【課題】液滴化を抑制しつつ薬液の滴下流量を減少させる技術を提供する。
【解決手段】本発明は、回転するウェハ上に薬液を供給するための薬液吐出弁を提供する。本薬液吐出弁は、閉弁状態と最大リフト量との間でリフト量を操作することによって、薬液供給口と薬液吐出口との間の流路状態を変化させる当接部を有するダイアフラム弁と、作動ガスの供給量を操作するための第１開度を連続的に調整可能な第１比例制御弁５１と、作動ガスの排出量を操作するための第２開度を連続的に調整可能な第２比例制御弁５２と、前記第１比例制御弁５１と前記第２比例制御弁５２とを接続する中間流路に設けられている作動ガス供給口とを有する作動ガス供給部と、作動ガス供給口から供給された作動ガスの供給圧力に応じてリフト量を操作するアクチュエータ部と、を備える。アクチュエータ部は、最大リフト量を調整可能に制限するリフト量制限部を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁において、制御上の有効ストローク幅をより大きくし、分解能をより高くするとともに、それに伴い、外乱等によるストロークの微小変動に対しての許容幅も大きくする。
【解決手段】流量制御弁１に、内部に入口側流路３及び出口側流路４を有する弁ボディ２と、この弁ボディ２の入口側流路３と出口側流路４との間に設けられ、前記入口側流路３に連通する横孔５ａを設けてなる筒状のスリーブ５と、このスリーブ５の内部を進退可能である球状の弁体６とを具備し、この弁体とスリーブの横孔との隙間を流体が通過する。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、カバー１６を備える。ボディ１４には上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流入口１８と流出口２０とが連通可能とされ、各流体室２２，２４間は弁体２６により連通及び遮断される。弁体２６は軸部３０と可撓性膜部２８とを備え、軸部３０の端部にはバネ受け部材３９が設けられている。バネ受け部材３９の小径部３９ｂには、規制部１２ａ側へ変位可能な径拡張部５１が設けられ、径拡張部５１の外周にはＯリング５７が設けられている。そして、バネ受け部材３９の調整用孔に調整ねじ５５を締め込むことで径拡張部５１を規制部１２ａ側に変位させ同規制部１２ａをＯリング５７を介して押圧する。また、調整ねじ５５の締め込み量を調整することで径拡張部５１の変位量を調整できる。 （もっと読む）

【課題】減圧弁の流量特性を維持しつつ、圧力特性を向上させることにある。
【解決手段】一次側ポート１１と二次側ポート１２を連通させる連通孔１３に装着された主弁軸１４には、連通孔１３を閉じる方向に一次側圧力が加えられる一次側受圧部２４が形成されている。二次側圧力室２６とパイロット圧室２７は主弁ダイヤフラム２５により区画され、パイロット圧調整室３９と大気開放室４２はリリーフ孔４４が形成されたパイロットダイヤフラム４３により区画される。パイロット弁軸５１のパイロット弁体５３にはパイロット孔４８を開く方向に一次側圧力が加えられるパイロット受圧部５６が形成されている。一次側の圧力変動は一次側受圧部２４に加わる圧力とパイロット圧室２７の圧力とにより相殺される。 （もっと読む）

【課題】装置コストの増大を抑えつつ、耐圧を向上させることが可能なダイアフラムケース等を提供する。
【解決手段】上蓋４と下蓋３の間にダイアフラム２を配置するとともに、ダイアフラム２と上蓋４の間に圧力作動室６を設けたダイアフラムケース１であって、上蓋４の外周端部に下方へ屈曲する折り曲げ部５を設けるとともに、折り曲げ部５の長さＬに対応する厚さｈのスペーサ７をダイアフラム２と下蓋３の間に配置し、折り曲げ部５と下蓋３を溶接する。また、スペーサ７は、上面視円環状に形成する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトなソレノイドバルブを提供する。
【解決手段】往復移動するフラッパ２１を有するソレノイド２と、一次側流路５１又は二次側流路５２に接続されておりフラッパ２１の往復移動によって開閉される流路を有する一対の流路付プラグ３１，３２と、一対の流路付プラグ３１，３２のいずれかを通じて選択的に導入される一次側流路５１又は二次側流路５２の流体圧によって往復移動して開閉される弁体４０と、を備えるソレノイドバルブ１である。
そして、流路付プラグ３１，３２を収納するプラグハウジング３０は、弁体４０が配置されるチャンバ５３を有するバルブ本体５０Ａと一体に形成されている。 （もっと読む）

流れる媒体自身の力を利用して、弁座との関係における弁部材の位置を決定する差圧を生成することにより、流量を調整できる流量可変弁機構を開示する。弁機構は、流入口及び流出口を有する弁室を備える。ダイアフラムは、弁室を、制御室と流入口を備えるフロー室とに分割する。弁座は、フロー室内の流出口側に配置されている。弁体は、ダイアフラムと接続され、弁座と協動して、流入口から入りフロー室を通って流出口へと流れる流れを調整するのに使用される。第１パイロット弁は、流出口と制御室との間に延びる第１バイパスに位置し、第２パイロット弁は、流入口と制御室との間に延びる第２バイパスに位置している。第１パイロット弁及び第２パイロット弁は、第１バイパス及び第２バイパスを選択的に開閉するように制御され、それにより、連続的に全開状態と完全に閉じた状態との間、又は制御信号に応じた離散的な複数の段階で、フロー室を通過する流れを変化させる。例えば、水のような媒体自身の力によって、ダイアフラムの両側に適切な差圧が形成され、それにより弁体が作動する。 （もっと読む）

【課題】操作器を大型化することなく、また安価なシステム構成で、十分な回転トルクを得る。連続的な弁開度の制御を行い、弁開度の早急な変更にも対応できるようにする。
【解決手段】ハウジング１の内壁面１ｂに、例えば９０゜の角度間隔で、内部空間１ａの中心部に向けて仕切壁１ｃを設ける。ロータ胴２ａの周面に、仕切壁１ｃによって仕切られる内部空間１ａの各分割空間１ｄに１つずつ位置しその分割空間１ｄを第１の圧力室Ｒ１と第２の圧力室Ｒ２に区画するベーン（回転翼）２ｂを形成する。ハウジング１に、分割空間１ｄ毎に、圧縮空気ＡＲ１を第１の圧力室Ｒ１に導く圧縮空気導入口Ｈ１と、圧縮空気ＡＲ２を第２の圧力室Ｒ２に導く圧縮空気導入口Ｈ２を設ける。圧縮空気ＡＲ１およびＡＲ２をポジショナ４００から供給し、ロータ２の駆動軸２ｃに連結された弁体を回転させ、その弁体の実開度を設定開度に一致させる。 （もっと読む）

本発明は、弁ハウジング１０を備えた液圧弁装置であって、弁ハウジング内で作動制御ピストン１６が移動可能に案内されており、作動制御ピストン１６は作動装置１８によって作動可能にパイロット弁２０を作動制御し、パイロット弁２０によって、弁ハウジング１０内の流体ポートＴが、遮断ピストン２４の流体室２２と接続可能であり、遮断ピストン２４は、弁装置の少なくとも一つの流体案内接続導管１，２を作動制御し、そして流体案内制御導管２６を有しており、流体案内制御導管は、接続導管１，２から遮断ピストン２４の流体室２２内に開口している、液圧弁装置に関する。
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