【課題】弁体をヒーターで直接かつ効率良く加熱することができると共に、弁体及びシャフトに対するヒーターの取り付けが容易で該ヒーターの交換も簡単に行うことができる真空用バルブを提供する。
【解決手段】弁体６に連結したシャフト１０の内部のヒーター孔内にカートリッジヒーター３０を収容し、該カートリッジヒーター３０の先端の発熱部３０ａを上記シャフト１０と弁体６との連結部３２の位置に配置し、該連結部３２においては、上記弁体６とシャフト１０との相互に当接し合う面の相対する位置に上記ヒーター孔に通じる受熱溝と加圧部とを形成し、上記受熱溝には上記カートリッジヒーター３０の発熱部３０ａの半径と等しい半径を有する円弧状の溝部分を形成し、上記発熱部３０ａを上記受熱溝と加圧部との間に配置した状態で相互に固定することにより、該発熱部３０ａが上記加圧部４に加圧されて上記受熱溝の円弧状の溝部分の内周に面接触で密着させる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、流路を高速に開閉することができ、流路を開いたときの媒体の流量を所望する値に素早くコントロールできる流路開閉装置、および紙葉類処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】流路開閉装置２０は、吸気管および排気管をそれぞれ接続した２つの通気孔をそれぞれ有する円柱形の２つの筐体２６、２７、回転の途中で吸気管の流路および排気管の流路に重なる４つの流通孔をそれぞれ有する２枚の回転板２３、２４、および各回転板２３、２４をそれぞれ独立して回転させる２つのモータ２８、２９を有する。一方の回転板２３を回転させて２つの流路を交互に開閉すると同時に、他方の回転板２４の回転量を制御して、開いた流路に対する流通孔の重なり具合を調節して、流路を流れる空気の流量をコントロールする。 （もっと読む）

【課題】安価で、メンテナンス性に優れ、シール性も良いゲートバルブのシール構造を提供する。
【解決手段】シート状部材Ｗを挟み込んでシールするゲートバルブＧＶは、押付け面１の傾斜した平面１Ｂに環状の第一シール材６を設け、受け面３の平行な平面３Ａに第二シール材７を設ける。押付け面１を受け面３に押し付けた時に、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１、Ｗ２に対して傾斜している第一シール材６の上部が、同シート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接することで、該部材面Ｗ１付近の隙間がシールされ、かつ、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１、Ｗ２に対して平行になっている第二シール材７が、同シート状部材の他方の部材面Ｗ２に当接することで、該部材面Ｗ２付近の隙間がシールされる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすること、ならびに、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすること、を同時に達成できるゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体に弁体加熱手段を装着し、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることにより、該コイルスプリングを介して加熱手段と電気的に接続されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】基板搬出入口の周りの壁面と弁体との間の隙間を微調整できるようにして、その壁面と弁体との間のシール効果を高めることができるゲートバルブ等を提供する。
【解決手段】ゲートバルブ２００は，カム機構２６０により弁体２１０を進退させて基板搬出入口１１２を開閉するように構成する。カム機構は，弁体の進退方向に直交する方向に摺動自在な長尺部材２６１と，長尺部材と弁体との間に設けられ，長尺部材の動作に連動して長尺部材の摺動動作を弁体の進退動作に変換する板状カム２７０と，板状カムに連動して弁体に当接し，その進退方向にスライドすることで弁体を進退駆動させる弁体駆動部材２８０と，弁体駆動部材の弁体に当接する先端面に設けられ，弁体と基板搬出入口との隙間を調整する隙間調整部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であり、かつ、コスト面で経済的な真空扉機構を提供する。
【解決手段】閉塞要素（１）一又は複数のロッド（９）（９’）（９”）に固定され、開口部（２）を開放する開位置、開口部（２）を覆う一方で開口部を取り囲むシート（７）から離れている中間位置、及びシート（７）に対して押し付けられる閉位置のそれぞれに位置制御される。傾動アクチュエータ（２５）（２５’）（２６）（２６’）の内部空間（２７）を画定する一又は複数のウォール（３９）が、少なくとも延在領域において弾性又は柔軟性を有するように構成されている。傾動アクチュエータは、扉本体（１０）の当接面（３８）と、チャンバウォール（３）の当接面（３７）若しくはチャンバウォール（３）に保持されている固定部材（２１）と、のうち一方又は両方に支持されている。 （もっと読む）

【課題】可膨張式チャンバにおけるリークが生じた場合、可膨張式チャンバ内の流体が圧力により減圧チャンバ又は真空チャンバに流入することを防止しうる汎用的な装置を提供する。
【解決手段】本発明の閉塞装置は、可動に支持されている閉塞要素（１）と、貫通開口部（３）がチャンバウォールに適合するように構成されている基体（２）と、可膨張式チャンバ（６）を有し、閉位置において閉塞要素（１）とシート（４）との間に介在して閉塞用素（１）をシート（４）に対して密封する弾性シール部材（５）と、を備えている。弾性シール部材（５）が、可膨張式チャンバ（６）にリークが生じた場合に流体を受容する補助チャンバ（７）を備えている。 （もっと読む）

【課題】低コストの構成であり、拡張ユニットの微小なストロークだけで閉塞プレート及び対プレートのそれぞれが、シート及び対シートのそれぞれに対して押し付けられる真空バルブを提供する。
【解決手段】各プレート（１０）（１１）が、閉塞装置（１２）の開位置において各平面（１３）（１４）に対して平行に配置されている。閉塞装置（１２）が、両プレート（１０）（１１）の間において、バルブロッド（２３）に対して固定され、両プレート（１０）（１１）の間隔を広げて、各平面（１３）（１４）に対して平行な拡張面（１７）（１８）を有するシート（８）（９）に対して閉塞プレート（１０）を押し付ける拡張ユニット（１６）を備えている。閉塞装置（１２）が、縦軸線（２６）の方向に拡張ユニット（１６）に対して動かされるとともに、縦軸線（２６）の方向に動かないようにプレート（１０）（１１）に対して固定されている少なくとも１つの支持部（３４）をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】フィルムのロール巻き出し室とフィルムのロール巻き取り室間を連通する搬送路を開閉するゲートバルブにおいて、フイルムを挟持し閉弁した状態において、シール性を確保するゲート弁を提供する。
【解決手段】フィルム製造装置は、巻き出し機、巻き取り機、及び、フィルム１０に所定の処理を施す処理部を有する。巻き出し機、巻き取り機、及び、処理部は、フィルム１０が通過することが可能な開口部を有する真空室の内部に配置され、開口部には、フィルム１０を挟みながら封止することにより真空室を密封可能とするゲートバルブ１８を有する。ゲートバルブ１８の弁体２２のシール部材２０には、フィルムの搬送方向と弁体の移動方向とに対して直交する方向にフィルムの幅よりも大きいサイズの直線部を有する凹部が形成される。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６とを備えている。モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上でバルブプレート１４に直接伝達される。この場合、モーター１６の回転力は、モーター１６の回転軸１６Ａに連結されて回転軸１６Ａと共に回転し回転軸１６Ａよりも大径に形成されたフランジ２０と、このフランジ２０及びバルブプレート１４に連結されてフランジ２０と共に回転する回転体２２と、この回転体２２をケーシング１２から離反するように付勢するスプリング２４を介して、バルブプレートに伝達される。フランジ２０は、中空部２０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】帯状部材が加工処理される真空装置に用いられる真空バルブであって、バルブ開口部を通じて帯状部材が案内される際、閉塞可能かつバルブ開口部が密閉可能な真空バルブを提供する。
【解決手段】パッキン(10)(11)がその延在範囲のうち第１パッキン主要部の中央部(19)にある第１範囲(22)において、閉塞子(9)に対して固定されるとともに溝部(12)(13)の２つの側壁のうち一方の側壁(24’)を構成する押縁部材(23)によりクランプされている。また、パッキン(10)(11)の延在範囲のうち第２範囲において、溝部(12)(13)を画定する２つの側壁(24)(25)および底壁(26)が閉塞子(9)により構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧力差によるバルブプレートの変位を防止して、密閉状態を確実に保持すると共にバルブプレートの損傷を抑制する。
【解決手段】真空用ゲートバルブ１０は、開口１２ａを有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口１２ａを開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４のケーシング１２への密着時においては弾性部材を介さず機構的にバルブプレート１４の変位を許容しない位置調整手段を備えている。位置調整手段は、駆動源と、この駆動源により回転する回転体２２と、この回転体２２の回転により回転体２２に対して相対的に昇降する昇降体２４とから成り、この昇降体２４はバルブプレート１４に接してバルブプレート１４の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、ケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４を駆動するモーター１６を備え、モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸１６Ａと共に回転するフランジ２０と、フランジ２０及びバルブプレート１４に連結される回転体２２を介してバルブプレート１４に直接伝達される。回転体２２は、本体部２２Ａと、本体部２２Ａから延びるシャフト部２２Ｂを有し、本体部２２Ａは、横方向においてはローラーベアリング２８を介して、上下方向においては本体部２２Ａの上下に配置された２つのスラストベアリング３０Ａ、３０Ｂを介して保持されることによりカバー２６内に回転自在に設置される。 （もっと読む）

【課題】温度分布や昇温条件を任意に設定可能で、均一な発熱も高精度に実現でき、故障時のリスクを低減でき、修復作業が容易なゲートバルブを提供する。
【解決手段】バルブプレート２０中に、複数の発熱体モジュール３０を設置してバルブプレート２０を加熱する。発熱体モジュール３０は、各々が発熱体を収容部材中に封止した部材であって、これを単位に温度制御が可能であるとともに、故障した場合にはこの発熱体モジュール３０のみを交換すればよい。また、１つが故障をしても全体に対する影響は少なくリスクも低減できる。 （もっと読む）

【課題】 各バルブプレートが簡単に取り付けられかつ取り外され、各バルブプレートが取り付け状態において安定して堅固に保持され、正確に市合わせされうるような閉塞ユニット等を提供する。
【解決手段】 ２つのバルブプレート(7)(8)の間にある支持プレート(19)に対して、当該２つのバルブプレート(7)(8)が取り外し可能に固定される。バルブプレート(7)(8)を支持プレート(19)に対して固定するための押圧部材(20)(21)により、当接しあう複数の押圧面(22)-(26)が相互に押圧される。押圧面(22)-(26)のうち少なくとも１つが傾斜面として形成され、当該傾斜面によってバルブプレート(7)(8)が支持プレート(19)に押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】弁ディスク開度が小さい領域でコンダクタンスを高精度に制御可能にするコンダクタンスバルブ及び真空ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流路Ｒを形成する円形状開口部５を有するハウジング２と、ハウジング２内に回動可能に設けられるとともに回動することにより円形状開口部５の開口状態を調整可能な円形状弁ディスク３Ａと、を有し、円形状開口部５には内側方向に突出する突起部５１が設けられており、突起部５１は、円形状弁ディスク３Ａにより円形状開口部５を閉塞する方向側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】この発明は、多量の流体を速い応答速度で流通および遮断させることができるバルブ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】バルブ装置２０は、負圧チャンバ５に接続した上流側吸気管２２ａをつないだ第１ブロック２４、ポンプ１３に接続した下流側吸気管２２ｂをつないだ第２ブロック２６、これら第１および第２ブロックの間に回転可能に配置された第１および第２の遮断板３１、３２、および各遮断板３１、３２を回転させるサーボモータ３３、３４を有する。各遮断板３１、３２には、複数の流通孔３１ａ、３２ａが形成されており、２枚の遮断板３１、３２は、逆方向に回転される。 （もっと読む）

本発明は、流路（Ｆ）を気密式に遮断するためのバルブに関する。バルブは、バルブハウジング（１）と、バルブプレート（５）と、バルブプレート（５）を開放位置（Ｏ）と閉鎖位置（Ｃ）との間でシフトすることができる駆動部（７）とを有する。本発明によると、バルブは、連結位置（Ｋ）において、バルブプレート上のバルブプレート（５）の第一のシール（２１）に対して連結および分離することができ、係留位置（Ｐ）において、バルブハウジング（１）の係留部における係留部（８）の第二のシート（２２）に対して連結および分離することができる、シール支持部（３０）を有する。第一のシール（３１）が連結位置（Ｋ）および閉鎖位置（Ｃ）でバルブシート（４）に気密式に接触し、第一のシール（３１）とバルブプレート（５）上にある閉鎖表面（１３）との間に気密接続が形成されるように、第一のシール（３１）がシール支持部（３０）上に配置される。シール支持部（３０）は、第一の連結手段（３３）により、連結位置（Ｋ）でバルブプレート（５）の第一のシート（２１）に分離可能に連結することができる。シール支持部（３０）は、第二の連結手段（３４）により、係留位置（Ｐ）で係留部（８）の第二のシート（２２）に分離可能に連結することができる。
（もっと読む）

【課題】半導体処理槽の開閉を行うバルブにおいて、バルブ前後の圧力差が大きくなっても問題なく操作可能なバルブを提供する。
【解決手段】開口を封止するように適合され、かつ第１の壁と、該第１の壁に形成された第１の開口１１５と、第２の壁と、該第２の壁に形成された第２の開口１１７とを有するバルブハウジング１０５を含むスリットバルブ１０１ａを基本とし、該スリットバルブかつ該第２の開口を封止するように適合された封止部１０７と、該封止部１０７に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材１０９とを有する閉鎖部材１０３を含むスリットバルブ。 （もっと読む）

【課題】ラジカルの攻撃によるシール部材の劣化を防止すると同時に、かつ電磁波（マイクロ波）の漏洩を防止することができるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】第１弁座３６と第２弁座３８とを有し、開口部２８が形成された弁箱２６と、開口部２８を閉塞したときに、第１弁座３６に接触して開口部２８をシールするシール部材４６を有する弁体３０と、を備えたゲートバルブ装置１０であって、弁体３０に、当該弁体３０が開口部２８を閉塞したときに、第２弁座３８に接触して撓み変形し、開口部２８とシール部材４６との間の空間を遮断する遮蔽部材５８を設け、常温環境下及び高温環境下において、弁体３０が開口部を閉塞している状態で遮蔽部材５８が撓み変形しており、遮蔽部材５８と第２弁座３８との接触状態を維持することを特徴とする。 （もっと読む）