孔８を設け、該孔内において相互に密接する弁板と弁ロッドの接合平面８ａ，１０ａを接合させ、上記弁板取付部１０の基端側の傾斜面１１によるくさび効果で弁板の基端側において弁板と弁ロッドの上記接合平面を相互に圧接させ、弁ロッドの先端部９ａと弁板の先端側端面６ｃとにねじ１５，１６で連結板１４を固定して、それらを連結すると共に、両接合平面を相互に圧接させる連結板の圧接機構により、弁板と弁ロッドの先端側においても上記接合平面を相互に圧接させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、これらを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、流体経路リングと、を具備してなることを特徴とするスライド弁。 （もっと読む）

【課題】真空装置に用いられる回転式スライド弁に於いて、衝撃の少ない回転操作が可能な操作部構造を提供する。
【解決手段】ピストンの直線運動を、ピニオンラックを介して回転運動に変換し、弁体を回動作動させる弁構造に於いて、ピストン１１２の突起部１１２ｃの円筒面にに形成され、突起部１１２ｃの根本部分から、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した緩衝溝１１８を設け、圧力空間１１３内の流体を緩衝溝１１８を介して排出する。 （もっと読む）

【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、これらを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、第１可動弁部と第２可動弁部とを締結可能な締結部材と、を具備してなることを特徴とする仕切弁。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、弁体を回転軸に対して正確に、かつ容易に取り付け可能な仕切弁を提供することを目的とする。
【解決手段】挿入工程での凹部９５と突起部９３との接触面は、第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂに限られ、突起部９３の第一傾斜面９３ｅ，９３ｆと、凹部９５の第二傾斜面９５ｅ，９５ｆとは接触しない。これによって、例えば、凹部９５と突起部９３との接触面（第一平行面９６ａ，９６ｂ、第二平行面９７ａ，９７ｂ）のクリアランス（隙間）を極めて小さく設定しても、凹部９５を突起部９３に押し込む際の摩擦力が軽減され、スムーズに凹部９５と突起部９３とを嵌合させることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、切り替え手段と前記可動弁部とを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、を具備してなることを特徴とする仕切弁。 （もっと読む）

【課題】水平面および傾斜面からなるシール面に、通常の切削機であっても支障なく形成し得るようなシール用溝部を有するバルブ装置を提供する。
【解決手段】開口部16が形成された正面視が台形状と逆台形状とを合わせてなる六角形状の仕切面Ｓを有するバルブシート４と、この仕切面Ｓと平行に移動されて開口部16を開閉し得るバルブ本体５とを有するバルブ装置であって、バルブシート４とバルブ本体５とのシールを行うためのシール面21〜23，26〜28を、仕切面Ｓと直交する方向、つまり前後方向で形成すると共にこの仕切面Ｓの外周に沿ってそれぞれ六角形状となし、バルブ本体５側のシール面26〜28に、断面が円形のシール材32に対応して円形状にされると共にその外周から中心に向かって所定高さだけ切除されてなる内面Ｃ字形状のシール用溝部31を形成したもの。 （もっと読む）

【課題】バルブシートの着脱作業を容易に行い得るバルブ装置を提供する。
【解決手段】四方の側壁部11，12及び上下の端壁部13から成るバルブ収納体３内に配置され且つ中央に開口部17が形成されたバルブシート４と、バルブシート４に沿ってスライド可能に配置されて開口部17を開閉可能なバルブ本体５と、バルブ収納体３の下端壁部13Ｄに設けられてバルブ本体５をスライドさせて開口部17を開閉駆動するバルブ駆動体６とから構成し、バルブシート４をバルブ駆動体６の設置側とは反対側である上端壁部13Ｕに固定し、バルブシート４の下縁部に、その先端が細くなるようにシート側傾斜面４ｉを形成すると共に、バルブ収納体３の内部に、シート側傾斜面４ｉに対応する固定側傾斜面15ｉを有してバルブシート４をバルブ収納体３内に挿入する際に側壁部11に押し付けて固定し得る縁部押圧部材15を、配置したもの。 （もっと読む）

【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）